【技術實現步驟摘要】
一種超高純鋁塊及其制備方法與應用
[0001]本專利技術屬于鋁材料加工領域，尤其涉及一種超高純鋁塊及其制備方法與應用
。
技術介紹
[0002]隨著大規模集成電路制造技術的不斷發展演進，金屬合金濺射靶材因其良好的綜合性能越來越受到重視
。
研究發現在純度
≥6N
的超高純銅中添加金屬鋁，沉積鍍膜過程中會增加銅的潤濕性，形成非常均勻的金屬薄膜，可以有效抑制電遷移現象，并有利于提高種子層薄膜結構的穩定性
。
[0003]現有高純鋁作為制造銅鋁合金鑄錠的關鍵原材料多經真空蒸餾提純獲得，
CN114875248A
公開了一種高純鋁的提純方法，所述提純方法包括以下步驟：
(1)
將原料鋁依次進行第一熱處理和第二熱處理，得到粗提鋁；
(2)
將步驟
(1)
得到的所述粗提鋁進行蒸發提純處理，得到鋁蒸氣；
(3)
將步驟
(2)
得到的所述鋁蒸氣進行冷卻沉積處理，得到提純鋁
。
[0004]現有技術中經真空蒸餾提純技術獲得的高純鋁，存在形狀太大且不規則的缺點，應用于超高純銅鋁合金熔煉時不易控制添加量，且無法徹底將縫隙里面的臟污清洗干凈，大幅度增加引入雜質的風險，嚴重時可使最終產品直接報廢
。
[0005]因此，開發一種體積較小
、
形狀規則
、
易于清洗以及重量可控的超高純鋁塊的制備方法是本領域技術人員亟需解決的問題<
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.
一種超高純鋁塊的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括：將鋁錠依次進行鍛打處理
、
第一車削處理
、
切割處理
、
第二車削處理
、
清洗處理和烘干處理
。2.
根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述鋁錠的純度
≥6N
；優選地，所述鍛打處理包括：將鋁錠鍛打至長度為
600
?
700mm、
直徑為
75
?
80mm
的鋁棒；優選地，所述鍛打處理的溫度為
320
?
330℃。3.
根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，所述第一車削處理包括：將所述鍛打處理后的鋁棒進行車削扒皮，去除外層氧化皮；優選地，所述第一車削處理的進刀量為
1.2
?
1.5mm
；優選地，所述第一車削處理的轉速為
2000
?
2200r/min
；優選地，經所述第一車削處理與所述鍛打處理后鋁棒的直徑比為
(0.5
?
0.7):1。4.
根據權利要求1?3任一項所述的制備方法，其特征在于，所述切割處理包括：將所述第一車削處理后的鋁棒切割成質量為
50
?
100g
的鋁塊
。5.
根據權利要求1?4任一項所述的制備方法，其特征在于，所述第二車削處理包括：對所述切割處理后的鋁塊進行車削加工，得到圓柱狀鋁塊；優選地，所述第二車削處理的進刀量為
0.3
?
0.5mm
；優選地，所述第二車削處理的轉速為
2500
?
2700r/min
；優選地，所述圓柱狀鋁塊的長度為
30
?
40mm
；優選地，所述圓柱狀鋁塊的直徑為
70
?
75mm
；優選地，所述圓柱狀鋁塊的粗糙度
Ra
為
1.6
?
3.2。6.
根據權利要求1?5任一項所述的制備方法，其特征在于，所述清洗處理包括：對所述第二車削處理后的鋁塊依次進行混合酸浸洗
、
純水清洗和乙醇清洗；優選地，所述混合酸浸洗的洗液包括稀硝酸和稀硫酸的混合酸液；優選地，所述稀硝酸和稀硫酸的體積比為
(2.8
?
3.2):1
；優選地，所述混合酸浸洗的溫度為
20
?
23℃
；優選地，所述混合酸浸洗的時間為
10
?
12min
；優選地，所述純水清洗的時間為1?
2min
；優選地，所述乙醇清洗的時間為1?
2...
【專利技術屬性】
技術研發人員：姚力軍，潘杰，郭廷宏，張智，
申請(專利權)人：哈爾濱同創普潤集團有限公司，
類型：發明
國別省市：
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