一種用于冷卻多級真空泵(100)中的被抽吸流體的真空泵冷卻器(112、114)，所述真空泵冷卻器(112、114)包括：板(300、320)，所述板包括：第一表面(302、322)；與第一表面(302、322)相對的第二表面(304、324)；以及通道(308、328)，冷卻流體可以流動通過所述通道；以及從所述板(300、320)的第二表面(304、324)延伸的一個或多個翅片(306、326)。326)。326)。
【技術實現步驟摘要】
用于冷卻多級真空泵中的被抽吸流體的真空泵冷卻器
[0001]本技術涉及用于冷卻多級真空泵中的被抽吸流體的真空泵冷卻器。
技術介紹
[0002]真空泵用于各種技術工藝中，以將氣體抽吸出工藝室，從而為相應工藝產生低壓條件。
[0003]在多級真空泵中，氣體通過連續的抽吸級被抽吸。
技術實現思路
[0004]當流體被抽吸通過多級真空泵的連續級時，被抽吸流體的溫度趨于升高。這可以例如由泵的抽吸機構對流體的工作(例如，壓縮)產生。
[0005]在多級真空泵內管理熱負載在例如維持良好的工作溫度、維持泵內的正確間隙以及確保各種部件和工作流體按期望操作方面往往是關鍵的。差的熱管理可能導致抽吸性能和可靠性的損失。
[0006]通常，真空泵的外部本體被冷卻以試圖去除由被抽吸流體的壓縮產生的熱量。
[0007]本專利技術人已經認識到，通過冷卻級間區域中的被抽吸流體可以實現更有效的冷卻，在級間區域中，流體從一級流到另一級。這種冷卻可以被認為是“中間冷卻”。
[0008]本技術的方面提供真空泵冷卻器和真空泵，其提供被抽吸流體的中間冷卻，從而提供改進的冷卻效率，并因此提供改進的抽吸性能和可靠性。
[0009]在一方面，提供了一種用于冷卻多級真空泵中的被抽吸流體的真空泵冷卻器。真空泵冷卻器包括板，該板包括第一表面、與第一表面相對的第二表面以及冷卻流體可以流動通過的通道。真空泵冷卻器還包括從板的第二表面延伸的一個或多個翅片。
[0010]真空泵冷卻器可包括多個翅片。
[0011]通道可以至少部分地由形成在第一表面中的凹部限定。
[0012]通道可以限定曲折路徑。
[0013]通道的至少一部分可以形成在一個或多個翅片中。
[0014]一個或多個翅片中的一者或多者可具有基本上U形的截面。
[0015]板還可以包括一個或多個端口，每個端口被構造成接納相應的排出閥。
[0016]板還可以包括在第一表面和第二表面之間延伸的孔口，該孔口限定真空泵的入口或出口。
[0017]真空泵冷卻器可以是單個整體物品。
[0018]真空泵冷卻器可以由從包括鐵、鐵合金、鋼、陽極氧化鋁和鋁合金的材料組中選擇的材料形成。
[0019]在另一方面，提供了一種多級真空泵，包括：具有第一抽吸室的第一級，所述第一抽吸室具有第一入口和第一出口；具有第二抽吸室的第二級，所述第二抽吸室具有第二入口和第二出口；級間管道，其流體地聯接所述第一出口和所述第二入口；以及根據上文所提
及的方面中的任何一者所述的真空泵冷卻器，其中，所述真空泵冷卻器被布置成使得所述一個或多個翅片延伸到所述級間管道中。
[0020]所述多級真空泵還可以包括另一真空泵冷卻器，所述另一真空泵冷卻器是根據任何前述方面的真空泵冷卻器，其中，所述另一真空泵冷卻器被布置成使得所述另一真空泵冷卻器的所述一個或多個翅片延伸到所述級間管道中。
[0021]真空泵冷卻器和另一真空泵冷卻器可以限定容納第一級、第二級和級間管道的殼體的相對壁。
[0022]所述真空泵冷卻器可包括在所述真空泵冷卻器的所述第一表面與所述第二表面之間延伸的第一孔口，所述第一孔口限定所述多級真空泵的入口。所述另一真空泵冷卻器可包括在所述另一真空泵冷卻器的所述第一表面與所述第二表面之間延伸的第二孔口，所述第二孔口限定所述多級真空泵的出口。
附圖說明
[0023]圖1是示出真空泵的側視截面的示意圖(未按比例)；
[0024]圖2是示出真空泵的前視截面的示意圖(未按比例)；
[0025]圖3是示出真空泵的殼體的分解透視圖的示意圖(未按比例)；
[0026]圖4是示出真空泵的殼體的另一分解透視圖的示意圖(未按比例)；以及
[0027]圖5是示出真空泵冷卻器的透視圖的示意圖(未按比例)。
具體實施方式
[0028]將理解的是，在本文使用的諸如上方和下方、水平和豎直、頂部和底部、前部和后部等的相對術語僅僅是為了便于參考附圖，并且這些術語本身不是限制性的，并且可以實現任何兩個不同的方向或位置等，而不是真正的上方和下方、水平和豎直、頂部和底部等。
[0029]圖1是示出多級真空泵100的側視截面的示意圖(未按比例)。
[0030]圖2是示出多級真空泵100的前視截面的示意圖(未按比例)。
[0031]在該實施例中，多級真空泵100是羅茨真空泵。
[0032]在該實施例中，多級真空泵100包括殼體102。殼體102包括上游端壁104、與上游端壁104相對的下游端壁106、第一側壁108、與第一側壁108相對的第二側壁110、第一真空泵冷卻器112和第二真空泵冷卻器114。第一真空泵冷卻器112形成殼體102的頂壁或上壁。第二真空泵冷卻器114形成殼體102的底壁或下壁。第二真空泵冷卻器114與第一真空泵冷卻器112相對地定位。
[0033]第一真空泵冷卻器112和第二真空泵冷卻器114及其功能將稍后在下面參考圖3和圖4更詳細地描述。
[0034]殼體102限定多個抽吸級，即第一抽吸級121、第二抽吸級122、第三抽吸級123、第四抽吸級124、第五抽吸級125和第六抽吸級126。多級真空泵100的抽吸級121
?
126由殼體102內的分隔壁128限定。分隔壁128可以例如與上游端壁104、下游端壁106、第一側壁108和第二側壁110中的一者或多者成一體。
[0035]對于每個抽吸級121
?
126，殼體102限定了包括定子孔的相應定子。因此，該殼體限定了第一定子孔131、第二定子孔132、第三定子孔133、第四定子孔134、第五定子孔135以及
第六定子孔136。
[0036]多級真空泵100包括轉子組件，轉子組件包括兩個軸，即第一軸141和第二軸142。兩個軸141、142被構造成圍繞平行的旋轉軸線在相反方向上旋轉。第一軸141被構造成圍繞第一旋轉軸線143旋轉。第二軸142被構造成圍繞第二旋轉軸線144旋轉。
[0037]每個軸141、142包括多個轉子。每個軸141、142的每個轉子位于定子孔131
?
136中的相應一者內。因此，每個定子孔131
?
136具有位于其中的相應的一對轉子，該對轉子中的每個轉子安裝到兩個軸141、142中的相應的一者。
[0038]圖1示出了多個第一轉子146，每個第一轉子146位于相應的定子孔131、136中。圖2示出了位于第一定子孔131中的一對轉子，即第一轉子146和第二轉子148。
[0039]轉子146、148中的每一者是三瓣片轉子(three
?
lobed rotor)。
[0040]對于每個定子孔131
?
136，位于其中的所述一對轉子146、148是配合的轉子，所述配合的轉子被構造成在定子孔131
?
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【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種用于冷卻多級真空泵中的被抽吸流體的真空泵冷卻器，其特征在于，所述真空泵冷卻器包括：板，所述板包括：第一表面；與所述第一表面相對的第二表面；以及通道，冷卻流體能夠流動通過所述通道；以及從所述板的第二表面延伸的一個或多個翅片。2.如權利要求1所述的真空泵冷卻器，其中，所述真空泵冷卻器包括多個翅片。3.如權利要求1或2所述的真空泵冷卻器，其中，所述通道至少部分地由形成在所述第一表面中的凹部限定。4.如權利要求1或2所述的真空泵冷卻器，其中，所述通道限定曲折路徑。5.如權利要求1或2所述的真空泵冷卻器，其中，所述通道的至少一部分形成在所述一個或多個翅片中。6.如權利要求1或2所述的真空泵冷卻器，其中，所述一個或多個翅片中的一者或多者具有U形的截面。7.如權利要求1或2所述的真空泵冷卻器，其中，所述板還包括一個或多個端口，每個端口被構造成接納相應的排出閥。8.如權利要求1或2所述的真空泵冷卻器，其中，所述板還包括在所述第一表面和所述第二表面之間延伸的孔口，所述孔口限定所述真空泵的入口或出口。9.如權利要求1或2所述的真空泵冷卻器，其中，所述真空泵冷卻器是單個整體物品。10.如權利要求1或2所述的真空泵冷卻器，其中，所述真空泵冷卻器由選自包括鐵、鐵合金、鋼、陽極氧化鋁和鋁合金...
【專利技術屬性】
技術研發人員：M，
申請(專利權)人：愛德華茲有限公司，
類型：新型
國別省市：
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