本發明專利技術公開了一種橫模抑制的聲表面波裝置及其成型方法，屬于聲表面波濾波器技術領域，聲表面波裝置包括壓電基板、叉指換能器和反射柵，叉指換能器包括第一匯流條和第二匯流條；壓電基板的一側設置有橫模抑制金屬層，橫模抑制金屬層包括第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條，第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條的表面覆蓋有非金屬介質層，第一橫模抑制金屬條橫跨第一叉指電極和第二叉指電極且與第一叉指電極的端部對應，第二橫模抑制金屬條橫跨第一叉指電極和第二叉指電極且與第二叉指電極的端部對應。該成型方法用于成型上述的聲表面波裝置，該聲表面波裝置不但可以有效的抑制橫模，而且可以減低成型工藝難度。度。度。
【技術實現步驟摘要】
一種橫模抑制的聲表面波裝置及其成型方法
[0001]本專利技術涉及聲表面波
，尤其涉及一種橫模抑制的聲表面波裝置及其成型方法。
技術介紹
[0002]隨著移動通信技術的快速發展，聲表面波裝置（Surface Acoustic Wave,SAW）由于其尺寸小，性能好等特點，在射頻前端中占有越來越重要的地位。而由于聲表面波裝置的結構限制，叉指電極在采用疊層結構的聲表面波裝置中不可避免會激發出高階的橫向雜波，反應到導納曲線可以發現，諧振頻率往高頻方向會出現很多尖刺，導致濾波器的性能惡化。
[0003]而目前的橫模抑制手段是改變叉指電極的末端區域的聲速，從而抑制橫向雜波，例如專利技術專利公布號CN116683885A公開了一種具有活塞模式的聲表面波裝置，該專利技術申請文件中公開了在電極指的端部設置了電極指增重部，從而改變聲速以達到橫模抑制的作用。然而對于一些高頻濾波器，周期很小，叉指指條和間隙也相應很窄，而由于增加了電極指增重部，使得精度的要求非常高，這對成型的工藝要求非常苛刻，對光刻機的分辨率要求也非常高，而一旦工藝精度不滿足，就容易造成增重部的偏差，影響產品性能，甚至造成短路的情況。
[0004]另外，目前的聲表面波裝置，叉指電極直接設置在壓電基體上，以方便形成壓電效應，而壓電基體的導熱系數并不高，因此，大功率的環境下，叉指電極產生的熱量難以快速釋放，濾波器可能出現積熱的情況，從而導致濾波器容易出現燒毀。
技術實現思路
[0005]本專利技術所要解決的第一個技術問題是：提供一種橫模抑制的聲表面波裝置，該聲表面波裝置不但可以有效的抑制橫模，而且可以減低成型工藝難度。
[0006]本專利技術所要解決的第二個技術問題是：提供一種橫模抑制的聲表面波裝置的成型方法，該成型方法可以成型上述的濾波器，成型工藝更簡單。
[0007]為解決上述技術問題，本專利技術的技術方案是：一種橫模抑制的聲表面波裝置，包括壓電基板、叉指換能器和反射柵，所述叉指換能器包括第一匯流條和第二匯流條；第一匯流條和第二匯流條之間交替間隔設置有多個第一叉指電極和多個第二叉指電極；所述第一叉指電極自第一匯流條引出并向第二匯流條延伸，所述第二叉指電極自第二匯流條引出并向第一匯流條延伸，所述壓電基板的一側設置有橫模抑制金屬層，所述橫模抑制金屬層包括縱向延伸的第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條，所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條的表面覆蓋有非金屬介質層，所述叉指換能器和反射柵設置于非金屬介質層的表面，所述第一橫模抑制金屬條橫跨所述第一叉指電極和第二叉指電極且與第一叉指電極的端部位置對應，所述第二橫模抑制金屬條橫跨所述第一叉指電極和第二叉指電極且與第二叉指電極的端部位置對應。
[0008]作為一種優選的方案，所述非金屬介質層的導熱系數高于壓電基板的導熱系數。
[0009]作為一種優選的方案，所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條設置于所述壓電基板的一側表面上；或者所述壓電基板的一側面設置有容納所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條的容納槽，所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條設置于所述容納槽內。
[0010]作為一種優選的方案，所述非金屬介質層包括間隔的第一覆蓋區域和第二覆蓋區域，所述第一覆蓋區域覆蓋所述第一橫模抑制金屬條，所述第二覆蓋區域覆蓋所述第二橫模抑制金屬條，所述第一叉指電極和第二叉指電極在非金屬介質層以外的區域與壓電基板接觸。
[0011]作為一種優選的方案，所述第一橫模抑制金屬條與第二橫模抑制金屬條相鄰的一側為第一臨近側面，所述第二橫模抑制金屬條與第一橫模抑制金屬條的相鄰的一側為第二臨近側面，所述第一臨近側面和/或第二臨近側面包括至少一個方便橫向雜波導向側面的導出斜面段，該導出斜面段與縱向方向線成一夾角。
[0012]作為一種優選的方案，所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條上分別設置有若干個第一分隔間隙和第二分隔間隙，所述第一分隔間隙將第一橫模抑制金屬條分隔成若干個間隔的第一橫模抑制金屬條單體，所述第二分隔間隙將第二橫模抑制金屬條分隔成若干個間隔的第二橫模抑制金屬條單體，各第一橫模抑制金屬條單體一一對應位于第一叉指電極和第二叉指電極的下方，各第二橫模抑制金屬條單體一一對應位于第一叉指電極和第二叉指電極的下方。
[0013]作為一種優選的方案，所述橫模抑制金屬層還包括至少一條第一輔助抑制金屬條和至少一條第二輔助抑制金屬條，所述第一輔助抑制金屬條位于第一橫模抑制金屬條和第二匯流條之間，所述第二輔助抑制金屬條位于第二橫模抑制金屬條和第一匯流條之間。
[0014]作為一種優選的方案，所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條的兩端延伸至兩側的反射柵的下方，所述叉指換能器和反射柵的表面設置有鈍化層或者溫度補償層。
[0015]采用了上述技術方案后，本專利技術的效果是：由于所述壓電基板的一側設置有橫模抑制金屬層，所述橫模抑制金屬層包括縱向延伸的第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條，所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條的表面覆蓋有非金屬介質層，所述叉指換能器和反射柵設置于非金屬介質層的表面，所述第一橫模抑制金屬條橫跨所述第一叉指電極和第二叉指電極且與第一叉指電極的端部位置對應，所述第二橫模抑制金屬條橫跨所述第一叉指電極和第二叉指電極且與第二叉指電極的端部位置對應，因此，該濾波器的第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條是設置在壓電基板的一側，然后利用非金屬介質層進行覆蓋隔離，首先第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條的制作時可以直接在作為壓電基板的晶圓上直接成型即可，成型精度要求比較低；而由于有非金屬介質層的阻隔，也方便叉指換能器和反射柵的成型，第一叉指電極和第二叉指電極的端部沒有體積更大的電極指增重部，因此叉指換能器和反射柵之間的間隙正常，這樣極大降低了光刻分辨率要求，也不用考慮橫向的偏差以及叉指換能器、反射柵短路的問題。
[0016]又由于所述非金屬介質層的導熱系數高于壓電基板的導熱系數，由于濾波器的叉指換能器各部位產生的熱量并不相同，因此就會有溫度更高的積熱區域，而目前常規的濾
波器的叉指換能器的熱量直接傳導到壓電基板，但是壓電基板的熱傳導效率比較低，導致局部積熱嚴重，最終濾波器的功率耐受性比較低，而本專利技術中非金屬介質層的導熱效果就比壓電基板的導熱效果更好，這樣可以將濾波器的積熱區域的熱量更好更快速的傳導和分散到其他溫度相對低點的區域，最終解決了局部積熱嚴重的問題，極大的提高了濾波器的功率耐受性能。
[0017]又由于所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條設置于所述壓電基板的一側表面上；或者所述壓電基板的一側面設置有容納所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條的容納槽，所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條設置于所述容納槽內，當所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條設置于所述容納槽內時，這樣在保證第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條有足夠厚度的情況，使第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條上表面盡可能的與壓電基板平齊或者略高于壓電基板的本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種橫模抑制的聲表面波裝置，包括壓電基板、叉指換能器和反射柵，所述叉指換能器包括第一匯流條和第二匯流條；第一匯流條和第二匯流條之間交替間隔設置有多個第一叉指電極和多個第二叉指電極；所述第一叉指電極自第一匯流條引出并向第二匯流條延伸，所述第二叉指電極自第二匯流條引出并向第一匯流條延伸，其特征在于：所述壓電基板的一側設置有橫模抑制金屬層，所述橫模抑制金屬層包括縱向延伸的第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條，所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條的表面覆蓋有非金屬介質層，所述叉指換能器和反射柵設置于非金屬介質層的表面，所述第一橫模抑制金屬條橫跨所述第一叉指電極和第二叉指電極且與第一叉指電極的端部位置對應，所述第二橫模抑制金屬條橫跨所述第一叉指電極和第二叉指電極且與第二叉指電極的端部位置對應。2.如權利要求1所述的一種橫模抑制的聲表面波裝置，其特征在于：所述非金屬介質層的導熱系數高于壓電基板的導熱系數。3.如權利要求1或2所述的一種橫模抑制的聲表面波裝置，其特征在于：所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條設置于所述壓電基板的一側表面上；或者所述壓電基板的一側面設置有容納所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條的容納槽，所述第一橫模抑制金屬條和第二橫模抑制金屬條設置于所述容納槽內。4.如權利要求3所述的一種橫模抑制的聲表面波裝置，其特征在于：所述非金屬介質層包括間隔的第一覆蓋區域和第二覆蓋區域，所述第一覆蓋區域覆蓋所述第一橫模抑制金屬條，所述第二覆蓋區域覆蓋所述第二橫模抑制金屬條，所述第一叉指電極和第二叉指電極在非金屬介質層以外的區域與壓電基板接觸。5.如權利要求4所述的一種橫模抑制的聲表面波裝置，其特征在于：所述第一橫模抑制金屬條與第二橫模抑制金屬條相鄰的一側為第一臨近側面，所述第二橫模抑制金屬條與第一橫模抑制金屬條的相鄰的一側為第二臨近...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王景虹，李曉輝，
申請(專利權)人：蘇州聲芯電子科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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