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【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及光學測量領域,更具體的,涉及一種消除高反雜散光的3d線激光相機。
技術介紹
1、隨著光學、圖像處理和計算機技術的發展,3d線激光測量技術得到廣泛應用。它利用工業相機拍攝得到相應的圖像信息,并對圖像進行一系列的處理,提取出所需要的信息,最終達到測量的目的。3d線激光測量技術是一種快速發展的非接觸式測量,具有靈活性好、速度快、精度高以及智能化等優點。
2、但是3d線激光相機在拍攝凹凸復雜樣品表面,尤其是高反光凹凸復雜樣品表面時,容易在樣品表面發生多重反射現象,產生雜散光,造成測量結果偏離真實樣品輪廓。
3、本專利技術提出一種消除多重反射、高反雜散光的3d線激光相機,提高測量精度。
技術實現思路
1、為了解決上述至少一個技術問題,本專利技術提出了一種消除高反雜散光的3d線激光相機。
2、本專利技術第一方面提供了一種消除高反雜散光的3d線激光相機,包括:
3、發射端,所述發射端發射線偏振光投射至樣品表面;
4、接收端,所述接收端設置在所述發射端的一側,所述接收端用于接收經樣品表面進行多重反射后的線偏振光,得到樣品輪廓。
5、本專利技術一個較佳實施例中,所述發射端包括第一發射端與第二發射端,所述接收端包括第一接收端與第二接收端,所述第一發射端與所述第一接收端相配合,所述第二發射端與所述第二接收端相配合。
6、本專利技術一個較佳實施例中,所述線偏振光包括s波與p波,所述s波和p波為振動方向相互垂直
7、本專利技術一個較佳實施例中,所述第一發射端與所述第二發射端均發射s波,所述第二發射端的下方設置有波片,所述第二發射端發射的s波入射至所述波片,投射后轉換為p波投射至樣品表面。
8、本專利技術一個較佳實施例中,所述發射端為一個,所述接收端為兩個,兩個所述接收端分別為第三接收端與第四接收端,所述第三接收端與所述第四接收端對稱設置在所述發射端的兩側。
9、本專利技術一個較佳實施例中,所述發射端下方設置有波片,所述發射端發射的s波入射至所述波片,投射后轉換為圓偏振光投射至樣品表面,所述第三接收端下方設置有p偏振片,所述第四接收端下方設置有s偏振片。
10、本專利技術一個較佳實施例中,所述發射端包括第一激光器與第二激光器,所述第一激光器與所述第二激光器均發射s波,所述第二激光器的端部設置有波片,所述第二激光器發射的s波入射至波片,投射后轉換為p波,所述第一激光器與所述第二激光器垂直設置。
11、本專利技術一個較佳實施例中,所述第二激光器的下方設置有偏振分光鏡,所述偏振分光鏡設置在第一激光器發射的s波與第二激光器發射的s波轉換為p波后的重合位置。
12、本專利技術的上述技術方案相比現有技術具有以下優點:
13、本專利技術提出一種消除多重反射、高反雜散光的3d線激光相機,通過3d線激光相機在拍攝凹凸復雜樣品表面,尤其是高反光凹凸復雜樣品表面時,能夠消除雜散光,提高測量結果的精度,使樣品輪廓能夠精準的進行反映,通過s波和p波對樣品表面多重反射下,反射率不同的特性,有效消除雜散光,提高測量精度。
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1.一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述發射端包括第一發射端與第二發射端,所述接收端包括第一接收端與第二接收端,所述第一發射端與所述第一接收端相配合,所述第二發射端與所述第二接收端相配合。
3.根據權利要求2所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述線偏振光包括s波與p波,所述s波和p波為振動方向相互垂直。
4.根據權利要求3所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述第一發射端與所述第二發射端均發射s波,所述第二發射端的下方設置有波片,所述第二發射端發射的s波入射至所述波片,投射后轉換為p波投射至樣品表面。
5.根據權利要求1所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述發射端為一個,所述接收端為兩個,兩個所述接收端分別為第三接收端與第四接收端,所述第三接收端與所述第四接收端對稱設置在所述發射端的兩側。
6.根據權利要求5所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述發射
7.根據權利要求1所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述發射端包括第一激光器與第二激光器,所述第一激光器與所述第二激光器均發射s波,所述第二激光器的端部設置有波片,所述第二激光器發射的s波入射至波片,投射后轉換為p波,所述第一激光器與所述第二激光器垂直設置。
8.根據權利要求7所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述第二激光器的下方設置有偏振分光鏡,所述偏振分光鏡設置在第一激光器發射的s波與第二激光器發射的s波轉換為p波后的重合位置。
...【技術特征摘要】
1.一種消除高反雜散光的3d線激光相機,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的一種消除高反雜散光的3d線激光相機,其特征在于,所述發射端包括第一發射端與第二發射端,所述接收端包括第一接收端與第二接收端,所述第一發射端與所述第一接收端相配合,所述第二發射端與所述第二接收端相配合。
3.根據權利要求2所述的一種消除高反雜散光的3d線激光相機,其特征在于,所述線偏振光包括s波與p波,所述s波和p波為振動方向相互垂直。
4.根據權利要求3所述的一種消除高反雜散光的3d線激光相機,其特征在于,所述第一發射端與所述第二發射端均發射s波,所述第二發射端的下方設置有波片,所述第二發射端發射的s波入射至所述波片,投射后轉換為p波投射至樣品表面。
5.根據權利要求1所述的一種消除高反雜散光的3d線激光相機,其特征在于,所述發射端為一個,所述接收端為兩個,兩個所述接收端分別為第三接收端...
【專利技術屬性】
技術研發人員:趙效楠,李強,杜向麗,唐亮,郭曉峰,
申請(專利權)人:蘇州中科行智智能科技有限公司,
類型:發明
國別省市:
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