本發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)公開(kāi)一種可以調(diào)節(jié)施壓重心的壓力盤(pán)及其調(diào)節(jié)方法，涉及拋光加工技術(shù)領(lǐng)域，包括同軸設(shè)置的上盤(pán)體和下盤(pán)體，上盤(pán)體用于連接旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，下盤(pán)體用于向受壓件施壓；上盤(pán)體與下盤(pán)體的邊緣固定連接，上盤(pán)體與下盤(pán)體之間具有與二者同軸的圓柱形空腔；上盤(pán)體的中部與下盤(pán)體的中部通過(guò)連接件進(jìn)行連接，連接件與上盤(pán)體、下盤(pán)體同軸設(shè)置，用于調(diào)節(jié)下盤(pán)體與上盤(pán)體之間的距離，使下盤(pán)體在內(nèi)凹、平整和外凸三種結(jié)構(gòu)形式之間切換；本發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)通過(guò)調(diào)節(jié)連接件，能夠?qū)ο卤P(pán)體施壓面的形態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)，進(jìn)而調(diào)節(jié)壓力盤(pán)的施壓重心，適應(yīng)受壓件的形狀變化，從而減少受壓件的修整次數(shù)，提高工作效率，降低修整成本。修整成本。修整成本。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種可以調(diào)節(jié)施壓重心的壓力盤(pán)及其調(diào)節(jié)方法
[0001]本專(zhuān)利技術(shù)涉及拋光加工
，特別是涉及一種可以調(diào)節(jié)施壓重心的壓力盤(pán)及其調(diào)節(jié)方法。
技術(shù)介紹
[0002]傳統(tǒng)研磨/拋光方案使用的壓力盤(pán)是固定造型，一旦設(shè)定好無(wú)法輕易改變。在生產(chǎn)過(guò)程中，傳統(tǒng)壓力盤(pán)會(huì)給研磨件施加一定的壓力，從而提高研磨速率。但在研磨過(guò)程中，由于研磨件各區(qū)域線速度的不同，以及研磨盤(pán)或拋光盤(pán)的平整度不同，總會(huì)使研磨件邊緣到中心呈現(xiàn)不同的去除速率，最終使得研磨件外凸或者凹陷，進(jìn)一步造成產(chǎn)品平行度和平面度未能達(dá)到預(yù)期要求。
[0003]當(dāng)研磨件外凸或者凹陷時(shí)，只能通過(guò)再次研磨或者加工大盤(pán)重新獲取較高的精準(zhǔn)度。但是此方法嚴(yán)重影響工程進(jìn)度且整體維護(hù)成本較大。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
[0004]本專(zhuān)利技術(shù)的目的是提供一種可以調(diào)節(jié)施壓重心的壓力盤(pán)及其調(diào)節(jié)方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，能夠?qū)ο卤P(pán)體施壓面的形態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)，進(jìn)而調(diào)節(jié)壓力盤(pán)的施壓重心，適應(yīng)受壓件的形狀變化，從而減少受壓件的修整次數(shù)，提高工作效率，降低修整成本。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本專(zhuān)利技術(shù)提供了如下方案：本專(zhuān)利技術(shù)提供一種可以調(diào)節(jié)施壓重心的壓力盤(pán)，包括同軸設(shè)置的上盤(pán)體和下盤(pán)體，所述上盤(pán)體用于連接旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述下盤(pán)體用于向受壓件施壓；所述上盤(pán)體與所述下盤(pán)體的邊緣固定連接，所述上盤(pán)體與所述下盤(pán)體之間具有與二者同軸的圓柱形空腔；所述上盤(pán)體的中部與所述下盤(pán)體的中部通過(guò)連接件進(jìn)行連接，所述連接件與所述上盤(pán)體、所述下盤(pán)體同軸設(shè)置，用于調(diào)節(jié)所述下盤(pán)體與所述上盤(pán)體之間的距離，使所述下盤(pán)體在內(nèi)凹、平整和外凸三種結(jié)構(gòu)形式之間切換。
[0006]優(yōu)選的，所述上盤(pán)體和/或所述下盤(pán)體的中部同軸設(shè)置有圓柱形凹槽。
[0007]優(yōu)選的，所述連接件包括調(diào)節(jié)螺栓，所述下盤(pán)體的中心位置設(shè)置有通孔，所述通孔的外側(cè)同軸設(shè)置有用于容納所述調(diào)節(jié)螺栓上螺帽的容納槽，所述容納槽的深度大于所述螺帽的高度；所述上盤(pán)體的中心位置設(shè)置有內(nèi)螺紋孔，所述調(diào)節(jié)螺栓穿過(guò)所述通孔和所述圓柱形空腔連接于所述內(nèi)螺紋孔中；調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)螺栓擰入所述內(nèi)螺紋孔中的長(zhǎng)度。
[0008]優(yōu)選的，所述上盤(pán)體的邊緣與所述下盤(pán)體的邊緣之間通過(guò)均勻設(shè)置的若干連接螺栓進(jìn)行連接。
[0009]優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)螺栓的大小大于所述連接螺栓。
[0010]優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)螺栓、所述上盤(pán)體和所述下盤(pán)體均為不銹鋼材質(zhì)。
[0011]本專(zhuān)利技術(shù)還提供一種可以調(diào)節(jié)施壓重心的壓力盤(pán)的調(diào)節(jié)方法，包括以下步驟：將上盤(pán)體與下盤(pán)體扣合并利用連接螺母進(jìn)行連接，調(diào)節(jié)螺栓擰入內(nèi)螺紋孔內(nèi)，使下盤(pán)體向下凹陷，且調(diào)節(jié)螺栓仍有向下擰緊的余量，然后將下盤(pán)體的施壓面車(chē)削平整；當(dāng)壓力盤(pán)施壓重心需要外移時(shí)，擰緊調(diào)節(jié)螺栓，下盤(pán)體的施壓面向內(nèi)凹陷，壓力盤(pán)的施壓重心向外偏移，直至
達(dá)到所需要求；當(dāng)壓力盤(pán)施壓重心需要內(nèi)移時(shí)，松開(kāi)調(diào)節(jié)螺栓，下盤(pán)體的施壓面向外凸起，壓力盤(pán)的施壓重心向內(nèi)偏移，直至達(dá)到所需要求。
[0012]優(yōu)選的，在擰緊或松開(kāi)調(diào)節(jié)螺栓過(guò)程中，利用測(cè)量元件測(cè)量施壓面的凹陷或凸起的數(shù)值。
[0013]本專(zhuān)利技術(shù)相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)取得了以下技術(shù)效果：
[0014]1、本專(zhuān)利技術(shù)通過(guò)調(diào)節(jié)連接件，能夠?qū)ο卤P(pán)體施壓面的形態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)，進(jìn)而調(diào)節(jié)壓力盤(pán)的施壓重心，適應(yīng)受壓件的形狀變化，從而減少受壓件的修整次數(shù)，提高工作效率，降低修整成本；
[0015]2、本專(zhuān)利技術(shù)利用調(diào)節(jié)螺栓對(duì)下盤(pán)體進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)更加簡(jiǎn)單，容易實(shí)現(xiàn)，便于進(jìn)行大范圍推廣。
附圖說(shuō)明
[0016]為了更清楚地說(shuō)明本專(zhuān)利技術(shù)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本專(zhuān)利技術(shù)的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為本專(zhuān)利技術(shù)中壓力盤(pán)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為下盤(pán)體的施壓面內(nèi)凹時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為下盤(pán)體的施壓面外凸時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]其中，1、上盤(pán)體；2、下盤(pán)體；3、調(diào)節(jié)螺栓；4、連接螺栓。
具體實(shí)施方式
[0021]下面將結(jié)合本專(zhuān)利技術(shù)實(shí)施例中的附圖，對(duì)本專(zhuān)利技術(shù)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本專(zhuān)利技術(shù)一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本專(zhuān)利技術(shù)中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本專(zhuān)利技術(shù)保護(hù)的范圍。
[0022]本專(zhuān)利技術(shù)的目的是提供一種可以調(diào)節(jié)施壓重心的壓力盤(pán)及其調(diào)節(jié)方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，能夠?qū)ο卤P(pán)體施壓面的形態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)，進(jìn)而調(diào)節(jié)壓力盤(pán)的施壓重心，適應(yīng)受壓件的形狀變化，從而減少受壓件的修整次數(shù)，提高工作效率，降低修整成本。
[0023]為使本專(zhuān)利技術(shù)的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本專(zhuān)利技術(shù)作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0024]如圖1～圖3所示，本實(shí)施例提供一種可以調(diào)節(jié)施壓重心的壓力盤(pán)，包括同軸設(shè)置的上盤(pán)體1和下盤(pán)體2，上盤(pán)體1用于連接旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，下盤(pán)體2用于向受壓件施壓；上盤(pán)體1與下盤(pán)體2的邊緣固定連接，上盤(pán)體1與下盤(pán)體2之間具有與二者同軸的圓柱形空腔；上盤(pán)體1的中部與下盤(pán)體2的中部通過(guò)連接件進(jìn)行連接，連接件與上盤(pán)體1、下盤(pán)體2同軸設(shè)置，用于調(diào)節(jié)下盤(pán)體2與上盤(pán)體1之間的距離，使下盤(pán)體2在內(nèi)凹、平整和外凸三種結(jié)構(gòu)形式之間切換。
[0025]使用時(shí)，將上盤(pán)體1與下盤(pán)體2同軸固定，并利用連接件將下盤(pán)體2的中部與上盤(pán)體1的中部連接。正常工作時(shí)，下盤(pán)體2的施壓面平整。長(zhǎng)時(shí)間加工后，當(dāng)受壓件呈外凸形狀時(shí)，
壓力盤(pán)施壓重心需要外移，即增大下盤(pán)體2外邊緣區(qū)域施壓能力，則調(diào)節(jié)連接件使下盤(pán)體2施壓面向內(nèi)凹陷，此時(shí)壓力盤(pán)的施壓重心則向外偏移，受壓件在外邊緣承受壓力高于中部受到的壓力。當(dāng)受壓件呈凹陷形狀時(shí)，壓力盤(pán)施壓重心需要內(nèi)移，下盤(pán)體2的中心區(qū)域先接觸受壓件，調(diào)節(jié)連接件使下盤(pán)體2向外慢慢凸起。此時(shí)壓力盤(pán)施壓重心向內(nèi)偏移，受壓件在中間受到的壓力大于在外邊緣受到的壓力，受壓件中部的去處速率提高，抵消受壓件內(nèi)部線速度低，去除量少的情況。
[0026]本實(shí)施例中受壓件為耐磨盤(pán)或拋光盤(pán)。
[0027]因此，本實(shí)施例通過(guò)調(diào)節(jié)連接件，能夠?qū)ο卤P(pán)體2施壓面的形態(tài)進(jìn)行調(diào)節(jié)，進(jìn)而調(diào)節(jié)壓力盤(pán)的施壓重心，適應(yīng)受壓件的形狀變化，從而減少受壓件的修整次數(shù)，提高工作效率，降低修整成本。
[0028]本實(shí)施例中上盤(pán)體1和/或下盤(pán)體2的中部同軸設(shè)置有圓柱形凹槽，一個(gè)或兩個(gè)圓柱形凹槽形成圓柱形空腔，使得上盤(pán)體1和下盤(pán)體2之間具有足夠的空間供下盤(pán)體2向內(nèi)凹陷。
[0029]進(jìn)一步的，本實(shí)施例中連接件包括調(diào)節(jié)螺栓3，下盤(pán)體2的中心位置設(shè)置有通孔，通孔的外側(cè)同軸設(shè)置有用于容納調(diào)節(jié)螺栓3上螺帽的容納槽，容納槽的深度大于螺帽的高度；上盤(pán)體1的中心位置設(shè)置有內(nèi)螺紋孔，調(diào)節(jié)螺栓3穿過(guò)通孔和圓柱形空腔連接于內(nèi)螺紋孔中；調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)螺栓3擰入內(nèi)螺紋孔中的長(zhǎng)度，進(jìn)而調(diào)節(jié)下盤(pán)體2的型面。需要說(shuō)明的是本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
【技術(shù)特征摘要】
1.一種可以調(diào)節(jié)施壓重心的壓力盤(pán)，其特征在于，包括同軸設(shè)置的上盤(pán)體和下盤(pán)體，所述上盤(pán)體用于連接旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述下盤(pán)體用于向受壓件施壓；所述上盤(pán)體與所述下盤(pán)體的邊緣固定連接，所述上盤(pán)體與所述下盤(pán)體之間具有與二者同軸的圓柱形空腔；所述上盤(pán)體的中部與所述下盤(pán)體的中部通過(guò)連接件進(jìn)行連接，所述連接件與所述上盤(pán)體、所述下盤(pán)體同軸設(shè)置，用于調(diào)節(jié)所述下盤(pán)體與所述上盤(pán)體之間的距離，使所述下盤(pán)體在內(nèi)凹、平整和外凸三種結(jié)構(gòu)形式之間切換。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可以調(diào)節(jié)施壓重心的壓力盤(pán)，其特征在于，所述上盤(pán)體和/或所述下盤(pán)體的中部同軸設(shè)置有圓柱形凹槽。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的可以調(diào)節(jié)施壓重心的壓力盤(pán)，其特征在于，所述連接件包括調(diào)節(jié)螺栓，所述下盤(pán)體的中心位置設(shè)置有通孔，所述通孔的外側(cè)同軸設(shè)置有用于容納所述調(diào)節(jié)螺栓上螺帽的容納槽，所述容納槽的深度大于所述螺帽的高度；所述上盤(pán)體的中心位置設(shè)置有內(nèi)螺紋孔，所述調(diào)節(jié)螺栓穿過(guò)所述通孔和所述圓柱形空腔連接于所述內(nèi)螺紋孔中；調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)螺栓擰入所述內(nèi)螺紋孔中的長(zhǎng)度。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳肖文，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：上海致領(lǐng)半導(dǎo)體科技發(fā)展有限公司，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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