支座凸緣拆卸工具和支座凸緣的拆卸方法技術

本發明專利技術提供支座凸緣拆卸工具和支座凸緣的拆卸方法，其中，支座凸緣拆卸工具能夠將在與主軸之間產生了強有力的咬合的支座凸緣容易地卸下。上述支座凸緣拆卸工具用于將牢固地安裝在主軸的帶錐度部分上的支座凸緣卸下，該主軸在前端具有中心盲孔和上述帶錐度部分，上述支座凸緣拆卸工具的特征在于，該支座凸緣拆卸工具具有：筒狀主體，其具有貫穿中心而形成的第一螺紋孔，并且在該筒狀主體的一端部具有能夠與形成在上述支座凸緣的凸臺部上的外螺紋旋合的第二螺紋孔；和起子，其在一端形成有把手部，在另一端形成有螺紋桿，該螺紋桿從上述把手部伸長、且比上述筒狀主體要長，并且能夠旋合到上述筒狀主體的第一螺紋孔中。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及將用于對安裝在切削裝置的主軸上的切削刀具進行保持 的支座凸緣從主軸上卸下的。
技術介紹
將半導體晶片分割成一個個器件的切削裝置包括卡盤工作臺，其 保持晶片；和切削構件，其將切削刀具支撐成能夠旋轉，該切削刀具對 保持在上述卡盤工作臺上的晶片的分割預定線進行切削，上述切削裝置 能夠將晶片高精度地分割成一個個的器件。切削構件具有主軸單元，其驅動主軸旋轉；支座凸緣，其安裝在 主軸的前端；切削刀具，其安裝在該支座凸緣上，并具有薄的切削刃； 和固定螺母，其將切削刀具固定在支座凸緣上。安裝支座凸緣的主軸的前端形成為帶錐度的形狀，支座凸緣具有與 主軸的帶錐度的形狀對應的帶錐度的形狀的卡合孔，支座凸緣經該卡合 孔安裝在主軸上。專利文獻l:日本特開2001—54805號公報由于支座凸緣以40000ipm或60000ipm等的速度與切削刀具一起高 速旋轉，所以支座凸緣的內徑因離心力而擴張，從而支座凸緣向帶錐度 的形狀的主軸前端的靠里的方向移動，存在以下問題在支座凸緣與主 軸之間產生強有力的咬合，不能將支座凸緣從主軸上卸下。另一方面，切削刀具伴隨加工而損耗，當切削刀具從支座凸緣凸出 的凸出量變得比被加工物厚度還要小時，則不能完全切斷被加工物，因 此要將切削刀具更換成新品。雖然認為通過使用直徑大的切削刀具以使切削刀具從支座凸緣凸出 的凸出量增大，能夠延長切削刀具的壽命，但是實際上當凸出量過大時，切削刀具的剛性降低，在加工中切削刀具會彎曲，從而導致切削線產生 彎曲等切削不良情況，因此通常根據切削刀具的種類以形成預定的凸出 量的方式將支座凸緣和切削刀具組合起來。另一方面，這些切削刀具含有金剛石磨粒，因而價格高，因此有這 樣的期望想要通過在切削刀具損耗后替換成直徑更小的支座凸緣，來 再次使用損耗了的切削刀具。艮口、為這樣的想法預先準備數個直徑不同的支座凸緣，根據切削 刀具的損耗，替換支座凸緣并進行加工，由此來減少切削刀具的使用量。 在這樣的情況下，伴隨切削刀具的損耗，需要頻繁地從主軸上卸下支座 凸緣。
技術實現思路
本專利技術是鑒于這樣的問題而完成的，其目的在于提供一種支座凸緣 拆卸工具，該支座凸緣拆卸工具能夠將在與主軸之間產生了強有力的咬 合的支座凸緣容易地卸下。根據第一方面所述的專利技術，提供一種支座凸緣拆卸工具，其用于將 牢固地安裝在主軸的帶錐度部分上的支座凸緣卸下，該主軸在前端具有 中心盲孔和上述帶錐度部分，上述支座凸緣拆卸工具的特征在于，該支 座凸緣拆卸工具具有筒狀主體，其具有貫穿中心地形成的第一螺紋孔， 并且在該筒狀主體的一端部具有能夠與形成在上述支座凸緣的凸臺部上 的外螺紋旋合的第二螺紋孔；和起子，其在一端形成有把手部，在另一 端形成有螺紋桿，該螺紋桿從上述把手部伸長、且比上述筒狀主體要長， 并且能夠旋合到上述筒狀主體的第一螺紋孔中。根據第二方面所述的專利技術，提供一種支座凸緣的拆卸方法，其使用 第一方面所述的支座凸緣拆卸工具，將牢固地安裝在主軸的帶錐度部分 上的支座凸緣卸下，該主軸在前端具有中心盲孔和上述帶錐度部分，上 述支座凸緣的拆卸方法的特征在于，使上述筒狀主體的上述第二螺紋孔 與在上述支座凸緣的凸臺部上形成的上述外螺紋旋合，使該筒狀主體與 該支座凸緣成為一體，然后，旋轉上述起子的上述把手部，將上述螺紋桿旋合到上述筒狀主體的上述第一螺紋孔中，由此，使從該筒狀主體凸 出的上述螺紋桿前端插入到上述主軸的上述中心盲孔中，并使該螺紋桿 前端與該中心盲孔的底部抵接，進一步旋轉上述把手部使上述螺紋桿螺 旋進給，由此將上述支座凸緣從上述主軸上卸下。根據第三方面所述的專利技術，提供一種支座凸緣拆卸工具，其用于將 牢固地安裝在主軸的帶錐度部分上的支座凸緣卸下，該主軸在前端具有 中心盲孔和上述帶錐度部分，上述支座凸緣拆卸工具的特征在于，該支 座凸緣拆卸工具具有筒狀主體，其具有形成于一端側的中心孔、以 與該中心孔連續并與該中心孔排列對齊的方式形成于另一端側的第一螺 紋孔、以及形成在上述一端側的能夠與形成在上述支座凸緣的凸臺部上 的外螺紋旋合的第二螺紋孔；起子，其在一端形成有把手部，在另一端 形成有螺紋桿，該螺紋桿從上述把手部伸長、且比上述筒狀主體要短， 并且能夠旋合到上述筒狀主體的第一螺紋孔中；和壓桿，其以能夠傾斜 動作的方式插入在上述筒狀主體的上述中心孔中。根據第四方面所述的專利技術，提供一種支座凸緣的拆卸方法，其使用 第三方面所述的支座凸緣拆卸工具，將牢固地安裝在主軸的帶錐度部分 上的支座凸緣卸下，該主軸在前端具有中心盲孔和上述帶錐度部分，上 述支座凸緣的拆卸方法的特征在于，使上述筒狀主體的上述第二螺紋孔 與在上述支座凸緣的凸臺部上形成的上述外螺紋旋合，使該筒狀主體與 該支座凸緣成為一體，然后，旋轉上述起子的上述把手部，將上述螺紋 桿旋合到上述筒狀主體的上述第一螺紋孔中，由此，使該螺紋桿與上述 壓桿抵接，使從上述筒狀主體凸出的上述壓桿前端插入到在上述主軸的 前端形成的上述中心盲孔中，并使該壓桿前端與該中心盲孔的底部抵接， 進一步旋轉上述把手部使上述壓桿螺旋進給，由此將上述支座凸緣從上 述主軸上卸下。根據第一方面和第三方面所述的支座凸緣拆卸工具，即使是在與主 軸之間產生了強有力的咬合的支座凸緣，也能夠容易地將其從主軸上卸 下，能夠提高切削作業效率。此外，根據第三方面所述的支座凸緣拆卸工具，由于與主軸的中心盲孔接觸的壓桿能夠傾斜動作，所以不必擔心主軸的中心盲孔內會受損。 附圖說明圖1是切削裝置的外觀立體圖。圖2是表示與框架成為一體的晶片的立體圖。圖3是表示將切削刀具安裝到主軸上的狀況的分解立體圖。 圖4是表示支座凸緣安裝結構的另一實施方式的分解立體圖。 圖5是本專利技術第一實施方式的支座凸緣拆卸工具的立體圖。 圖6是第一實施方式的支座凸緣拆卸工具的縱剖視圖。 圖7是表示使用支座凸緣拆卸工具來拆卸支座凸緣的狀況的分解立 體圖。圖8是表示使用支座凸緣拆卸工具來拆卸支座凸緣的狀況的縱剖視圖。圖9是本專利技術第二實施方式的支座凸緣拆卸工具的立體圖。 圖IO是第二實施方式的支座凸緣拆卸工具的縱剖視圖。 圖11是表示使用第二實施方式的支座凸緣拆卸工具來拆卸支座凸緣 的狀況的縱剖視圖。 標號說明2:切削裝置；18:卡盤工作臺；24:切削構件；26:主軸；26a: 帶錐度部分；30:主軸單元；36:支座凸緣；58、 58A:支座凸緣拆卸工 具；60、 60A:筒狀主體；62、 62a:第一螺紋孔；64:第二螺紋孔；66: 環狀部件；70:起子(driver); 72:把手部；74、 74A:螺紋桿；76:壓具體實施例方式下面，參照附圖詳細說明本專利技術的實施方式。圖1表示能夠切割半 導體晶片從而將其分割成一個個芯片(器件)的、本專利技術實施方式所涉及的切削裝置2的外觀。在切削裝置2的前表面側設置有操作構件4，該操作構件4用于由操作員輸入加工條件等對裝置的指示。在裝置上部設置有CRT等的顯示 構件6，該顯示構件6顯示對操作員的引導畫面和由后述攝像構件拍攝到 的圖像。如圖2所示，在作為切割對象的晶片W的表面上，正交地形成有第 一間隔道Sl和第二間隔道S2，多個器件D由第一間隔道Sl和第二間隔 道S2劃分開來地形成在晶片W上。晶片W粘貼在作為粘貼帶的切割帶T上，切割帶T本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種支座凸緣拆卸工具，其用于將牢固地安裝在主軸的帶錐度部分上的支座凸緣卸下，該主軸在前端具有中心盲孔和上述帶錐度部分，上述支座凸緣拆卸工具的特征在于，　該支座凸緣拆卸工具具有：　筒狀主體，其具有貫穿中心地形成的第一螺紋孔，并且在 該筒狀主體的一端部具有能夠與形成在上述支座凸緣的凸臺部上的外螺紋旋合的第二螺紋孔；和　起子，其在一端形成有把手部，在另一端形成有螺紋桿，該螺紋桿從上述把手部伸長、且比上述筒狀主體要長，并且能夠旋合到上述筒狀主體的第一螺紋孔中。

【技術特征摘要】
...

【專利技術屬性】
技術研發人員：福岡武臣，廣沢俊一郎，
申請(專利權)人：株式會社迪思科，
類型：發明
國別省市：JP[日本]