一種電子級硫酸生產用三氧化硫汽化的裝置制造方法及圖紙

一種電子級硫酸生產用三氧化硫汽化的裝置，包括有電加熱器外殼和電加熱組，電加熱器外殼上端開口處設有頂板，所述頂板上垂直插設有電加熱組，電加熱組圍繞頂板的圓心呈環形對稱設置，頂板的圓心處開設有氣相出口，氣相出口旁垂直設置有液相進管，所述液相進管連通電加熱器外殼的內部，電加熱器外殼的側壁處設置有液位監測裝置；本實用新型專利技術采用一種全新的加熱方式，能夠使三氧化硫的生產更加穩定，并且能夠解決管道和裝置腐蝕的問題。能夠解決管道和裝置腐蝕的問題。能夠解決管道和裝置腐蝕的問題。

【技術實現步驟摘要】
一種電子級硫酸生產用三氧化硫汽化的裝置


[0001]本技術屬于化工生產裝置領域，特別涉及一種電子級硫酸生產用三氧化硫汽化的裝置。

技術介紹

[0002]電子級硫酸又稱超純硫酸，屬于超凈高純試劑。是工業上用量最大的濕電子化學試劑，電子級硫酸主要用于硅晶片的清洗、光刻、腐蝕，印刷電路板的腐蝕和清洗，并可有效除去晶片上的雜志顆粒、無機殘留物和碳沉積物，在半導體工業中屬于不可缺少的關鍵基礎化學試劑，因此電子級硫酸的純度會直接影響集成電路的成品率。
[0003]目前電子級硫酸主流生產工藝為三氧化硫吸收法，即用原料三氧化硫經加熱汽化形成三氧化硫氣體，三氧化硫氣體經純化后被吸收形成電子級硫酸；而三氧化硫的蒸發器主要有熱水加熱器、硫酸間接加熱器；由于蒸發器及相配套的加熱管的材質均為不銹鋼，因此三氧化硫中的少量發煙酸會對設備產生腐蝕，而設備外殼及加熱管的腐蝕會帶來兩大隱患：一是加熱管穿孔加熱介質（熱水或者濃硫酸）進入三氧化硫液體帶來巨大安全隱患；二是不銹鋼材質腐蝕會造成三氧化硫液體中金屬離子含量增加，最終影響電子級硫酸品質。

技術實現思路

[0004]鑒于
技術介紹
所存在的技術問題，本技術所提一種電子級硫酸生產用三氧化硫汽化的裝置，本裝置采用一種全新的加熱方式，能夠使三氧化硫的生產更加穩定，并且能夠解決管道和裝置腐蝕的問題。
[0005]為了解決上述技術問題，本技術采取了如下技術方案來實現：
[0006]一種電子級硫酸生產用三氧化硫汽化的裝置，包括有電加熱器外殼和電加熱組，電加熱器外殼上端開口處設有頂板，所述頂板上垂直插設有電加熱組，電加熱組圍繞頂板的圓心呈環形對稱設置，頂板的圓心處開設有氣相出口，氣相出口旁垂直設置有液相進管，所述液相進管連通電加熱器外殼的內部，電加熱器外殼的側壁處設置有液位監測裝置。
[0007]優選的方案中，電加熱器外殼的內部設有隔板，所述隔板上開設有透液孔。
[0008]優選的方案中，頂板上設有接線盤，電加熱組的末端在頂板上方通過電纜與接線盤相互串連。
[0009]優選的方案中，電加熱器外殼的內壁處設有電加熱器內村。
[0010]優選的方案中，電加熱組的上半段為非加熱區，電加熱組的下半段為加熱區，所述非加熱區固定在隔板的上方區域，加熱區固定在隔板的下方區域。
[0011]優選的方案中，電加熱組的外部設有電加熱組外村，所述電加熱組外村和加熱區之間設有絕緣層。
[0012]優選的方案中，液位監測裝置包括有液位管，所述液位管的兩端分別與電加熱器外殼的上下端相連通，液位管內設有浮體，液位管的外側設有光電傳感器，所述光電傳感器的安設高度與隔板的高度相一致。
[0013]本專利可達到以下有益效果：
[0014]1、本裝置首次采用電加熱的方式汽化三氧化硫，徹底解決熱水或者濃硫酸因換熱管腐蝕穿孔泄露至三氧化硫液體中引起的安全隱患；電加熱采用變頻控制技術使加熱過程更加平穩，其生產也更加穩定；
[0015]2、本裝置通過設置電加熱器內村和電加熱組外村，能夠徹底隔絕酸性物質與加熱管、導線和不銹鋼外殼的接觸，從根本上解決了腐蝕問題；
[0016]3、裝置中的電加熱組設置有非加熱區和加熱區，并通過液位監測裝置將三氧化硫液位控制在加熱區以上，能夠有效防止加熱區干燒，保護電加熱組；并且在非加熱區域內能夠保障有足夠的氣相區空間，進一步保證三氧化硫的穩定汽化。
附圖說明
[0017]下面結合附圖和實施例對本技術作進一步說明：
[0018]圖1為本技術整體結構剖面平面圖；
[0019]圖2為本技術頂板俯視平面圖；
[0020]圖3為本技術電加熱組結構示意圖。
[0021]圖中：電加熱器外殼1、頂板101、電加熱器內村102、接線盤2、氣相出口3、液相進管4、電加熱組5、非加熱區501、加熱區502、電加熱組外村503、絕緣層504、隔板6、透液孔7、液位管8、浮體9、光電傳感器10、三氧化硫液體11、電纜12。
具體實施方式
[0022]如圖1和圖2所示，一種電子級硫酸生產用三氧化硫汽化的裝置，包括有電加熱器外殼1和電加熱組5，電加熱器外殼1上端開口處設有頂板101，所述頂板101上垂直插設有電加熱組5，電加熱組5圍繞頂板101的圓心呈環形對稱設置，頂板101的圓心處開設有氣相出口3，氣相出口3旁垂直設置有液相進管4，所述液相進管4連通電加熱器外殼1的內部，電加熱器外殼1的側壁處設置有液位監測裝置；
[0023]裝置工作時，通過電加熱組5可對電加熱器外殼1內部三氧化硫液體11進行電加熱，三氧化硫液體11經過氣化后由氣相出口3排出，裝置在使用通過液位監測裝置實時監測三氧化硫液體11的液位，并通過液相進管4及時補充原料，防止三氧化硫液體11液位過低并影響其穩定生產。
[0024]優選的方案如圖1所示，電加熱器外殼1的內部設有隔板6，所述隔板6上開設有透液孔7。
[0025]優選的方案如圖1和圖2所示，頂板101上設有接線盤2，電加熱組5的末端在頂板101上方通過電纜12與接線盤2相互串連，裝置工作時接線盤2與變頻控制器相連接，能夠有效控制電加熱組5的溫度，使其對三氧化硫液體11的加熱更加平穩和精準。
[0026]優選的方案如圖1所示，電加熱器外殼1的內壁處設有電加熱器內村102；所述電加熱器內村102通常采用PTFE或PFA材質，具有優秀的抗酸性和耐高溫性，能夠有效避免酸性物質腐蝕電加熱器外殼1。
[0027]優選的方案如圖1和圖3所示，電加熱組5的上半段為非加熱區501，電加熱組5的下半段為加熱區502，所述非加熱區501固定在隔板6的上方區域，加熱區502固定在隔板6的下
方區域，所述加熱區502由電加熱絲構成，起到發熱作用；非加熱區501僅起到導電的作用；電加熱組5的外部設有電加熱組外村503，所述電加熱組外村503和加熱區502之間設有絕緣層504，電加熱組外村503也采用PTFE或PFA材質，具有優秀的抗酸性和耐高溫性，能夠有效避免酸性物質腐蝕電加熱組5。
[0028]優選的方案如圖1所示，液位監測裝置包括有液位管8，所述液位管8的兩端分別與電加熱器外殼1的上下端相連通，液位管8內設有浮體9，液位管8的外側設有光電傳感器10，所述光電傳感器10的安設高度與隔板6的高度相一致；
[0029]裝置工作時，液位管8內的三氧化硫液體11液位高度與電加熱器外殼1內部相一致，浮體9采用非透光材質，當電加熱器外殼1內部的三氧化硫液體11降到隔板6下方時，浮體9正好處于光電傳感器10之間并對信號傳輸起到阻斷作用（由于光電傳感器10的運行原理和結構為成熟的現有技術，在此不多做贅述），此時光電傳感器10立即向遠端的監控中心發出警告，提醒工作人員通過液相進管4及時向電加熱器外殼1內補充三氧化硫液體11，以防止三氧化硫液體11降低到加熱區502，并使加熱區502出現干燒等現象。
[0030]上述的實施例僅為本技術的本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種電子級硫酸生產用三氧化硫汽化的裝置，包括有電加熱器外殼（1）和電加熱組（5），其特征在于：電加熱器外殼（1）上端開口處設有頂板（101），所述頂板（101）上垂直插設有電加熱組（5），電加熱組（5）圍繞頂板（101）的圓心呈環形對稱設置，頂板（101）的圓心處開設有氣相出口（3），氣相出口（3）旁垂直設置有液相進管（4），所述液相進管（4）連通電加熱器外殼（1）的內部，電加熱器外殼（1）的側壁處設置有液位監測裝置。2.根據權利要求1所述的電子級硫酸生產用三氧化硫汽化的裝置，其特征在于：電加熱器外殼（1）的內部設有隔板（6），所述隔板（6）上開設有透液孔（7）。3.根據權利要求1所述的電子級硫酸生產用三氧化硫汽化的裝置，其特征在于：頂板（101）上設有接線盤（2），電加熱組（5）的末端在頂板（101）上方通過電纜（12）與接線盤（2）相互串連。4.根據權利要求1所述的電子級硫酸生產用三氧化硫汽化的裝置...

【專利技術屬性】
技術研發人員：郭嵐峰，楊著，葉瑞，劉悅，賀兆波，杜林，徐昊，廖義，
申請(專利權)人：湖北興福電子材料股份有限公司，
類型：新型
國別省市：