一種精密測試平臺制造技術

本申請公開了一種精密測試平臺，涉及高阻樣品檢測設備領域，其包括減震平臺和測試機柜，所述測試機柜可拆卸連接在所述減震平臺上，所述減震平臺上安裝有真空腔體，所述真空腔體內安裝有樣品臺，所述真空腔體上安裝有觀察窗，所述真空腔體上連接有共地電纜，所述減震平臺上設置有用于維持所述真空腔體真空度的真空維持件，所述減震平臺上還設置有用于控制所述真空腔體溫度的溫控組件，所述測試機柜上還設置有用于對所述真空腔體內高阻樣品進行測試的電學測試組件。本申請具有便于高阻樣品測試的效果。品測試的效果。品測試的效果。

【技術實現步驟摘要】
一種精密測試平臺


[0001]本申請涉及高阻樣品檢測設備領域，尤其是涉及一種精密測試平臺。

技術介紹

[0002]高阻樣品在高低溫連續變溫條件下的精密測量對測試環境和測試系統有極其嚴格的要求，測試樣品所處的溫度、濕度、電磁環境和電測量環路微振動都對精密測量有著極大的影響。
[0003]實際使用中，單一測試系統通常只針對于單一數據的測量，如測量電荷的測試系統，只會對影響該測試系統的濕度、電磁環境、環路振動進行控制，然后對電荷進行測量。而測量電阻的測試系統，只會對影響該測試系統的溫度、環路振動進行控制，然后對電阻進行測量。這種處理方式使得高阻樣品需要不斷地更換測試系統進行測試才能得出樣品的所有數據，且每次更換測試系統時還需要對對應的環境因素進行控制，來減少環境因素對測試數據的影響，在實際使用中較為繁瑣。

技術實現思路

[0004]為了便于高阻樣品的測試，本申請提供一種精密測試平臺。
[0005]本申請提供的一種精密測試平臺采用如下的技術方案：一種精密測試平臺，包括減震平臺和測試機柜，所述測試機柜可拆卸連接在所述減震平臺上，所述減震平臺上安裝有真空腔體，所述真空腔體內安裝有樣品臺，所述真空腔體上安裝有觀察窗，所述真空腔體上連接有共地電纜，所述減震平臺上設置有用于維持所述真空腔體真空度的真空維持件，所述減震平臺上還設置有用于控制所述真空腔體溫度的溫控組件，所述測試機柜上還設置有用于對所述真空腔體內高阻樣品進行測試的電學測試組件。
[0006]通過采用上述技術方案，觀察窗通過法蘭盤安裝在真空腔體上，使用時，拆除法蘭盤，將高阻樣品放入樣品臺上，之后再將法蘭盤安裝在真空腔體上，啟動真空維持件，通過真空維持件保持系統內部真空度，來減少環境濕度對測試的影響，共地電纜可連接電測儀表共地端口，以保證電測量的準確性，溫控組件對真空腔體溫度進行調節，以保證溫度的準確性，減震平臺對真空腔體進行減震，減少了外界振動對高阻樣品的影響，進行測試時，可通過電學測試組件進行對應的測量，該測試系統可同時控制測試樣品所處的溫度、濕度、電磁環境和外界振動，使測試樣品具有一個良好的環境進行測試，通過電學測試組件對高阻樣品進行測試，且進行一項測試后無需將測試樣品取出并放置在下一個測試設備中，通過單一測試系統即可連續完成多種數據的測量，便于高阻樣品進行測試。
[0007]優選的，所述溫控組件包括固定連接在所述真空腔體上的低溫腔體、固定連接在所述樣品臺下方的電熱絲，所述低溫腔體上安裝有液氮進口，所述低溫腔體與所述真空腔體連通，所述測試機柜上設置有用于控制所述電熱絲加熱狀態的溫控儀。
[0008]通過采用上述技術方案，通過液氮進口將液氮輸入低溫腔體內，利用液氮蒸發制
冷將溫度降低，通過熱傳導將樣品臺溫度降低，然后在溫控儀設置目標溫度，溫控儀控制電熱絲加熱，通過熱傳導的方式使樣品臺溫度升高，直至樣品臺升至目標溫度，通過控制樣品臺表面溫度，間接改變樣品的溫度，滿足溫度要求。
[0009]優選的，所述真空維持件為固定安裝在所述減震平臺上的真空泵，所述真空泵上固定連接有陶瓷波紋管，所述真空泵通過所述陶瓷波紋管與所述低溫腔體連通，所述減震平臺上設置有用于控制所述真空泵與所述真空腔體連通狀態的插板閥。
[0010]通過采用上述技術方案，通過真空泵將連通設置的低溫腔體、真空腔體均保持高真空狀態，可有效排除環境濕度對電測量的影響，陶瓷波紋管的設置在保證真空管路性能的前提下，實現與真空泵組的電氣隔離，還可以吸收泵組沿真空管路的微振動，減小振動向腔體體的傳導，通過插板閥的設置，工作人員可通過插板閥控制真空泵與真空腔體的連通狀態。
[0011]優選的，所述減震平臺遠離所述真空腔體的一端固定連接有橡膠靜音載重輪和減震支撐腳，所述真空泵遠離所述真空腔體的一端固定連接有空氣彈簧，所述陶瓷波紋管上固定連接有減震沙箱。
[0012]通過采用上述技術方案，通過橡膠靜音載重輪和減震支撐腳的設置，一方面將減震平臺支撐在地面上，另一方面吸收地坪振動，減小真空腔體和樣品臺的振動，空氣彈簧的設置吸收了泵組工作時的垂直和水平振動，減震沙箱的設置通過共振效果將泵組沿真空管路傳導的微振動吸收，減少振動向真空腔體的傳導。
[0013]優選的，所述電學測試組件包括設置在所述測試機柜上的靜電計高阻表、設置在所述測試機柜上的電容計，所述真空腔體上設置有多個電學接口，電學接口朝向真空腔體的一側安裝有檢測探針。
[0014]通過采用上述技術方案，靜電計高阻表、電容計通過不同的電學接口連接在真空腔體上，使用時，通過檢測探針對高阻樣品進行檢測。
[0015]優選的，所述真空腔體、所述低溫腔體均為不銹鋼材質的腔體體，且所述低溫腔體與所述真空腔體通過不銹鋼波紋管連接，所述真空腔體、所述低溫腔體的電磁屏蔽效果均不大于4fA（RMS）。
[0016]通過采用上述技術方案，通過整體的不銹鋼材質，可有效屏蔽環境電磁噪聲，同時不銹鋼波紋管在保障真空度的同時還可以進一步降低微振動，減小微振動對電測量的影響。
[0017]優選的，所述真空腔體外側安裝有水冷腔體，所述水冷腔體上安裝有水冷快插接頭，所述電學接口上均安裝有流線型的連接管，所述連接管位于所述水冷腔體內，所述電學接口通過連接管與所述真空腔體連接。
[0018]通過采用上述技術方案，水冷腔體通過水冷快插接頭與外界水路管道連接，向水冷腔體內通入靜音冷卻循環水，同時流線型的連接管減小了湍流引起的振動對電學接口的影響，保證對腔體體產生極低振動影響的前提下，降低電學接口上檢測探針的溫度，減小檢測探針內溫度梯度對電測量的影響。
[0019]優選的，所述低溫腔體上安裝有便于觀察真空度的真空規，所述減震平臺上安裝有便于觀察真空泵工作狀態的顯示面板。
[0020]通過采用上述技術方案，工作人員可通過觀察真空規直接判斷腔體體內部真空狀
態，工作人員還可以通過觀察顯示面板觀察真空泵的工作狀態。
[0021]綜上所述，本申請包括以下至少一種有益技術效果：1.利用真空腔體、真空泵、溫控組件、電學測試組件、減震平臺、共地電纜的設置，可以控制放置在樣品臺上的高阻樣品的溫度、濕度、電磁環境、振動，有效地減少了外界環境對測試系統數據的影響，在同一個系統中控制各種因素，將高阻樣品放置于該系統中即可完成多種數據的測試，便于高阻樣品的測試；2.借助橡膠靜音載重輪、減震支撐腳、空氣彈簧、減震沙箱的設置，將地坪振動、真空泵工作時的振動分別吸收，還可將泵組沿真空管路傳導時的微振動吸收，有效減少了振動向真空腔體的傳導，減少了樣品臺的振動；3.通過水冷腔體的設置，降低將電學接口上檢測探針的溫度，減小檢測探針內溫度梯度對電測量的影響。
附圖說明
[0022]圖1為本申請實施例主要體現整體結構的軸測示意圖；圖2為本申請實施例主要體現真空泵結構的示意圖；圖3為本申請實施例主要體現樣品臺結構的示意圖；圖4為本申請實施例主要體現電熱絲結構的示意圖；圖5為本申請實施例主要體現測試機柜結構的示意圖；附本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種精密測試平臺，其特征在于：包括減震平臺(1)和測試機柜(2)，所述測試機柜(2)可拆卸連接在所述減震平臺(1)上，所述減震平臺(1)上安裝有真空腔體(3)，所述真空腔體(3)內安裝有樣品臺(4)，所述真空腔體(3)上安裝有觀察窗(5)，所述真空腔體(3)上連接有共地電纜(6)，所述減震平臺(1)上設置有用于維持所述真空腔體(3)真空度的真空維持件，所述減震平臺(1)上還設置有用于控制所述真空腔體(3)溫度的溫控組件(7)，所述測試機柜(2)上還設置有用于對所述真空腔體(3)內高阻樣品進行測試的電學測試組件(8)。2.根據權利要求1所述的一種精密測試平臺，其特征在于：所述溫控組件(7)包括固定連接在所述真空腔體(3)上的低溫腔體(71)、固定連接在所述樣品臺(4)下方的電熱絲(72)，所述低溫腔體(71)上安裝有液氮進口(9)，所述低溫腔體(71)與所述真空腔體(3)連通，所述測試機柜(2)上設置有用于控制所述電熱絲(72)加熱狀態的溫控儀(10)。3.根據權利要求2所述的一種精密測試平臺，其特征在于：所述真空維持件為固定安裝在所述減震平臺(1)上的真空泵(20)，所述真空泵(20)上固定連接有陶瓷波紋管(30)，所述真空泵(20)通過所述陶瓷波紋管(30)與所述低溫腔體(71)連通，所述減震平臺(1)上設置有用于控制所述真空泵(20)與所述真空腔體(3)連通狀態的插板閥(40)。4.根據權利要求3所述的一種精密測試平臺，其特征在于：所述減震平臺(1)遠離所述真空...

【專利技術屬性】
技術研發人員：黃曉婷，
申請(專利權)人：上海柯舜科技有限公司，
類型：發明
國別省市：