真空系統技術方案

一種真空系統，包括：真空腔體；與真空腔體相連通的第一真空泵；與真空腔體相連通的第二真空泵；第一真空泵和第二真空泵通過連通轉接結構互相連通。所述真空系統能夠實現對所述第一真空泵或第二真空泵單獨測漏，提升真空測漏的準確性。的準確性。的準確性。

【技術實現步驟摘要】
真空系統


[0001]本專利技術涉及真空
，尤其涉及一種真空系統。

技術介紹

[0002]冷凝泵是創造高真空環境最重要的設備，但是冷凝泵在長期的使用過程中其真空部件也會老化損壞，不可避免的會存在真空泄露。目前常見的測漏儀只針對真空腔體進行測漏，因此需要一種方法對冷凝泵也進行測漏。

技術實現思路

[0003]本專利技術解決的技術問題是提供一種真空系統，以提升對真空系統的測漏效果。
[0004]為解決上述技術問題，本專利技術技術方案提供一種真空系統，包括：真空腔體；與真空腔體相連通的第一真空泵；與真空腔體相連通的第二真空泵；連通轉接結構，所述連通轉接結構包括第一端、第二端和第三端，所述第一端與第一真空泵相連通，所述第二端與第二真空泵相連通，所述第三端用于與測漏儀相連通。
[0005]可選的，所述連通轉接結構包括三通轉接頭，所述三通轉接頭包括第一端、第二端和第三端，所述第一端與第一真空泵相連通，所述第二端與第二真空泵相連通，所述第三端與測漏儀相連通。
[0006]可選的，還包括：設置于所述三通轉接頭第三端內的手動閥。
[0007]可選的，還包括：第一管道，所述第一管道兩端分別連通所述第一真空泵和三通轉接頭的第一端。
[0008]可選的，還包括：第二管道，所述第二管道兩端分別連通所述測漏儀和三通轉接頭的第三端。
[0009]可選的，還包括：相連通的第三管道和第四管道，所述第三管道與三通轉接頭的第二端相連通，所述第四管道與所述第二真空泵相連通。
[0010]可選的，還包括：位于所述第三管道內的第一氣動閥。
[0011]可選的，還包括：第五管道，所述第五管道的兩端分別與所述真空腔體和第四管道相連通，所述真空腔體通過第四管道和第五管道與第二真空泵相連通。
[0012]可選的，還包括：位于所述第五管道內的第二氣動閥。
[0013]可選的，還包括：位于第一真空泵和真空腔體之間的門閥。
[0014]可選的，所述第一真空泵包括冷凝泵；所述第二真空泵包括干泵。
[0015]可選的，所述測漏儀為氦氣測漏儀。
[0016]可選的，還包括：設置于真空腔體上的檢漏口，所述檢漏口用于與測漏儀相連通。
[0017]與現有技術相比，本專利技術的技術方案具有以下有益效果：
[0018]本專利技術的技術方案，所述連通轉接結構包括第一端、第二端和第三端，所述第一端與第一真空泵相連通，所述第二端與第二真空泵相連通，所述第三端用于與測漏儀相連通，，因此可以單獨控制第一真空泵和測漏儀相連通，以使所述測漏儀能夠單獨對所述第一
真空泵進行真空泄露檢測，從而能夠在不破壞真空腔體真空度的情況下快速對第一真空泵進行測漏，提高對真空系統測漏的準確度，從而能縮短維修時間、節省維修費用和節省人力。
[0019]進一步，所述連通轉接結構包括三通轉接頭，所述三通轉接頭第三端內設置有手動閥，在所述門閥和第一氣動閥都關閉的情況下，所述手動閥能夠控制所述第一真空泵和測漏儀的連通狀態，從而實現所述測漏儀對第一真空泵和第二氣動閥之間的管路進行單獨測漏的情況。
附圖說明
[0020]圖1是一實施例中真空系統的結構示意圖；
[0021]圖2和圖3是本專利技術實施例中真空系統的結構示意圖。
具體實施方式
[0022]如
技術介紹
所述，目前常見的測漏儀只針對真空腔體進行測漏，需要一種方法對冷凝泵也進行測漏?，F結合具體的實施例進行分析說明。
[0023]圖1是一實施例中真空系統的結構示意圖。
[0024]請參考圖1，所述真空系統包括：真空腔體100；與所述真空腔體100相連通的第一真空泵101；與所述真空腔體100相連通的第二真空泵103；與所述真空腔體100相連通的測漏儀104；設置于所述真空腔體100和第一真空泵101之間的門閥101；第一管道105、第二管道106和第三管道107，所述第一管道105的兩端分別與所述第一真空泵101和第三管道107的一端相連通，所述第二管道106的兩端分別與所述真空腔體100和第三管道107的一端相連通，所述第三管道107的另一端與第二真空泵103相連通；第四管道108，所述第四管道108的兩端分別與所述真空腔體100和測漏儀104相連通；設置于所述第一管道105內的第一氣動閥109；設置于所述第二管道106內的第二氣動閥110，設置于所述第四管道108內的手動閥(未標示)。
[0025]所述真空系統中，所述測漏儀104通過第四管道108與真空腔體100相連通，通過所述手動閥來控制所述測漏儀104與真空腔體100的連通狀態。所述第一真空泵102為冷凝泵，當需要檢測第一真空泵102是否有泄露真空的情況時，通常會進行如下操作：真空腔體100抽好真空后，打開設置于所述第四管道108內的手動閥，使所述測漏儀104與真空腔體100相連通；再強行打開設置于所述真空腔體100和第一真空泵101之間的門閥101，使所述第一真空泵101和真空腔體100相連通。然后通過測漏儀104進行檢測。
[0026]然而，一方面，所述測漏儀104的測漏結果無法區分是真空腔體100存在真空泄露，還是所述第一真空泵102存在真空泄露，當所述真空腔體100也存在真空泄露的情況時，所述測漏儀104對所述第一真空泵102的測漏結果將不準確；另一方面，當所述第一真空泵102存在真空泄露時，會導致第一真空泵102和真空腔體100之間有壓差，強行打開門閥101會對真空腔體100內的設備部件造成損壞；再一方面，如果所述第一真空泵102的真空泄露漏率較大時，所述第一真空泵102和真空腔體100之間的壓差過大，無法強行打開門閥101，需要向所述真空腔體100內充氣以破壞真空腔體100內的真空度，所述第一真空泵102和真空腔體100之間的壓差相差較小時才能打開門閥101，此時破壞真空腔體100內的真空環境后，會
增加復機成本。
[0027]為了解決上述問題，本專利技術技術方案提供一種真空系統，所述連通轉接結構包括第一端、第二端和第三端，所述第一端與第一真空泵相連通，所述第二端與第二真空泵相連通，所述第三端用于與測漏儀相連通，因此可以單獨控制第一真空泵和測漏儀相連通，以使所述測漏儀能夠單獨對所述第一真空泵進行真空泄露檢測，從而能夠在不破壞真空腔體真空度的情況下快速對第一真空泵進行測漏，提高對真空系統測漏的準確度，從而能縮短維修時間、節省維修費用和節省人力。
[0028]為使本專利技術的上述目的、特征和有益效果能夠更為明顯易懂，下面結合附圖對本專利技術的具體實施例做詳細的說明。
[0029]圖2和圖3是本專利技術實施例中真空系統的結構示意圖。
[0030]請參考圖2和圖3，圖3為圖2中連通轉接結構的放大示意圖，所述真空系統包括：真空腔體200；與真空腔體200相連通的第一真空泵202；與真空腔體200相連通的第二真空泵210；連通轉接結構203，所述連通轉接結構203包括第一端、第二端和第三端，所述第一端與第一真空泵202相連通，所述本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種真空系統，其特征在于，包括：真空腔體；與真空腔體相連通的第一真空泵；與真空腔體相連通的第二真空泵；連通轉接結構，所述連通轉接結構包括第一端、第二端和第三端，所述第一端與第一真空泵相連通，所述第二端與第二真空泵相連通，所述第三端用于與測漏儀相連通。2.如權利要求1所述的真空系統，其特征在于，所述連通轉接結構包括三通轉接頭，所述三通轉接頭包括第一端、第二端和第三端，所述第一端與第一真空泵相連通，所述第二端與第二真空泵相連通，所述第三端與測漏儀相連通。3.如權利要求2所述的真空系統，其特征在于，還包括：設置于所述三通轉接頭第三端內的手動閥。4.如權利要求2所述的真空系統，其特征在于，還包括：第一管道，所述第一管道兩端分別連通所述第一真空泵和三通轉接頭的第一端。5.如權利要求2所述的真空系統，其特征在于，還包括：第二管道，所述第二管道兩端分別連通測漏儀和三通轉接頭的第三端。6.如權利要求2所述的真空系統，其特征在于，...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王典勇，吳正隆，陳國，弓壯壯，李亞林，
申請(專利權)人：浙江創芯集成電路有限公司，
類型：發明
國別省市：