半導體晶棒的弧度檢測裝置制造方法及圖紙

本申請提供可提高棱邊弧度檢測準確率以及檢測效率的半導體晶棒的弧度檢測裝置。弧度檢測裝置包括：載物臺，用于承載半導體晶棒；檢測單元，包括：滑動組件，設置于載物臺，測量支架，與滑動組件滑動連接以相對滑動組件沿半導體晶棒的長度方向直線滑動，并與載物臺形成半導體晶棒的容置空間，弧度傳感器，設置于測量支架，用于測量半導體晶棒的棱邊弧度；驅動控制單元，設置于載物臺，包括驅動器以及控制器，驅動器與測量支架連接且驅動測量支架相對滑動組件沿半導體晶棒的長度方向直線滑動，控制器與驅動器及弧度傳感器均電連接，控制器控制驅動器驅動測量支架到達弧度測量點，并控制弧度傳感器在弧度測量點檢測半導體晶棒的棱邊弧度?；《取；《取?br/>

【技術實現步驟摘要】
半導體晶棒的弧度檢測裝置


[0001]本申請涉及半導體晶棒檢測設備
，尤其涉及一種半導體晶棒的弧度檢測裝置。

技術介紹

[0002]半導體晶棒是半導體元器件生產過程中重要的中間材料。隨著單晶硅方棒的重量以及長度不斷增加，對半導體晶棒成品檢驗時檢測人員搬運以及翻轉晶棒的勞動強度高，人工檢測效率以及準確率較低，容易對半導體晶棒的棱邊弧度進行漏檢誤檢。
[0003]因此，亟需一種新的半導體晶棒的弧度檢測裝置。

技術實現思路

[0004]本申請實施例提供一種半導體晶棒的弧度檢測裝置，包括：
[0005]載物臺，載物臺用于承載半導體晶棒；
[0006]檢測單元，包括：
[0007]滑動組件，設置于載物臺，
[0008]測量支架，與滑動組件滑動連接以相對滑動組件沿半導體晶棒的長度方向直線滑動，并與載物臺形成半導體晶棒的容置空間，
[0009]弧度傳感器，設置于測量支架，用于測量半導體晶棒的棱邊弧度；
[0010]驅動控制單元，設置于載物臺，驅動控制單元包括驅動器以及控制器，驅動器與測量支架連接且驅動測量支架相對滑動組件沿半導體晶棒的長度方向直線滑動，控制器與驅動器及弧度傳感器均電連接，控制器用于控制驅動器驅動測量支架到達弧度測量點，并控制弧度傳感器在弧度測量點檢測半導體晶棒的棱邊弧度。
[0011]本申請實施例提供的半導體晶棒的弧度檢測裝置，載物臺用于承載半導體晶棒，檢測單元與驅動控制單元配合實現對放置在載物臺上半導體晶棒的棱邊弧度進行自動化高效檢測。本申請提供的半導體晶棒的弧度檢測裝置減少了檢測過程中人工搬運次數，降低了勞動強度，提高了對半導體晶棒的棱邊弧度檢測準確率以及檢測效率，降低了對半導體晶棒的棱邊弧度誤檢漏檢的幾率。
[0012]在本申請一些可選的實施例中，檢測單元還包括：
[0013]長度傳感器，設置于測量支架并與控制器電連接，長度傳感器用于檢測載物臺是否放置半導體晶棒，還用于檢測半導體晶棒的長度，其中，
[0014]控制器根據檢測所得的半導體晶棒的長度確定弧度測量點，并控制驅動器驅動測量支架移動至弧度測量點。
[0015]在本申請一些可選的實施例中，滑動組件包括間隔設置的兩個平行直線滑軌，
[0016]驅動器包括設置于兩個直線滑軌之間的絲杠以及驅動絲杠轉動的電機，
[0017]測量支架與直線滑軌滑動連接，電機通過絲杠轉動驅動測量支架沿直線滑軌滑動。
[0018]在本申請一些可選的實施例中，所述測量支架包括支座以及與支座固定連接的測量臂，
[0019]其中，支座與直線滑軌滑動連接，測量臂包括底端與支座連接并豎直延伸的豎直臂以及從豎直臂的頂端橫向延伸至載物臺上方的壁主體，臂主體的延伸方向與直線滑軌的延伸方向相垂直并且弧度傳感器設置在壁主體上。
[0020]在本申請一些可選的實施例中，弧度傳感器包括滑動設置于臂主體上的第一子弧度傳感器和第二子弧度傳感器，第一子弧度傳感器和第二子弧度傳感器在臂主體的延伸方向上相對設置，且第一子弧度傳感器的第一探測方向與第二子弧度傳感器的第二探測方向相交，長度傳感器設置于臂主體，并位于第一子弧度傳感器和第二子弧度傳感器之間。
[0021]在本申請一些可選的實施例中，豎直臂與支座通過升降機構連接以相對于支座可升降。
[0022]在本申請一些可選的實施例中，載物臺包括：
[0023]載物板，包括用于布設驅動控制單元的控制器件集成區和用于布設檢測單元的半導體晶棒檢測區，半導體晶棒檢測區設置有保護層，保護層設置于載物板的載物面，保持層包括多個并排間隔設置的塑料條形板。
[0024]在本申請一些可選的實施例中，檢測單元中還包括限位結構，
[0025]限位結構位設置在底座上，并具有與半導體晶棒的側面緊貼的定位面，定位面。
[0026]在本申請一些可選的實施例中，限位結構包括多個沿半導體晶棒的長度方向間隔排布的限位墩塊，各限位墩塊均具有定位面；或者，
[0027]限位結構為矩形板，矩形板沿半導體晶棒的長度方向延伸并且矩形板的一側面為定位面。
[0028]在本申請一些可選的實施例中，半導體晶棒的弧度檢測裝置進一步包括：顯示控制面板，顯示控制面板與控制器電連接以用于輸入控制指令，顯示控制面板與弧度傳感器電連接以顯示檢測結果。
附圖說明
[0029]為了更清楚地說明本申請實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖。
[0030]圖1是本申請提供的半導體晶棒的弧度檢測裝置一實施例的正視圖；
[0031]圖2是本申請提供的半導體晶棒的弧度檢測裝置一實施例的俯視圖；
[0032]圖3是本申請提供的半導體晶棒的弧度檢測裝置一實施例的右視圖；
[0033]圖4是本申請提供的半導體晶棒的弧度檢測裝置一實施例的俯視圖。
[0034]附圖標記說明：
[0035]載物臺
?
1；載物板
?
11；塑料條形板
?
111；底座
?
12；支撐柱
?
121；
[0036]滑動組件
?
21；直線滑軌
?
211；滑塊
?
212；
[0037]測量支架
?
22；支座
?
221；測量臂
?
222；臂主體
?
2221；豎直臂
?
2222；第一子弧度傳感器
?
23；第二子弧度傳感器
?
24；
[0038]電機
?
31；控制倉
?
32；絲杠
?
32
[0039]長度傳感器
?
4；
[0040]限位結構
?
5；定位面
?
51；限位墩塊
?
52；
[0041]半導體晶棒
?
6；
[0042]控制器件集成區
?
A；半導體晶棒檢測區
?
B；第一探測方向
?
X；第二探測方向
?
Y；
[0043]半導體晶棒的長度方向
?
Z。
具體實施方式
[0044]下面將結合附圖對本申請的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本申請一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒旧暾堉械膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本申請保護的范圍。
[0045]在本申請的描述中，需要說明的是，術語“中心”、“上”、“下”本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種半導體晶棒的弧度檢測裝置，其特征在于，包括：載物臺，所述載物臺用于承載半導體晶棒；檢測單元，包括：滑動組件，設置于所述載物臺，測量支架，與所述滑動組件滑動連接以相對所述滑動組件沿所述半導體晶棒的長度方向直線滑動，并與所述載物臺形成半導體晶棒的容置空間，弧度傳感器，設置于所述測量支架，用于測量半導體晶棒的棱邊弧度；驅動控制單元，設置于所述載物臺，所述驅動控制單元包括驅動器以及控制器，所述驅動器與所述測量支架連接且驅動所述測量支架相對所述滑動組件沿所述半導體晶棒的長度方向直線滑動，所述控制器與所述驅動器及所述弧度傳感器均電連接，所述控制器用于控制所述驅動器驅動所述測量支架到達弧度測量點，并控制所述弧度傳感器在所述弧度測量點檢測所述半導體晶棒的棱邊弧度。2.根據權利要求1所述的半導體晶棒的弧度檢測裝置，其特征在于，所述檢測單元還包括：長度傳感器，設置于所述測量支架并與所述控制器電連接，所述長度傳感器用于檢測所述載物臺是否放置半導體晶棒，還用于檢測半導體晶棒的長度，其中，所述控制器根據檢測所得的所述半導體晶棒的長度確定所述弧度測量點，并控制所述驅動器驅動所述測量支架移動至所述弧度測量點。3.根據權利要求2所述的半導體晶棒的弧度檢測裝置，其特征在于，所述滑動組件包括間隔設置的兩個平行直線滑軌，所述驅動器包括設置于兩個所述直線滑軌之間的絲杠以及驅動所述絲杠轉動的電機，所述測量支架與所述直線滑軌滑動連接，所述電機通過所述絲杠轉動驅動所述測量支架沿所述直線滑軌滑動。4.根據權利要求3所述的半導體晶棒的弧度檢測裝置，其特征在于，所述測量支架包括支座以及與支座固定連接的測量臂，其中，所述支座與所述直線滑軌滑動連接，所述測量臂包括底端與所述支座連接并豎直延伸的豎直臂以及從所述豎直臂的頂端橫向延伸至所述載物臺上方的壁主體，所述臂主體的延伸...

【專利技術屬性】
技術研發人員：蘇傳軍，曹國良，劉通，
申請(專利權)人：包頭晶澳太陽能科技有限公司，
類型：新型
國別省市：