【技術實現步驟摘要】
本技術涉及單晶爐,尤其涉及一種側向加料的單晶爐。
技術介紹
1、單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。單晶爐在使用時,需要進行加料工作。
2、現有技術中,通常在單晶爐的側向開設通孔,通過加料裝置進行加料,單晶爐內的熱能容易從通孔內流出,導致能量損失,增加單晶爐的功耗,且在加料時,物料的加料速率無法保持穩定,添加物料時,若物料添加過多過快,容易對坩堝造成損壞。為此,我們提出一種側向加料的單晶爐。
技術實現思路
1、本技術要解決的技術問題是提供一種可以均勻加料,能夠封堵通孔,減少熱能損失的側向加料的單晶爐。
2、本技術為了解決上述問題,所提出的技術方案為:一種側向加料的單晶爐,包括單晶爐、加料裝置、導料裝置和移動裝置,所述單晶爐內設有坩堝,所述坩堝的外側設有加熱裝置,所述單晶爐的內部上設有保溫層,所述保溫層上開設有通口,所述單晶爐的一側設有進料口,所述導料裝置包括導料筒,所述導料筒內設有導料機構,所述導料筒的一端貫穿進料口和通口,所述導料筒的另一端與加料裝置之間連接有導料口,所述加料裝置的底部連接有多個支撐腿,多個所述支撐腿的底部連接有同一個底板,所述底板與移動裝置連接,所述單晶爐的頂部還安裝有電動推桿,所述電動推桿的伸長端固定連接有連接板,所述連接板的底部連接有兩個擋板。
3、進一步的,所述導料機構包括電機一和導料桿,所述電機一固定在導料筒的外壁上,所述導料桿轉動連接在導料
4、進一步的,所述移動裝置包括固定板,所述固定板上開設有安裝槽,所述安裝槽內轉動連接有絲桿,所述絲桿的表面螺紋連接有移動塊,所述移動塊與底板固定連接,所述移動塊與安裝槽滑動連接。
5、進一步的,所述固定板一側設有電機二,所述電機二的輸出端與絲桿固定連接。
6、進一步的,兩個所述擋板均貫穿至單晶爐的內部,其中一個所述擋板位于通口的一側,另一個所述擋板位于進料口的一側。
7、進一步的,所述導料筒的一側底部開設有出料口。
8、本技術的有益效果:
9、本技術使導料筒穿過單晶爐進行加料,在加料時,通過導料機構對物料進行導向,方便物料的添加,同時可以使物料均勻的向單晶爐內添加,避免物料突然加入過多損傷坩堝,提高物料添加的均勻性,保護坩堝;在添加結束后,可以對通口和進料口進行封堵,防止熱氣散出,減少熱能損失,穩定單晶爐的爐體內的溫度場和氣流平衡。
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1.一種側向加料的單晶爐,其特征在于:包括單晶爐(1)、加料裝置(2)、導料裝置(3)和移動裝置(4),所述單晶爐(1)內設有坩堝(5),所述坩堝(5)的外側設有加熱裝置(6),所述單晶爐(1)的內部上設有保溫層(7),所述保溫層(7)上開設有通口(8),所述單晶爐(1)的一側設有進料口(9),所述導料裝置(3)包括導料筒(10),所述導料筒(10)內設有導料機構,所述導料筒(10)的一端貫穿進料口(9)和通口(8),所述導料筒(10)的另一端與加料裝置(2)之間連接有導料口(11),所述加料裝置(2)的底部連接有多個支撐腿(12),多個所述支撐腿(12)的底部連接有同一個底板(13),所述底板(13)與移動裝置(4)連接,所述單晶爐(1)的頂部還安裝有電動推桿(14),所述電動推桿(14)的伸長端固定連接有連接板(15),所述連接板(15)的底部連接有兩個擋板(16)。
2.根據權利要求1所述的一種側向加料的單晶爐,其特征在于:所述導料機構包括電機一(17)和導料桿(18),所述電機一(17)固定在導料筒(10)的外壁上,所述導料桿(18)轉動連接在導料筒(10)內
3.根據權利要求1所述的一種側向加料的單晶爐,其特征在于:所述移動裝置包括固定板(20),所述固定板(20)上開設有安裝槽(21),所述安裝槽(21)內轉動連接有絲桿(22),所述絲桿(22)的表面螺紋連接有移動塊(23),所述移動塊(23)與底板(13)固定連接,所述移動塊(23)與安裝槽(21)滑動連接。
4.根據權利要求3所述的一種側向加料的單晶爐,其特征在于:所述固定板(20)一側設有電機二(24),所述電機二(24)的輸出端與絲桿(22)固定連接。
5.根據權利要求1所述的一種側向加料的單晶爐,其特征在于:兩個所述擋板(16)均貫穿至單晶爐(1)的內部,其中一個所述擋板(16)位于通口(8)的一側,另一個所述擋板(16)位于進料口(9)的一側。
6.根據權利要求1所述的一種側向加料的單晶爐,其特征在于:所述導料筒(10)的一側底部開設有出料口(25)。
...【技術特征摘要】
1.一種側向加料的單晶爐,其特征在于:包括單晶爐(1)、加料裝置(2)、導料裝置(3)和移動裝置(4),所述單晶爐(1)內設有坩堝(5),所述坩堝(5)的外側設有加熱裝置(6),所述單晶爐(1)的內部上設有保溫層(7),所述保溫層(7)上開設有通口(8),所述單晶爐(1)的一側設有進料口(9),所述導料裝置(3)包括導料筒(10),所述導料筒(10)內設有導料機構,所述導料筒(10)的一端貫穿進料口(9)和通口(8),所述導料筒(10)的另一端與加料裝置(2)之間連接有導料口(11),所述加料裝置(2)的底部連接有多個支撐腿(12),多個所述支撐腿(12)的底部連接有同一個底板(13),所述底板(13)與移動裝置(4)連接,所述單晶爐(1)的頂部還安裝有電動推桿(14),所述電動推桿(14)的伸長端固定連接有連接板(15),所述連接板(15)的底部連接有兩個擋板(16)。
2.根據權利要求1所述的一種側向加料的單晶爐,其特征在于:所述導料機構包括電機一(17)和導料桿(18),所述電機一(17)固定在導料筒(10)的外壁上,所述導...
【專利技術屬性】
技術研發人員:洪廣輝,凌繼貝,張忠華,吳雄,張俊,黃美亮,
申請(專利權)人:江西捷銳機電設備有限公司,
類型:新型
國別省市:
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