污染物濃度檢測系統及方法技術方案

本公開提供了一種污染物濃度檢測系統及方法，屬于半導體制程技術領域。該污染物濃度檢測系統包括光罩盒存儲柜、供氣系統、收集系統、檢測系統。供氣系統包括供氣管路和與供氣管路連接的供氣閥。供氣管路包括第一供氣管路和第二供氣管路，第一供氣管路的第一端口連接供氣閥，第一供氣管路的第二端口連接光罩盒的進氣口；第二供氣管路的第一端口連接光罩盒的出氣口。收集系統可以包括第一控制閥和與第一控制閥連接的收集裝置。第一控制閥的第一端口連接收集裝置，第一控制閥的第二端口連接第二供氣管路的第二端口。檢測系統包括第二控制閥和與第二控制閥連接的檢測裝置，檢測裝置能夠檢測光罩盒內的污染物。檢測光罩盒內的污染物。檢測光罩盒內的污染物。

【技術實現步驟摘要】
污染物濃度檢測系統及方法


[0001]本公開涉及半導體制程
，尤其涉及一種污染物濃度檢測系統及方法。

技術介紹

[0002]在半導體制程中，需要較高潔凈度的光罩盒以使光罩最大程度保持潔凈。目前，一般利用光罩盒清洗機對光罩盒進行清洗，清洗后上機進行制程曝光使用。此外，為了保證光罩盒內的污染物濃度在可控的范圍內，需要送到實驗室，手動打開光罩盒對其污染物濃度進行檢測。在手動檢測過程中，可能會代入新的污染物，從而影響檢測數據。而且手動檢測不能保證每一個光罩盒內的污染物濃度均在正常范圍內，從而需要耗費較長時間，降低了檢測效率。
[0003]所述
技術介紹
部分公開的上述信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此它可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

技術實現思路

[0004]本公開的目的在于提供一種污染物濃度檢測系統及方法，能夠提高光罩盒污染物的檢測效率并降低人力檢測的成本。
[0005]為實現上述專利技術目的，本公開采用如下技術方案：
[0006]根據本公開的第一個方面，提供一種污染物濃度檢測系統，所述污染物檢測系統包括：
[0007]光罩盒存儲柜，用于存儲光罩盒，所述光罩盒設置有進氣口和出氣口；
[0008]供氣系統，包括供氣管路和與所述供氣管路連接的供氣閥；供氣管路包括第一供氣管路和第二供氣管路，所述第一供氣管路的第一端口連接所述供氣閥，所述第一供氣管路的第二端口連接所述光罩盒的進氣口；所述第二供氣管路的第一端口連接所述光罩盒的出氣口；
[0009]收集系統，包括第一控制閥和與所述第一控制閥連接的收集裝置；所述第一控制閥包括第一端口、第二端口、第三端口、第四端口，所述第一控制閥的第一端口連接所述收集裝置，所述第一控制閥的第二端口連接所述第二供氣管路的第二端口；
[0010]檢測系統，包括第二控制閥和與所述第二控制閥連接的檢測裝置；所述第二控制閥包括第一端口和第二端口，所述第二控制閥的第一端口連接所述收集裝置，所述第二控制閥的第二端口連接所述檢測裝置，所述檢測裝置能夠檢測所述光罩盒內的污染物。
[0011]在本公開的一種示例性實施例中，所述光罩盒存儲柜包括多個光罩盒放置位，所述第一供氣管路、所述第二供氣管路與所述光罩盒放置位的數量一致；一個所述光罩盒放置位具有與之對應的一對所述第一供氣管路和所述第二供氣管路。
[0012]在本公開的一種示例性實施例中，污染物濃度檢測系統還包括：
[0013]第一管路切換閥，設置于所述第一供氣管路與所述供氣閥之間；
[0014]第二管路切換閥，設置于所述第二供氣管路與所述第一控制閥之間。
[0015]在本公開的一種示例性實施例中，所述供氣系統還包括供氣組件，所述供氣組件的一端連接所述供氣閥，所述供氣組件的另一端連接所述第一控制閥的第三端口，以使得所述供氣組件、所述供氣閥、所述供氣管路、所述第一控制閥之間形成第一回路。
[0016]在本公開的一種示例性實施例中，在所述第一控制閥的第一端口和所述收集裝置之間還設置有第三控制閥；
[0017]所述第一控制閥的第四端口設置有廢氣控制閥，所述廢氣控制閥與所述第三控制閥連接，以使得所述第一控制閥、所述第三控制閥、所述廢氣控制閥之間形成第二回路。
[0018]在本公開的一種示例性實施例中，所述污染物濃度檢測系統還包括控制器，所述控制器用于控制所述供氣閥、所述第一控制閥、所述第二控制閥、所述第三控制閥的開啟或關閉。
[0019]在本公開的一種示例性實施例中，所述第一控制閥為四位四通控制閥，所述第二控制閥為三位三通控制閥，所述第三控制閥為三位三通控制閥，所述供氣閥為兩位兩通控制閥。
[0020]在本公開的一種示例性實施例中，所述收集裝置還具有供液組件，所述供液組件能夠向所述收集裝置中通入超純水，所述超純水能夠與所述光罩盒內的污染物形成溶液。
[0021]在本公開的一種示例性實施例中，所述第二控制閥還具有第三端口，所述第二控制閥的第三端口設置有廢液排放閥。
[0022]在本公開的一種示例性實施例中，在所述第二控制閥的第一端口和所述收集裝置之間還設置有回吸泵，所述回吸泵能夠吸取所述收集裝置中的溶液。
[0023]在本公開的一種示例性實施例中，在所述回吸泵和所述檢測裝置之間還設置有定量環，所述定量環能夠對所述溶液進行定量；所述檢測裝置能夠檢測定量后的溶液，以得到所述光罩盒內污染物的濃度值進而生成檢測數據。
[0024]在本公開的一種示例性實施例中，所述光罩盒外具有標識，所述標識用于識別所述光罩盒并將與所述光罩盒對應的所述檢測數據區分和留存。
[0025]根據本公開的第二個方面，提供一種污染物濃度檢測方法，應用于上述的污染物濃度檢測系統，所述污染物濃度檢測方法包括：
[0026]發送第一控制信號，所述第一控制信號用于使得供氣系統和收集系統打開并開始計時；
[0027]對所述光罩盒以及所述供氣管路進行采樣，直至采樣時間達到預設時間，發送第二控制信號，所述第二控制信號用于關閉所述收集系統并停止計時；
[0028]發送第三控制信號，所述第三控制信號使得所述檢測系統打開；所述檢測系統檢測樣本以得到并發送第一檢測數據。
[0029]在本公開的一種示例性實施例中，在將所述光罩盒安裝于所述污染物濃度檢測系統之間還包括：
[0030]啟動自潔模式，所述自潔模式為所述供氣系統、所述收集系統、所述檢測系統均處于打開狀態。
[0031]在本公開的一種示例性實施例中，當所述采樣時間達到所述預設時間時，所述供氣系統中通有清潔氣體，所述清潔氣體經過所述第一供氣管路、所述光罩盒、所述第二供氣管路、所述第二控制閥并進入廢氣控制閥。
[0032]在本公開的一種示例性實施例中，所述檢測系統能夠通過檢測光罩盒內的污染物濃度從而發送檢測數據還包括：
[0033]判斷所述第一檢測數據是否超過控制線；
[0034]若判斷所述第一檢測數據未超過控制線，則進行下一個所述光罩盒內的污染物濃度檢測；
[0035]若判斷所述第一檢測數據超過所述控制線，則發送第四控制信號，所述第四控制信號使得所述收集系統打開以繼續收集所述光罩盒內的污染物；
[0036]發送第五控制信號，所述第五控制信號用于使得所述檢測系統打開；所述檢測系統檢測當前所述光罩盒內的污染物濃度以發送第二檢測數據；
[0037]判斷所述第二檢測數據是否超過警戒線；
[0038]若判斷所述第二檢測數據超過警戒線，則將所述光罩盒取出進行清洗，清洗完成后將所述光罩盒安裝于所述污染物濃度檢測系統以繼續進行檢測。
[0039]在本公開污染物濃度檢測系統中，包括有光罩盒存儲柜、供氣系統、收集系統、檢測系統。在光罩盒存儲柜內存放有多個光罩盒，當需要對光罩盒內污染物濃度進行檢測時，供氣系統能夠將清潔氣體從光罩盒進氣口通入光罩盒內，而清潔氣體能夠吸附光罩盒內的污染物，吸附有污染物的清潔氣體通過光罩本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種污染物濃度檢測系統，其特征在于，所述污染物檢測系統包括：光罩盒存儲柜，用于存儲光罩盒，所述光罩盒設置有進氣口和出氣口；供氣系統，包括供氣管路和與所述供氣管路連接的供氣閥；供氣管路包括第一供氣管路和第二供氣管路，所述第一供氣管路的第一端口連接所述供氣閥，所述第一供氣管路的第二端口連接所述光罩盒的進氣口；所述第二供氣管路的第一端口連接所述光罩盒的出氣口；收集系統，包括第一控制閥和與所述第一控制閥連接的收集裝置；所述第一控制閥包括第一端口、第二端口、第三端口、第四端口，所述第一控制閥的第一端口連接所述收集裝置，所述第一控制閥的第二端口連接所述第二供氣管路的第二端口；檢測系統，包括第二控制閥和與所述第二控制閥連接的檢測裝置；所述第二控制閥包括第一端口和第二端口，所述第二控制閥的第一端口連接所述收集裝置，所述第二控制閥的第二端口連接所述檢測裝置，所述檢測裝置能夠檢測所述光罩盒內的污染物。2.根據權利要求1所述的污染物濃度檢測系統，其特征在于，所述光罩盒存儲柜包括多個光罩盒放置位，所述第一供氣管路、所述第二供氣管路與所述光罩盒放置位的數量一致；一個所述光罩盒放置位具有與之對應的一對所述第一供氣管路和所述第二供氣管路。3.根據權利要求2所述的污染物濃度檢測系統，其特征在于，污染物濃度檢測系統還包括：第一管路切換閥，設置于所述第一供氣管路與所述供氣閥之間；第二管路切換閥，設置于所述第二供氣管路與所述第一控制閥之間。4.根據權利要求1所述的污染物濃度檢測系統，其特征在于，所述供氣系統還包括供氣組件，所述供氣組件的一端連接所述供氣閥，所述供氣組件的另一端連接所述第一控制閥的第三端口，以使得所述供氣組件、所述供氣閥、所述供氣管路、所述第一控制閥之間形成第一回路。5.根據權利要求1所述的污染物濃度檢測系統，其特征在于，在所述第一控制閥的第一端口和所述收集裝置之間還設置有第三控制閥；所述第一控制閥的第四端口設置有廢氣控制閥，所述廢氣控制閥與所述第三控制閥連接，以使得所述第一控制閥、所述第三控制閥、所述廢氣控制閥之間形成第二回路。6.根據權利要求5所述的污染物濃度檢測系統，其特征在于，所述污染物濃度檢測系統還包括控制器，所述控制器用于控制所述供氣閥、所述第一控制閥、所述第二控制閥、所述第三控制閥的開啟或關閉。7.根據權利要求5所述的污染物濃度檢測系統，其特征在于，所述第一控制閥為四位四通控制閥，所述第二控制閥為三位三通控制閥，所述第三控制閥為三位三通控制閥，所述供氣閥為兩位兩通控制閥。8.根據權利要求1所述的污染物濃度檢測系統，其特征在于，所述收集裝置還具有供液組件，所述供液組件能夠向所述收集裝置中通入超純水，所述超純...

【專利技術屬性】
技術研發人員：谷雯，
申請(專利權)人：長鑫存儲技術有限公司，
類型：發明
國別省市：