本發(fā)明專利技術(shù)目的在于提供壓力調(diào)整閥和具有該壓力調(diào)整閥的液滴排出裝置。除去一個(gè)面的的２次室的內(nèi)面壁具有：平面壁部，其在中心部開設(shè)連通流路的２次室側(cè)開口部；模仿壁部，其與平面壁部的外側(cè)相連而以模仿最大負(fù)變形的隔膜的方式接觸并且在下部開設(shè)與流出口連通的流出開口部；流路槽，其以朝向上方而從平面壁部切入模仿壁部的方式延伸設(shè)置。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及對經(jīng)由流入口向1次室供給的液體進(jìn)行壓力調(diào)整而從2次室經(jīng)由流出口進(jìn)行供給的壓力調(diào)整閥以及具有該壓力調(diào)整閥的液滴排出裝置。本申請主張于2009年2月23日提出的日本專利申請2009-038754號的優(yōu)先權(quán)， 并在此引用其全部內(nèi)容。
技術(shù)介紹
如特開2006-163733號公報(bào)所示，作為這種壓力調(diào)整閥公知有將功能液從功能液 箱減壓供給到功能液滴排出頭的方案。該壓力調(diào)整閥具有平面壁部，其在中心部開設(shè)連通 流路的2次室側(cè)開口部；模仿壁部，其在平面壁部的外側(cè)存在并連接有臺階部而以最大負(fù) 變形的受壓膜體能夠模仿的方式進(jìn)行接觸并且在下部開設(shè)與流出口連通的流出開口部。在連通流路的1次室上設(shè)有閥芯，在閥芯上凸設(shè)的軸部插入連通流路而與受壓膜 體抵接。當(dāng)功能液滴排出頭驅(qū)動(dòng)而2次室的壓力降低時(shí)，受壓膜體凹變形而經(jīng)由軸部打開 閥芯。由此，功能液從1次室流入2次室，不久當(dāng)2次室的壓力逐漸升高后受壓膜體恢復(fù)原 狀，而關(guān)閉閥芯。通過重復(fù)該動(dòng)作，功能液以規(guī)定的壓力向功能液滴排出頭減壓供給。并 且，當(dāng)受壓膜體發(fā)生最大負(fù)變形時(shí)，功能液從連通流路向流出口順暢地流動(dòng)，在該壓力調(diào)整 閥中以從平面壁部切入模仿壁部的方式形成上下或十字狀地延伸設(shè)置的槽部。另外，在上述壓力調(diào)整閥的初始填充中經(jīng)由功能液滴排出頭從2次室強(qiáng)制吸引功 能液來進(jìn)行。即，對2次室減壓而使受壓膜體最大負(fù)變形以使閥芯開放動(dòng)作，在模仿模仿壁 部的狀態(tài)下，經(jīng)由連通流路(2次室側(cè)開口部)使液體從1次室流入2次室。但是，在上述壓力調(diào)整閥中，從2次室側(cè)開口部流入2次室內(nèi)的功能液，經(jīng)由上述 槽部朝向與吸引源相連的流出口流向下方(seat cut)存在無法到達(dá)2次室內(nèi)上方的問題。 這樣功能液閥截止(seat cut)而無法到達(dá)2次室的上方，在2次室的上部空間滯留空氣導(dǎo) 致該壓力調(diào)整閥的壓力調(diào)整發(fā)生故障。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)課題在于提供在初始填充時(shí)能夠使液體遍及2次室內(nèi)整個(gè)區(qū)域的壓力調(diào) 整閥和具有該壓力調(diào)整閥的液滴排出裝置。本專利技術(shù)的壓力調(diào)整閥，在閥套內(nèi)的連通1次室和2次室的連通流路上設(shè)置閥芯，通 過構(gòu)成上述2次室的1個(gè)面的受壓膜體以大氣壓為基準(zhǔn)對上述閥芯進(jìn)行開閉，對經(jīng)由流入 口供給到上述1次室的液體進(jìn)行壓力調(diào)整而從2次室經(jīng)由流出口進(jìn)行供給，除去上述1個(gè) 面的上述2次室的內(nèi)壁面具有平面壁部，其在中心部開設(shè)連通流路的2次室側(cè)開口部；模 仿壁部，其與平面壁部的外側(cè)相連，并以最大負(fù)變形的上述受壓膜體能夠模仿的方式進(jìn)行 接觸，并且在下部開設(shè)與上述流出口連通的流出開口部；延設(shè)槽部，其以朝向上方而從上述 平面壁部切入上述模仿壁部的方式延伸設(shè)置。此時(shí)優(yōu)選，模仿壁部構(gòu)成為包括環(huán)狀平面壁部，其存在臺階部地與上述平面壁部的外側(cè)相連并且開設(shè)有流出開口部，以及環(huán)狀錐壁部，其與環(huán)狀平面壁部的外側(cè)相連，延設(shè)槽部以徑向橫切環(huán)狀平面壁部的方式延伸設(shè)置。根據(jù)這些構(gòu)成，從流出口側(cè)進(jìn)行強(qiáng)制吸引，在實(shí)施所謂的液體初始填充時(shí)，液體從 2次室側(cè)開口部流入沿著2次室的平面壁部的空間，進(jìn)而朝向上方流入延設(shè)槽部。伴隨著 該液體向2次室的流入，2次室內(nèi)的壓力升高，由于其壓力平衡，受壓膜體從延設(shè)槽部的一 定上側(cè)逐漸后退。即，隨著液體向2次室流入的進(jìn)展，受壓膜體的后退從其上部開始，不久 后全體開始后退。由此，液體向2次室的流入在擴(kuò)展到平面壁部后，經(jīng)過延設(shè)槽部擴(kuò)展到上 部，進(jìn)而遍及全體而流入流出口。這樣，從2次室側(cè)開口部流入2次室的液體，通過朝向上 方延伸設(shè)置的延設(shè)槽部從2次室的上方逐漸填充。由此，能夠使液體遍及2次室整個(gè)區(qū)域。 因此，在對該壓力調(diào)整閥進(jìn)行壓力調(diào)整時(shí)不會(huì)發(fā)生故障。此時(shí)優(yōu)選，受壓膜體具有薄膜狀的膜體本體以及同心地在上述膜體本體的中心部 上擴(kuò)展設(shè)置的受壓板，最大負(fù)變形的受壓膜體被配設(shè)成，膜體本體以模仿環(huán)狀錐壁部的方 式進(jìn)行接觸，并且受壓板與環(huán)狀平面壁部接觸而覆蓋平面壁部。根據(jù)該構(gòu)成，能夠?qū)⑹軌喊逍纬蔀檩^大尺寸，增大實(shí)質(zhì)的受壓面積，并且能夠在平 面壁部上構(gòu)成液體的初始流入空間。因此能夠有效防止如下情況，即、在初始填充中受壓膜 體發(fā)生最大負(fù)變形時(shí)，膜體本體與2次室的內(nèi)面壁大面積地密接而無法從1次室進(jìn)行初始 的空氣吸引的情況。因此，能夠可靠地使液體從上部遍及2次室整個(gè)區(qū)域。此時(shí)優(yōu)選，對經(jīng)由流入口從功能液供給單元供給的功能液進(jìn)行壓力調(diào)整，并經(jīng)由 上述流出口向噴墨方式的功能液滴排出頭供給。在2次室內(nèi)滯留空氣的狀態(tài)下，當(dāng)從壓力調(diào)整閥向功能液滴排出頭供給功能液 時(shí)，會(huì)導(dǎo)致功能液中含有2次室內(nèi)的空氣(氣體)。此時(shí)，會(huì)導(dǎo)致功能液滴排出頭的排出量 變化而無法高精度地排出功能液。根據(jù)上述構(gòu)成，不會(huì)有空氣(氣體)在2次室內(nèi)滯留，在功能液中也不會(huì)含有空氣 (氣體)，因此，能夠高精度地排出功能液。另外，能夠防止2次室內(nèi)功能液的脫氣度降低， 或者2次室內(nèi)的空氣流向功能液滴排出頭而引起流出不良的情況。本專利技術(shù)的液滴排出裝置，其特征在于，具有上述壓力調(diào)整閥、功能液供給單元、功 能液滴排出頭，一邊使功能液滴排出頭相對工件相對地移動(dòng)，一邊向工件排出功能液并進(jìn) 行描畫。根據(jù)該構(gòu)成，采用這種壓力調(diào)整閥，能夠利用功能液滴排出頭高精度地進(jìn)行排出 而高精度地進(jìn)行描畫處理。附圖說明圖1為實(shí)施方式的液滴排出裝置的立體圖。圖2為液滴排出裝置的俯視圖。圖3為液滴排出裝置的側(cè)視圖。圖4為示意性地表示搭載了功能液滴排出頭的頭組件的俯視圖。圖5為功能液滴排出頭的外觀立體圖。圖6為功能液供給裝置的配管系統(tǒng)圖。圖7為壓力調(diào)整閥的背面圖(a)以及正面圖(b)。圖8為在流入口的軸線方向上切斷壓力調(diào)整閥的縱斷面圖。圖9為在流出口的軸線方向上切斷壓力調(diào)整閥的縱斷面圖。圖10為用于說明初始填充作業(yè)的前半部分的圖。圖11為用于說明初始填充作業(yè)的后半部分的圖。具體實(shí)施例方式以下參照附圖對適用本專利技術(shù)的壓力調(diào)整閥的液滴排出裝置進(jìn)行說明。該液滴排出 裝置裝入于平板顯示器的生產(chǎn)線，例如使用導(dǎo)入有特殊墨水或發(fā)光性樹脂液即功能液的噴 墨方式的功能液滴排出頭，形成液晶顯示裝置的濾色器或成為有機(jī)EL裝置的各像素的發(fā) 光元件等。特別是具有在初始填充時(shí)能夠使功能液遍及2次室內(nèi)整個(gè)區(qū)域的壓力調(diào)整閥， 能夠高精度地進(jìn)行功能液滴排出頭的壓力調(diào)整。如圖1、圖2和圖3所示，液滴排出裝置1包括X軸工作臺11，其在支持于地基 (石定盤)的X軸支承基座2上配設(shè)，并在成為主掃描方向的X軸方向上延伸設(shè)置而使工 件W在X軸方向(主掃描方向)移動(dòng)；Y軸工作臺12，其經(jīng)由多個(gè)支柱4在跨X軸工作臺11 架設(shè)的一對(2個(gè))Y軸支承基座3上配設(shè)而在成為副掃描方向的Y軸方向上延伸設(shè)置；以 及，搭載有多個(gè)功能液滴排出頭17的10個(gè)滑架組件(carriageimit)51，10個(gè)滑架組件51 可移動(dòng)地懸吊設(shè)置在Y軸工作臺12上。并且，液滴排出裝置1包括將這些裝置收容在溫 度和濕度受控的環(huán)境中的腔室(chamber)6 ；貫通腔室6而具有從腔室6的外部向內(nèi)部的功 能液滴排出頭17供給功能液的3組功能液供給裝置101的功能液供給組件7 ；控制各組件 的控制裝置(未圖示)。與X軸工作臺11和Y軸工作臺12的驅(qū)動(dòng)同步地使功能液滴排出 頭17進(jìn)行排出驅(qū)動(dòng)，從而使從功能液供給組件7供給的RGB三色的功能液滴排出而在工件 W上描畫規(guī)定的描畫圖案。另外，液滴排出裝置1具有維護(hù)裝本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種壓力調(diào)整閥，其特征在于，在閥套內(nèi)的連通１次室和２次室的連通流路上設(shè)置閥芯，通過構(gòu)成上述２次室的１個(gè)面的受壓膜體以大氣壓為基準(zhǔn)對上述閥芯進(jìn)行開閉，對經(jīng)由流入口供給到上述１次室的液體進(jìn)行壓力調(diào)整而從上述２次室經(jīng)由流出口進(jìn)行供給，除去上述１個(gè)面的上述２次室的內(nèi)壁面具有：平面壁部，其在中心部開設(shè)上述連通流路的２次室側(cè)開口部；模仿壁部，其與上述平面壁部的外側(cè)相連，并以最大負(fù)變形的上述受壓膜體能夠模仿的方式進(jìn)行接觸，并且在下部開設(shè)與上述流出口連通的流出開口部；延設(shè)槽部，其以朝向上方而從上述平面壁部切入上述模仿壁部的方式延伸設(shè)置。
【技術(shù)特征摘要】
...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：橫澤敏浩，木之下成二，山下貴洋，
申請(專利權(quán))人：精工愛普生株式會(huì)社，
類型：發(fā)明
國別省市：JP[日本]
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