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    IGBT制造技術

    技術編號:39804265 閱讀:25 留言:0更新日期:2023-12-22 02:35
    本發明專利技術涉及半導體技術領域

    【技術實現步驟摘要】
    IGBT器件結構及其制備方法


    [0001]本專利技術涉及半導體
    ,特別是涉及一種
    IGBT
    器件結構及其制備方法


    技術介紹

    [0002]IGBT

    Insulated Gate Bipolar Transistor
    ,絕緣柵雙極型晶體管) 器件通常應用于電機,變頻器,
    PFC
    等多種大電流應用領域,在大多數
    IGBT
    領域中,需要
    IGBT
    器件能夠有
    10us
    的短路時間,為保
    IGBT
    證器件有
    10us
    的短路時間,需降低
    IGBT
    器件電流密度,這樣會極大的增加
    IGBT
    器件的導通損耗,使得
    IGBT
    器件的工作效率降低
    。
    [0003]通常當
    IGBT
    器件短路發生時,需要通過外圍過流檢測電路,當外圍過流檢測電路檢測到大電路時,會將信號傳遞至
    MCU

    Microcontroller Unit
    ,微控制單元),
    MCU
    會將控制信號發送至驅動芯片(
    Driver IC
    ),驅動芯片控制
    IGBT
    器件關斷,降低電流,減少器件發熱,避免燒毀
    。
    然而,上述方式需要比較復雜的外圍過流檢測電路,會導致整體結構比較復雜,生產成本較高;外圍檢測電路因為需要檢測信號,傳遞信號需要一定時間,因此對
    IGBT
    抗短路能力有較高要求


    技術實現思路

    [0004]鑒于上述現有技術的不足,本專利技術的目的在于提供一種
    IGBT
    器件結構及其制備方法,旨在解決現有
    IGBT
    器件為了達到
    IGBT
    器件的短路能力,需要降低
    IGBT
    器件的電流密度,從而極大的增加
    IGBT
    器件的導通損耗,使得
    IGBT
    器件的工作效率降低的問題;以及為了及時關斷
    IGBT
    器件,減少器件發熱,避免燒毀,需要復雜的外圍過流檢測電路,從而導致的整體結構比較復雜,生產成本較高,對
    IGBT
    抗短路能力有較高要求的問題
    。
    [0005]第一方面,本專利技術提供了一種
    IGBT
    器件結構,包括:電路板;第一芯片,位于所述電路板上;所述第一芯片內具有
    IGBT
    器件,所述
    IGBT
    器件包括
    IGBT
    柵極
    、IGBT
    發射極和
    IGBT
    集電極;第二芯片,位于所述第一芯片的上方;所述第二芯片包括
    PNP
    三極管,所述
    PNP
    三極管包括發射極
    、
    集電極和基極;所述
    PNP
    三極管的集電極經由所述電路板與所述
    IGBT
    發射極電連接,所述
    PNP
    三極管的基極經由所述電路板與所述
    IGBT
    柵極電連接
    。
    [0006]本專利技術的
    IGBT
    器件結構中,通過將包括所述
    IGBT 器件的所述第一芯片和具有所述
    PNP
    三極管的所述第二芯片鍵合到同一個所述電路板上,并將所述
    PNP
    三極管連接至
    IGBT
    器件的
    IGBT
    發射極和
    IGBT
    柵極之間,當所述
    IGBT
    器件結構短路發生時,所述
    PNP
    三極管會處于放大狀態,將所述
    IGBT
    器件的
    IGBT
    柵極和
    IGBT
    發射極短接,關斷所述
    IGBT
    器件,降低電流,不需要降低
    IGBT
    器件的電流密度即可保證
    IGBT
    器件的短路能力,會降低
    IGBT
    器件的導通損耗,提高
    IGBT
    器件的工作效率;同時,由于所述
    IGBT
    器件在所述
    PNP
    三極管的協助下可以自己關斷,使得所述
    IGBT
    器件具有更快的關斷速度和更高的電流密度
    。
    又所述
    PNP
    三極管與所述
    IGBT
    器件通過電路板相連接,可以通過調節連接節點的位置,調整連接電阻,從而達
    到調整所述
    PNP
    三極管放大狀態時所述
    IGBT
    器件的短路電流,使得
    IGBT
    器件結構有更為廣泛的使用范圍

    [0007]在其中一個實施例中,所述電路板的正面設有多個焊盤,多個所述焊盤包括間隔排布的第一焊盤
    、
    第二焊盤

    第三焊盤和第四焊盤;所述第一焊盤與所述
    PNP
    三極管的集電極相連接,所述第二焊盤與所述
    IGBT
    發射極相連接,所述第三焊盤與所述
    PNP
    三極管的基極相連接,所述第四焊盤與所述
    IGBT
    柵極相連接;第一焊盤與所述第二焊盤經由所述電路板電連接;所述第三焊盤與所述第四焊盤經由所述電路板電連接

    [0008]在其中一個實施例中,所述
    IGBT
    器件結構還包括多條連接導線,多條所述連接導線包括:第一連接導線,所述第一連接導線一端與所述第一焊盤相連接,另一端與所述
    PNP
    三極管的集電極相連接;第二連接導線,所述第二連接導線一端與所述第二焊盤相連接,另一端與所述
    IGBT
    發射極相連接;第三連接導線,所述第三連接導線一端與所述第三焊盤相連接,另一端與所述
    PNP
    三極管的基極相連接;第四連接導線,所述第四連接導線一端與所述第四焊盤相連接,另一端與所述
    IGBT
    柵極相連接
    。
    [0009]在其中一個實施例中,所述
    IGBT
    器件結構還包括:介質保護層,位于所述電路板的背面;多個焊球,多個所述焊球均位于所述電路板的背面,并貫穿所述介質保護層,延伸至所述介質保護層遠離所述電路板的一側;多個連接柱,位于所述電路板內,自所述電路板的正面延伸至所述電路板的背面,以將多個所述焊球與所述第一焊盤
    、
    所述第二焊盤
    、
    所述第三焊盤和所述第四焊盤一一對應電連接

    [0010]在其中一個實施例中,所述
    IGBT
    器件結構還包括:第一
    DAF
    層,位于所述電路板與所述第一芯片之間;第二
    DAF
    層,位于所述第二芯片與所述第一芯片之間
    。
    [0011]第二方面,本專利技術還提供了一種
    IGBT
    器件本文檔來自技高網
    ...

    【技術保護點】

    【技術特征摘要】
    1.
    一種
    IGBT
    器件結構,其特征在于,包括:電路板;第一芯片,位于所述電路板上;所述第一芯片內具有
    IGBT
    器件,所述
    IGBT
    器件包括
    IGBT
    柵極
    、IGBT
    發射極和
    IGBT
    集電極;第二芯片,位于所述第一芯片的上方;所述第二芯片包括
    PNP
    三極管,所述
    PNP
    三極管包括發射極
    、
    集電極和基極;所述
    PNP
    三極管的集電極經由所述電路板與所述
    IGBT
    發射極電連接,所述
    PNP
    三極管的基極經由所述電路板與所述
    IGBT
    柵極電連接
    。2.
    根據權利要求1所述的
    IGBT
    器件結構,其特征在于,所述電路板的正面設有多個焊盤,多個所述焊盤包括間隔排布的第一焊盤

    第二焊盤

    第三焊盤和第四焊盤;所述第一焊盤與所述
    PNP
    三極管的集電極相連接,所述第二焊盤與所述
    IGBT
    發射極相連接,所述第三焊盤與所述
    PNP
    三極管的基極相連接,所述第四焊盤與所述
    IGBT
    柵極相連接;第一焊盤與所述第二焊盤經由所述電路板電連接;所述第三焊盤與所述第四焊盤經由所述電路板電連接
    。3.
    根據權利要求2所述的
    IGBT
    器件結構,其特征在于,所述
    IGBT
    器件結構還包括多條連接導線,多條所述連接導線包括:第一連接導線,所述第一連接導線一端與所述第一焊盤相連接,另一端與所述
    PNP
    三極管的集電極相連接;第二連接導線,所述第二連接導線一端與所述第二焊盤相連接,另一端與所述
    IGBT
    發射極相連接;第三連接導線,所述第三連接導線一端與所述第三焊盤相連接,另一端與所述
    PNP
    三極管的基極相連接;第四連接導線,所述第四連接導線一端與所述第四焊盤相連接,另一端與所述
    IGBT
    柵極相連接
    。4.
    根據權利要求2所述的
    IGBT
    器件結構,其特征在于,所述
    IGBT
    器件結構還包括:介質保護層,位于所述電路板的背面;多個焊球,多個所述焊球均位于所述電路板的背面,并貫穿所述介質保護層,延伸至所述介質保護層遠離所述電路板的一側;多個連接柱,位于所述電路板內,自所述電路板的正面延伸至所述電路板的背面,以將多個所述焊球與所述第一焊盤
    、
    所述第二焊盤
    、
    所述第三焊盤和所述第四焊盤一一對應電連接
    。5.
    根據權利要求1至4中任一項所述的
    IGBT
    器件結構,其特征在于,所述
    IGBT
    器件結構還包括:第一
    DAF
    層,位于所述電路板與所述第一芯片之間;第二
    DAF
    層,位于所述第二芯片與所述第一芯片之間
    。6.
    一種
    IGBT
    器件結構的制備方法,其特征在于,包括:提供電路板;提供第一芯片,將所述第一芯片鍵合于所述電路板的正面;所述第一芯片內具有
    IGBT
    器件,所述
    IGBT
    器件包括
    IGBT
    柵極
    、IGBT
    發射極和
    IGBT
    集電極;提供第二芯片,將所述第二芯片鍵合于所述第一芯片的上方;所述第二芯片包括
    PNP
    三極管,所述
    PNP
    三極管包括發射極
    、
    集電極和基極...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:侯曉偉,柴展羅杰馨,
    申請(專利權)人:上海功成半導體科技有限公司,
    類型:發明
    國別省市:

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