一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統技術方案

本發明專利技術公開了一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統，涉及半導體相關領域，包括工作臺，所述工作臺頂部轉動安裝有放置臺，設置了牽引裝置于工作臺的前后兩端，通過牽引管對于圓晶進行牽引，這樣有助于對大翹曲度圓晶進行吸附牽引，方便使大翹曲度圓晶的移動和放置更加精準和準確，且方便對于不同大翹曲度的圓晶進行拉直，并且裝置可以對放置后圓晶是否傾斜進行檢測；設置了除靜電裝置于工作臺右側，通過金屬棒

【技術實現步驟摘要】
一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統


[0001]本專利技術涉及半導體相關領域，具體是一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統
。

技術介紹

[0002]在半導體制造過程中，一些樣品在經歷了多道工藝制程之后會發生局部或全部地翹曲變形，這可能會導致無法進行樣品的固定
、
移動和量測，例如，在大規模集成電路的后段生產過程中，有些
12
寸晶圓的翹曲已經超過2毫米，而由于晶圓在自然狀態下只有極小面積會與
chuck(
吸盤
)
接觸，因此會導致無法進行晶圓的固定
、
移動和量測
。
[0003]現有技術上對于大翹曲度圓晶進行吸附時，由于大翹曲度圓晶本身形態的影響會導致吸附區域與大翹曲度圓晶接觸不夠緊密，極大的影響到吸附效果；且現有技術的大翹曲度圓晶直接到達工作區進行加工，這時對于大翹曲度圓晶的放置較不精準，且大翹曲度圓晶帶有一定幅度，不進行拉直，極大的影響到設備的加工效果；
[0004]而現有技術上對于大翹曲度圓晶進行接觸時不太吻合，不利于對大翹曲度圓晶的表面進行均勻吸附，且較難對于吸附區域進行角度的調節；并且現有技術上的大翹曲度圓晶在進行運輸或加工時內部會帶有靜電，而大翹曲度圓晶所帶有的靜電容易導致其它加工零部件損壞，且設備在對大翹曲度圓晶的靜電進行去除時效率較為不足
。

技術實現思路

[0005]因此，為了解決上述不足，本專利技術在此提供一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統
。
[0006]本專利技術是這樣實現的，構造一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統，該裝置包括工作臺，所述工作臺頂部轉動安裝有放置臺；牽引裝置，所述工作臺的前后兩端設置有牽引裝置；除靜電裝置，所述工作臺右側設置有除靜電裝置；支持盤，所述放置臺頂部設置有支持盤；調節裝置，所述工作臺頂部設置有調節裝置；所述牽引裝置包括：第一驅動件，所述工作臺前后兩端分別螺栓安裝有第一驅動件；直板，所述第一驅動件內槽滑塊的頂部通過螺釘固定有直板；蜂鳴器，所述第一驅動件內槽滑塊的頂部螺栓固定有蜂鳴器；減速電機，所述直板右側頂端所安裝減速電機傳動軸與齒輪相插接；牽引管，所述直板左側頂端與牽引管外側面后端齒輪轉動連接，所述減速電機傳動軸所連接齒輪與牽引管后端面齒輪嚙合連接；第一氣泵，所述牽引管后端面中端螺栓固定有第一氣泵；光柵接收端，所述工作臺前端直板固定有光柵接收端；光柵發射端，所述工作臺后端直板安裝有光柵發射端
。
[0007]優選的，所述除靜電裝置包括：第二驅動件，所述工作臺右側通過螺釘安裝有第二驅動件；直角架，所述第二驅動件內槽滑塊與直角架后端螺栓連接；第一電動推桿，所述直角架內底部與第一電動推桿相固定；金屬棒，所述第一電動推桿左側伸縮桿通過隔板與金屬棒相焊接
。
[0008]優選的，所述除靜電裝置還包括：導電陶瓷桿，所述第一電動推桿左側伸縮桿通過隔板安裝有導電陶瓷桿；靜電消除棒，所述直角架內后端面頂端轉動安裝有靜電消除棒；第一步進電機，所述直角架后端面頂端的第一步進電機與靜電消除棒插接連接；導電桿，所述
金屬棒和導電陶瓷桿分別通過電線與導電桿頂部電連接
。
[0009]優選的，所述支持盤包括：連桿，所述放置臺外側面的前后兩端分別設置有連桿；第一氣箱，所述放置臺外側面前端通過連桿與第一氣箱相焊接；第二氣箱，所述第一氣箱的左右兩側分別鉸接安裝有第二氣箱；橡膠墊，所述第一氣箱頂部粘黏固定有橡膠墊
。
[0010]優選的，所述支持盤還包括：
OPP
薄膜，所述
OPP
薄膜起到了對于靜電進行阻隔的作用；吸附孔，所述在橡膠墊頂部均勻布設有吸附孔
。
[0011]優選的，所述調節裝置包括：第二電動推桿，所述第二氣箱下方設置有第二電動推桿；鉸接座，所述第二氣箱底部焊接有鉸接座，且該鉸接座與第二電動推桿頂部伸縮桿相鉸接；支撐座，所述第二電動推桿后端設有支撐座
。
[0012]優選的，所述接調節裝置包括：隔熱板，所述支撐座上方的隔熱板粘黏固定于第二氣箱底部；角度傳感器，所述支撐座頂部螺栓安裝有角度傳感器，且該角度傳感器檢測軸與第二電動推桿頂部伸縮桿相插接
。
[0013]優選的，所述第一驅動件和第二驅動件均是由伺服電機
、
安裝槽和螺桿組成
。
[0014]優選的，所述牽引管內壁中端安裝有干燥盒，且干燥盒內填充有硅膠干燥劑
。
[0015]優選的，所述一種用于大翹曲度圓晶的吸附方法，其特征在于：包括以下步驟：
[0016]步驟一：在進行圓晶的加工前，使用者通過控制終端控制啟動第一驅動件
、
減速電機和第一氣泵，在圓晶被運輸至終點時，在第一驅動件和減速電機的幫助下使得牽引管升降并對其角度進行調整，到達合適狀態停止，而后牽引管對于上料的圓晶底部兩端進行吸附，而控制終端控制牽引管角度改變，進而對大翹曲度圓晶進行拉直，接著控制終端控制牽引管進行移動，在圓晶被吸附在支持盤后，牽引管進行自動斷開，且在支持盤發生傾斜時，會對光柵發射端所發射的光束造成較大的阻擋，從而被光柵接收端檢測并發送至控制終端，控制終端控制啟動蜂鳴器進行報警，使得使用者對于設備進行維修；
[0017]步驟二：在對圓晶進行牽引的同時，控制終端控制啟動第二電動推桿，第二電動推桿的伸縮桿帶動鉸接座和第二氣箱旋轉，而轉動的鉸接座會帶動角度傳感器的檢測軸進行轉動檢測，到達預設數值后向終端發送信號，而后第二電動推桿停止，接著在吸附到圓晶后第二電動推桿自動回縮，便于對圓晶進行保持展開；
[0018]步驟三：被牽引的圓晶移動至支持盤頂部，而控制終端控制啟動第二氣泵，在圓晶的重力影響下會帶動圓晶對于橡膠墊和
OPP
薄膜造成擠壓，進而使圓晶大翹曲度的位置能與橡膠墊上的吸附孔進行緊密貼合，從而使得圓晶被精準吸附，且利用連桿可以將第一氣箱和第二氣箱撐起，減少熱量傳導累積對于其它零部件的影響；
[0019]步驟四：且在對圓晶進行運輸和加工時容易帶有靜電，因此使用者通過控制終端控制啟動第二驅動件
、
第一電動推桿和靜電消除棒以及第一步進電機，第二驅動件帶動裝置移動至合適位置自動停止，而利用第一步進電機可以改變靜電消除棒的吹向角度，且靜電消除棒吹出帶著正負電荷的離子風與圓晶內的電荷進行中和，且第一電動推桿帶動金屬棒和導電陶瓷桿與圓晶進行接觸，使得圓晶內的殘留電荷通過兩者的引導和導電桿的幫助導入地面對于靜電進行消除
。
[0020]本專利技術具有如下優點：本專利技術通過改進在此提供一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統，與同類型設備相比，具有如下改進：
[0021]本專利技術所述一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統，通過設置了牽引裝置于工作臺的
前后兩端，通過牽引管對于圓晶進行牽引，這樣有助于對大翹曲度圓晶進行吸附牽引，方便使大翹曲度圓晶的移動和放置更加精準和準確，且方便對于不同大翹曲度的圓晶進行拉本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.
一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統，包括工作臺
(1)
，所述工作臺
(1)
頂部轉動安裝有放置臺
(2)
；其特征在于：還包括牽引裝置
(3)
，所述工作臺
(1)
的前后兩端設置有牽引裝置
(3)
；除靜電裝置
(4)
，所述工作臺
(1)
右側設置有除靜電裝置
(4)
；支持盤
(5)
，所述放置臺
(2)
頂部設置有支持盤
(5)
；調節裝置
(6)
，所述工作臺
(1)
頂部設置有調節裝置
(6)
；所述牽引裝置
(3)
包括第一驅動件
(31)
，所述工作臺
(1)
前后兩端分別螺栓安裝有第一驅動件
(31)
；直板
(32)
，所述第一驅動件
(31)
內槽滑塊的頂部通過螺釘固定有直板
(32)
；蜂鳴器
(33)
，所述第一驅動件
(31)
內槽滑塊的頂部螺栓固定有蜂鳴器
(33)
；減速電機
(34)
，所述直板
(32)
右側頂端所安裝減速電機
(34)
傳動軸與齒輪相插接；牽引管
(35)
，所述直板
(32)
左側頂端與牽引管
(35)
外側面后端齒輪轉動連接，所述減速電機
(34)
傳動軸所連接齒輪與牽引管
(35)
后端面齒輪嚙合連接；第一氣泵
(36)
，所述牽引管
(35)
后端面中端螺栓固定有第一氣泵
(36)
；光柵接收端
(37)
，所述工作臺
(1)
前端直板
(32)
固定有光柵接收端
(37)
；光柵發射端
(38)
，所述工作臺
(1)
后端直板
(32)
安裝有光柵發射端
(38)。2.
根據權利要求1所述一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統，其特征在于：所述除靜電裝置
(4)
包括第二驅動件
(41)
，所述工作臺
(1)
右側通過螺釘安裝有第二驅動件
(41)
；直角架
(42)
，所述第二驅動件
(41)
內槽滑塊與直角架
(42)
后端螺栓連接；第一電動推桿
(43)
，所述直角架
(42)
內底部與第一電動推桿
(43)
相固定；金屬棒
(44)
，所述第一電動推桿
(43)
左側伸縮桿通過隔板與金屬棒
(44)
相焊接
。3.
根據權利要求2所述一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統，其特征在于：所述除靜電裝置
(4)
還包括導電陶瓷桿
(45)
，所述第一電動推桿
(43)
左側伸縮桿通過隔板安裝有導電陶瓷桿
(45)
；靜電消除棒
(46)
，所述直角架
(42)
內后端面頂端轉動安裝有靜電消除棒
(46)
；第一步進電機
(47)
，所述直角架
(42)
后端面頂端的第一步進電機
(47)
與靜電消除棒
(46)
插接連接；導電桿
(48)
，所述金屬棒
(44)
和導電陶瓷桿
(45)
分別通過電線與導電桿
(48)
頂部電連接
。4.
根據權利要求3所述一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統，其特征在于：所述支持盤
(5)
包括連桿
(51)
，所述放置臺
(2)
外側面的前后兩端分別設置有連桿
(51)
；第一氣箱
(52)
，所述放置臺
(2)
外側面前端通過連桿
(51)
與第一氣箱
(52)
相焊接；第二氣箱
(53)
，所述第一氣箱
(52)
的左右兩側分別鉸接安裝有第二氣箱
(53)
；橡膠墊
(54)
，所述第一氣箱
(52)
頂部粘黏固定有橡膠墊
(54)。5.
根據權利要求4所述一種用于大翹曲度圓晶的吸附系統，其特征在于：所述支持盤
(5)
還包括
OPP
薄膜
(55)
，所述
OPP
薄膜
(55)
起到了對于靜電進行阻隔的...

【專利技術屬性】
技術研發人員：朱曉峰，毛靜海，包昊軼，
申請(專利權)人：上海圖雙精密裝備有限公司，
類型：發明
國別省市：