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    一種晶棒的粘料板及晶棒切割設備制造技術

    技術編號:39359114 閱讀:27 留言:0更新日期:2023-11-18 11:04
    本實用新型專利技術提供了一種晶棒的粘料板及晶棒切割設備,涉及硅片制造領域,包括:粘料板的第一表面用于與晶棒的側面粘接連接,晶棒的軸線方向與粘料板的長度方向平行,粘料板兩個相對的長邊的側壁,分別設置有定位凹槽;粘料板兩個相對的長邊的側壁與粘料板的第一表面相鄰;定位凹槽的延伸方向與沿粘料板的長邊方向平行。本實用新型專利技術可以在觀測到切割金剛線移動至處于定位凹槽中的位置時,準確判斷切割金剛線已完全切斷晶棒,切割金剛線與定位凹槽的重疊判斷清晰且直觀,大大提升了切割金剛線是否完全切斷晶棒的判斷準確性。另外,在切割金剛線移動至處于所述定位凹槽中的位置時,切割金剛線距離晶托還有一定的安全距離,從而也對晶托起到了保護。托起到了保護。托起到了保護。

    【技術實現步驟摘要】
    一種晶棒的粘料板及晶棒切割設備


    [0001]本申請涉及硅片制造領域,特別是涉及一種晶棒的粘料板及晶棒切割設備。

    技術介紹

    [0002]在光伏硅片制造過程中,需要采用切割設備對晶棒進行切割。
    [0003]目前,可以采用粘料板對晶棒進行粘接,并采用晶托承載粘料板和晶棒,通過金剛線的切割,達到對晶棒的切割目的。
    [0004]現有技術至少存在以下問題:對晶棒的切割需要將晶棒完全切斷,目前方案通過經驗觀察晶棒是否完全切斷,由于目視觀測的不準確性,導致經常出現晶棒未完全切斷,或過度切割使得金剛線切割至晶托造成損壞。

    技術實現思路

    [0005]本技術提供一種晶棒的粘料板及晶棒切割設備,以解決現有技術中通過經驗觀測晶棒是否完全切斷存在的不準確性的問題。
    [0006]為了解決上述問題,本技術是這樣實現的:
    [0007]第一方面,本技術實施例提供了一種晶棒的粘料板,所述粘料板的第一表面用于與晶棒的側面粘接連接,所述晶棒的軸線方向與所述粘料板的長度方向平行,所述粘料板兩個相對的長邊的側壁,分別設置有定位凹槽;所述粘料板兩個相對的長邊的側壁與所述粘料板的第一表面相鄰;所述長邊的側壁上的定位凹槽從所述粘料板的長邊的側壁的一端至另一端貫穿;所述長邊的側壁上的定位凹槽的開口朝向遠離所述長邊的側壁的方向;
    [0008]所述定位凹槽的延伸方向與沿所述粘料板的長邊方向平行。
    [0009]可選的,所述定位凹槽的槽深為2
    ?
    4mm,槽寬為2
    ?
    4mm。
    [0010]可選的,在所述粘料板的長邊的側壁中,所述定位凹槽設置在與所述長邊方向平行的中線位置處。
    [0011]可選的,在所述粘料板兩個相對的短邊的側壁,分別設置有定位凹槽;所述短邊的側壁上的定位凹槽從所述粘料板的短邊的側壁的一端至另一端貫穿;所述短邊的側壁上的定位凹槽的開口朝向遠離所述短邊的側壁的方向,所述短邊的側壁上的定位凹槽的延伸方向與沿所述粘料板的短邊方向平行。
    [0012]可選的,所述粘料板為一體結構。
    [0013]可選的,所述粘料板包括:第一分部和第二分部,所述第二分部的一面為凸起的連接部;
    [0014]所述第二分部通過所述連接部與所述第一分部可拆卸連接;
    [0015]所述第二分部背離所述連接部的一面用于與晶棒的側面粘接連接。
    [0016]可選的,所述粘料板的厚度為10mm。
    [0017]第二方面,本技術實施例提供了一種晶棒切割設備,包括:
    [0018]包括所述的晶棒的粘料板,晶托和切割金剛線;
    [0019]所述晶托的一面與所述粘料板的第二表面粘接連接,所述切割金剛線垂直于所述晶棒的長度方向設置,所述粘料板的第二表面與所述粘料板的第一表面相對。
    [0020]在本技術實施例中,通過在粘料板兩個相對的長邊的側壁,分別設置有貫穿的定位凹槽,定位凹槽的延伸方向與沿粘料板的長邊方向平行,從而在切割金剛線切割晶棒的過程中,使得定位凹槽起到完全切斷參考線的作用,這樣可以在觀測到切割金剛線移動至處于定位凹槽中的位置時,準確判斷切割金剛線已完全切斷晶棒,切割金剛線與定位凹槽的重疊判斷清晰且直觀,大大提升了切割金剛線是否完全切斷晶棒的判斷準確性。另外,在切割金剛線移動至處于所述定位凹槽中的位置時,切割金剛線距離晶托還有一定的安全距離,從而也對晶托起到了保護,避免切割金剛線過度切割至晶托對其造成損壞。
    附圖說明
    [0021]為了更清楚地說明本技術實施例的技術方案,下面將對本技術實施例的描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本技術的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動性的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
    [0022]圖1為本技術實施例所述的一種晶棒的粘料板的主視圖;
    [0023]圖2為本技術實施例所述的一種晶棒和粘料板的裝配示意圖;
    [0024]圖3為本技術實施例所述的一種晶棒切割過程的示意圖;
    [0025]圖4為本技術實施例所述的另一種晶棒切割過程的示意圖;
    [0026]圖5為本技術實施例所述的另一種晶棒切割過程的示意圖;
    [0027]圖6為本技術實施例所述的一種粘料板的左視圖;
    [0028]圖7為本技術實施例所述的一種粘料板的俯視圖;
    [0029]圖8為本技術實施例所述的另一種粘料板的主視圖。
    具體實施方式
    [0030]下面將參照附圖更詳細地描述本技術的示例性實施例。雖然附圖中顯示了本技術的示例性實施例,然而應當理解的是,還可以以各種形式實現本技術而不應被這里闡述的實施例所限制。相反,提供這些實施例是為了能夠更透徹地理解本技術,并且能夠將本技術的范圍完整的傳達給本領域的技術人員。
    [0031]參照圖1,本技術實施例提供了一種晶棒的粘料板的主視圖,粘料板10的第一表面a用于與晶棒(圖1中未繪出)的側面粘接連接,粘料板10兩個相對的長邊的側壁b,分別設置有定位凹槽11;進一步參照圖2,本技術實施例提供了一種晶棒和粘料板的裝配示意圖,粘料板10兩個相對的長邊的側壁b與粘料板10的第一表面a相鄰;長邊的側壁b上的定位凹槽11從粘料板10的長邊的側壁b的一端至另一端貫穿;長邊的側壁b上的定位凹槽11的開口朝向遠離長邊的側壁b的方向。在晶棒20和粘料板10裝配后(晶托未繪出),晶棒20的軸線方向與粘料板10的長度方向平行,切割晶棒20時,可以采用與晶棒20的軸線方向垂直的切割金剛線30,從晶棒20背離粘料板10的一面開始進行切割,直至將晶棒20完全切透。
    [0032]參照圖3,本技術實施例提供了一種晶棒切割過程的示意圖,在進行晶棒20的
    切割時,晶托40的第一表面粘接粘料板10,粘料板10的第一表面a粘接晶棒20,晶托40掛載晶棒20并將其沿x方向壓向切割金剛線30,切割金剛線30從晶棒20背離粘料板10的一面開始進行切割,由于切割金剛線30具有一定的柔韌性,則在切割過程中收到晶棒20沿x方向施加的作用力,切割金剛線30會沿x方向彎曲呈弧形線,這就使得人工對切割金剛線30是否完全切斷晶棒20的判斷具有一定的識別難度。
    [0033]參照圖4,本技術實施例提供了另一種晶棒切割過程的示意圖,在該情況下,人工觀測到切割金剛線30的兩端超過晶棒20的與粘料板10接觸的一面,此時人工通過經驗易判斷切割金剛線30完全切斷晶棒20,但是,由于切割過程中切割金剛線30彎曲呈弧形線,則圖4的實際情況中,雖然切割金剛線30的兩端超過與晶棒20與粘料板10接觸的一面,但實際切割金剛線30并未完全切斷晶棒20,此時人工判斷為誤判。
    [0034]因此,為了解決人工誤判的問題,本技術實施例在粘料板10兩個相對的長邊的側壁,分別設置有貫穿的定位凹槽11,定位凹槽11的延伸方向與沿粘料板10的長邊方向平行本文檔來自技高網
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    【技術保護點】

    【技術特征摘要】
    1.一種晶棒的粘料板,所述粘料板的第一表面用于與晶棒的側面粘接連接,所述晶棒的軸線方向與所述粘料板的長度方向平行,其特征在于,所述粘料板兩個相對的長邊的側壁,分別設置有定位凹槽;所述粘料板兩個相對的長邊的側壁與所述粘料板的第一表面相鄰;所述長邊的側壁上的定位凹槽從所述粘料板的長邊的側壁的一端至另一端貫穿;所述長邊的側壁上的定位凹槽的開口朝向遠離所述長邊的側壁的方向;所述定位凹槽的延伸方向與沿所述粘料板的長邊方向平行。2.根據權利要求1所述的晶棒的粘料板,其特征在于,所述定位凹槽的槽深為2
    ?
    4mm,槽寬為2
    ?
    4mm。3.根據權利要求1所述的晶棒的粘料板,其特征在于,在所述粘料板的長邊的側壁中,所述定位凹槽設置在與所述長邊方向平行的中線位置處。4.根據權利要求1所述的晶棒的粘料板,其特征在于,在所述粘料板兩個相對的短邊的側壁,分別設置有定位凹槽;所述短邊的側壁上的定位凹槽從所述粘料板的短...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:陳斌劉鵬
    申請(專利權)人:鄂爾多斯市隆基硅材料有限公司
    類型:新型
    國別省市:

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