【技術實現步驟摘要】
本技術涉及機械設備領域，具體為用于器械且作為支承的調節支架，特別涉及一種調平機構及光學平臺。
技術介紹
1、設備不平坦或者不水平，會導致設備在使用過程中不穩定，工件出現微量傾斜，從而影響工序的精度和可靠性。因此，為了避免上述問題，設備需要進行調平，以確保其表面平整和水平。調平后，設備能夠更加精準和可靠地運行相關工序。
2、如圖1所示，圖1(a)所展示為現有技術常見的一種調平機構，即螺柱螺母調平機構，它通過在設備底部安裝螺柱和螺母，并通過旋轉調節螺母的高度來實現設備的調平，但是該機構適用于輕載荷，在重載下，人力旋擰螺母非常困難且螺桿直徑相對較小，其螺柱螺母的承載能力可能會受限，無法滿足要求導致支撐剛性差；
3、圖1(b)所展示為另一種常見的調平機構，即楔形調平機構，利用楔形塊的豎直升降來實現調平，楔形調平需要在設備下方放置楔子，由于其空間占用率大，不適用空間狹窄的工況；同時該機構調整起來也非常費力，且由于表面摩擦力很大，調高后再調低不方便，而且基于楔形塊移動的特征，設備需要在x/y向發生一定的偏移；同時成本也較高。
4、針對上述，需要提出一種新的調平機構。
技術實現思路
1、通過上述，本申請所需提供一種適用于大荷載、便于調節又兼顧體積和機動性的調平機構。
2、根據本申請的第一方面，提供一種調平機構，多個調平機構分別用于支撐設備底部的多個調平位置，該調平機構包括：支撐結構，包括位于不同高度的第一支撐板和第二支撐板，第一支撐板設置在第二支撐
3、在本申請進一步的方案中，調平機構還包括：導向連接結構，設置在第一支撐板和第二支撐板之間。
4、在本申請進一步的方案中，第二支撐板上設置有多個通孔；導向連接結構包括多根和通孔適配的連接柱，連接柱的一端連接于第一支撐板上、另一端穿設于第二支撐板上的通孔。
5、在本申請進一步的方案中，導向連接結構還包括第一緊固螺母和第二緊固螺母，第一緊固螺母活動設置于連接柱上、并用于在第二支撐板調整到位后將連接柱和第二支撐板緊固；第二緊固螺母活動設置于連接柱上并用于將連接柱和第一支撐板緊固。
6、在本申請進一步的方案中，第一緊固螺母在數量上為3個，其中一個第一緊固螺母位于第二支撐板上方、兩個第一緊固螺母位于第二支撐板下方。
7、在本申請進一步的方案中，第一支撐板上表面和墊塊的連接處，和/或第二支撐板的上表面和支腿的連接處設置有減震墊。
8、在本申請進一步的方案中，致動結構包括液壓模塊，液壓模塊包括液壓缸、連通液壓缸的輸入口以及調節閥；液壓缸設置于第二支撐板上，調節閥用于控制流入輸入口的流量以驅動液壓缸動作，以帶動第二支撐板升降。
9、在本申請進一步的方案中，調平機構還包括：墊塊，設置在液壓模塊與第二支撐板之間，用于支撐液壓模塊。
10、在本申請進一步的方案中，導向連接結構設置在第一支撐板的四個邊角處；致動結構設置在第一支撐板的中央區域。
11、在本申請的第二方面，還提供一種光學平臺，包括支腿框架和多個調平機構；支腿框架包括多個支腿，支腿分別置放在對應一個調平機構的第二支撐板上。
12、在本申請進一步的方案中，光學平臺還包括：載物臺，載物臺設置在支腿框架上；隔振結構，設置在支腿框架和載物臺的連接處。
13、綜上，本申請所提供一種調平機構，該調平機構分別用于支撐設備底部的調節位置，包括支撐結構和致動結構兩部分，支撐結構包括第一支撐板和第二支撐板，它們位于不同的高度。第一支撐板設置在第二支撐板下方，而第二支撐板則支撐在調平位置處。致動結構設置在第一支撐板上，并用于驅動第二支撐板進行上下運動；通過對第二支撐板的局部調節，可以實現對調平位置的高度進行精確的調節。該調平機構結構緊湊、空間占用率小、靈活度和通用性高及成本較低；同時利用致動結構更方便人工調節，所能承載的載荷更大，可應用于大型設備中，通過調節調平位置的高度，即可實現設備水平度的調節，從而提高設備的加工精度。
14、本技術實施例的其他特征和優點將在隨后的具體實施方式部分予以說明。
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1.一種調平機構，其特征在于，多個所述調平機構分別用于支撐設備底部的多個調平位置，所述調平機構包括：
2.根據權利要求1所述的調平機構，其特征在于，所述調平機構還包括：
3.根據權利要求2所述的調平機構，其特征在于，
4.根據權利要求3所述的調平機構，其特征在于，所述導向連接結構(13)還包括第一緊固螺母(132)和第二緊固螺母(133)，所述第一緊固螺母(132)活動設置于所述連接柱(131)上、并用于在所述第二支撐板(112)調整到位后將所述連接柱(131)和所述第二支撐板(112)緊固；
5.根據權利要求4所述的調平機構，其特征在于，所述第一緊固螺母(132)在數量上為3個，其中一個所述第一緊固螺母(132)位于所述第二支撐板(112)上方、兩個所述第一緊固螺母(132)位于所述第二支撐板(112)下方。
6.根據權利要求1所述的調平機構，其特征在于，
7.根據權利要求6所述的調平機構，其特征在于，所述調平機構還包括：墊塊(122)，設置在所述液壓模塊(121)與所述第二支撐板(112)之間，用于支撐所
8.根據權利要求2所述的調平機構，其特征在于，
9.一種光學平臺，其特征在于，包括支腿框架(200)和多個如權利要求1～8任一項所述的調平機構；
10.根據權利要求9所述的光學平臺，其特征在于，所述光學平臺還包括：
...【技術特征摘要】
1.一種調平機構，其特征在于，多個所述調平機構分別用于支撐設備底部的多個調平位置，所述調平機構包括：
2.根據權利要求1所述的調平機構，其特征在于，所述調平機構還包括：
3.根據權利要求2所述的調平機構，其特征在于，
4.根據權利要求3所述的調平機構，其特征在于，所述導向連接結構(13)還包括第一緊固螺母(132)和第二緊固螺母(133)，所述第一緊固螺母(132)活動設置于所述連接柱(131)上、并用于在所述第二支撐板(112)調整到位后將所述連接柱(131)和所述第二支撐板(112)緊固；
5.根據權利要求4所述的調平機構，其特征在于，所述第一緊固螺母(132)在數量上為3個...
【專利技術屬性】
技術研發人員：朱常興，趙文斌，馬良奇，蔣健君，
申請(專利權)人：東方晶源微電子科技北京股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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