一種制造技術(shù)

本申請公開了一種

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種TFT工藝用耐腐蝕擋板及TFT工藝用設(shè)備


[0001]本申請涉及顯示器領(lǐng)域，特別涉及一種
TFT
工藝用耐腐蝕擋板及
TFT
工藝用設(shè)備
。

技術(shù)介紹

[0002]LED、OLED
顯示器的
TFT
制作中，
TFT
薄膜可能產(chǎn)生黑點(diǎn)
、
短路等缺陷，影響
LED、OLED
顯示器的顯示質(zhì)量
。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

[0003]基于上述問題，本申請?zhí)峁┮环N
TFT
工藝用耐腐蝕擋板，該
TFT
工藝用耐腐蝕擋板降低了
TFT
薄膜黑點(diǎn)
、
短路等缺陷，提高了
LED、OLED
顯示器的顯示質(zhì)量
。
[0004]一種
TFT
工藝用耐腐蝕擋板，包括擋板元件基體，該
TFT
工藝用耐腐蝕擋板還包括復(fù)合陶瓷層，該復(fù)合陶瓷層由等離子噴涂復(fù)合陶瓷噴霧粒子形成，所述復(fù)合陶瓷層覆蓋擋板元件基體
。
[0005]可選地，所述復(fù)合陶瓷層厚度為
100
?
200
μ
m。
[0006]可選地，所述復(fù)合陶瓷噴霧粒子為
Al2O3、TiO2和粘結(jié)劑噴霧形成的噴霧粒子
。
[0007]可選地，所述復(fù)合陶瓷噴霧粒子為
Al2O3、TiO2、CeO2和粘結(jié)劑噴霧形成的噴霧粒子
。/>[0008]可選地，所述
TFT
工藝用耐腐蝕擋板還包括梯度涂層，該梯度涂層由等離子噴涂梯度材料粉末形成
。
[0009]可選地，所述梯度涂層厚度為
50
μ
m。
[0010]可選地，所述等離子噴涂梯度材料粉末為
NiCrAlY
粉末
。
[0011]本申請還提供一種
TFT
工藝用設(shè)備
。
[0012]一種
TFT
工藝用設(shè)備，包括
TFT
工藝用設(shè)備本體，該
TFT
工藝用設(shè)備本體設(shè)置有工作腔體和
TFT
工藝用蝕擋板，所述
TFT
工藝用蝕擋板為上述的
TFT
工藝用耐腐蝕擋板
。
[0013]專利技術(shù)原理及有益效果：
[0014]本申請專利技術(shù)人在對黑點(diǎn)
、
短路等缺陷進(jìn)行分析研究中發(fā)現(xiàn)，部分黑點(diǎn)
、
短路等缺陷產(chǎn)生的原因在于：在
LED、OLED
顯示器
TFT
制作過程中，為了便于模組斷的軟板鍵合或降低外圍導(dǎo)引線的阻抗，在
TFT
薄膜中會濺射一種金屬鉬或其氧化物
MoOx
，在此過程中這種材料會不斷地飛濺至腔體內(nèi)的擋板上并沉積
。
當(dāng)沉積物累積到一定厚度時(shí)會導(dǎo)致沉積膜與擋板之間的粘結(jié)力降低，嚴(yán)重的會導(dǎo)致沉積膜脫落，污染腔體，進(jìn)而產(chǎn)生黑點(diǎn)
、
短路等缺陷，影響
LED、OLED
顯示器的顯示質(zhì)量
。
[0015]因此，本申請專利技術(shù)人為了提高沉積膜與擋板的附著力，減少沉積膜的脫落，提出對腔體內(nèi)裸露于工藝環(huán)境中的擋板進(jìn)行等離子噴涂涂層制備，確保工藝環(huán)境滿足顯示屏制程工藝要求，提升產(chǎn)品質(zhì)量，減少了黑點(diǎn)
、
短路等缺陷的發(fā)生
。
[0016]本申請專利技術(shù)人還發(fā)現(xiàn)：針對金屬
Mo
及其氧化物
(MoOx)
的沉積膜通常使用
HNO3/H2SO4/HF
等酸液進(jìn)行浸泡清洗
。
在浸泡過程中所使用的酸液易揮發(fā)，危險(xiǎn)性較大，尤其是氫
氟酸具有較強(qiáng)的腐蝕性，會對擋板造成較大的腐蝕損傷
。
因此，本申請專利技術(shù)人在擋板表面制備一層氧化鋁基復(fù)合陶瓷涂層，不僅可以為沉積膜提供較為粗糙的附著表面，還能提高擋板的耐腐蝕性能，避免對部件本體造成較大損害，從而延長部件的使用壽命，降低成本
。
[0017]本申請專利技術(shù)人運(yùn)用噴霧造粒機(jī)書制備的復(fù)合陶瓷粉末，具有良好的球形度，具有良好的流動(dòng)性，便于等離子噴涂設(shè)備進(jìn)行送粉
。
[0018]本申請對耐腐蝕擋板元件表面涂層的制備工藝具有工藝操作簡單，可控性好，可以在短時(shí)間內(nèi)對電子元件表面進(jìn)行涂層制備，減少更換新電子元件的費(fèi)用，提高電子元件的使用壽命的特點(diǎn)
。
并且制備的涂層與擋板基體結(jié)合良好，表現(xiàn)為明顯的機(jī)械結(jié)合，并且涂層中組織致密，孔隙率小，能夠明顯改善擋板元件再清洗過程中的耐腐蝕性能
。
另外，本申請表面涂層
(
復(fù)合陶瓷層
)
為沉積物提供了便于附著的粗糙表面，減少沉積膜的脫落，提高腔體的使用壽命，降低投入成本
。
其中氧化鈰的添加，使其成分混合均勻，球形度較好，復(fù)合粉末的流動(dòng)性好
。
本專利中引入梯度涂層主要是因?yàn)閾醢寤w與陶瓷涂層間線膨脹系數(shù)相差較大，將陶瓷層直接噴涂至擋板上容易產(chǎn)生開裂
、
剝落的現(xiàn)象，影響擋板元件的使用性能
。
梯度涂層的引入一方面緩解了不同材料之間的熱膨脹系數(shù)差異，減少涂層因殘余應(yīng)力而導(dǎo)致的開裂和剝落；另一方面，也為陶瓷層的附著提供了粗糙表面，提高與基體之間的結(jié)合強(qiáng)度
。
附圖說明
[0019]圖1復(fù)合陶瓷噴霧粒子粉末顯微形貌圖；
[0020]圖2為實(shí)施例1?
3TFT
工藝用耐腐蝕擋板的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3為實(shí)施例1的復(fù)合陶瓷層的表面形貌圖；
[0022]圖4為實(shí)施例2的復(fù)合陶瓷層的表面形貌圖；
[0023]圖5為實(shí)施例3的復(fù)合陶瓷層的表面形貌圖；
[0024]圖6為施例3的復(fù)合陶瓷層的截面形貌圖；
[0025]圖7為實(shí)施例4?
6TFT
工藝用耐腐蝕擋板的整體結(jié)構(gòu)示意圖圖；
[0026]圖8為
TFT
工藝用設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖
。
具體實(shí)施方式
[0027]下面將結(jié)合附圖對本申請作進(jìn)一步說明
。
[0028]實(shí)施例1[0029]一種
TFT
工藝用耐腐蝕擋板表面涂層制備工藝，包括以下步驟：
[0030](1)
粉末制備：
[0031]①
取粉體原料
(
粉體原料中，
Al2O
3 90wt
％；
TiO210wt
％
)
和去離子水
(
去離子水作為分散劑，去離子水：粉體原料重量比＝
13:5)
，機(jī)械混合
1h
形成漿料；
[0032]②
在
①
...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

【技術(shù)特征摘要】
1.
一種
TFT
工藝用耐腐蝕擋板，包括擋板元件基體，其特征在于：該
TFT
工藝用耐腐蝕擋板還包括復(fù)合陶瓷層，該復(fù)合陶瓷層由等離子噴涂復(fù)合陶瓷噴霧粒子形成，所述復(fù)合陶瓷層覆蓋擋板元件基體；所述
TFT
工藝用耐腐蝕擋板還包括梯度涂層，該梯度涂層由等離子噴涂梯度材料粉末形成，梯度涂層位于擋板元件基體與復(fù)合陶瓷層之間
。2.
根據(jù)權(quán)利要求1所述的
TFT
工藝用耐腐蝕擋板，其特征在于，所述復(fù)合陶瓷層厚度為
100
?
200
μ
m。3.
根據(jù)權(quán)利要求1所述的
TFT
工藝用耐腐蝕擋板，其特征在于，所述梯度涂層厚度為
50
μ
m。4.
根據(jù)權(quán)利要求1所述的
TFT
工藝用耐腐蝕擋板，其特征在于，所述等離子噴涂梯度材料粉末為
NiCrAlY
粉末
。5.
一種
TFT
工藝用設(shè)備，包括
...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：唐思成，羅雪春，胡家銘，萬其凱，鐘慶遠(yuǎn)，黎清賢，
申請(專利權(quán))人：成都拓維高科光電科技有限公司，
類型：新型
國別省市：