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    一種消除高反雜散光的3D線激光相機制造技術

    技術編號:40017993 閱讀:25 留言:0更新日期:2024-01-16 16:18
    本發明專利技術公開的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,包括發射端,發射端發射線偏振光投射至樣品表面;接收端,接收端設置在發射端的一側,接收端用于接收經樣品表面進行多重反射后的線偏振光,得到樣品輪廓;通過3D線激光相機在拍攝凹凸復雜樣品表面,尤其是高反光凹凸復雜樣品表面時,能夠消除雜散光,提高測量結果的精度,使樣品輪廓能夠精準的進行反映。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術涉及光學測量領域,更具體的,涉及一種消除高反雜散光的3d線激光相機。


    技術介紹

    1、隨著光學、圖像處理和計算機技術的發展,3d線激光測量技術得到廣泛應用。它利用工業相機拍攝得到相應的圖像信息,并對圖像進行一系列的處理,提取出所需要的信息,最終達到測量的目的。3d線激光測量技術是一種快速發展的非接觸式測量,具有靈活性好、速度快、精度高以及智能化等優點。

    2、但是3d線激光相機在拍攝凹凸復雜樣品表面,尤其是高反光凹凸復雜樣品表面時,容易在樣品表面發生多重反射現象,產生雜散光,造成測量結果偏離真實樣品輪廓。

    3、本專利技術提出一種消除多重反射、高反雜散光的3d線激光相機,提高測量精度。


    技術實現思路

    1、為了解決上述至少一個技術問題,本專利技術提出了一種消除高反雜散光的3d線激光相機。

    2、本專利技術第一方面提供了一種消除高反雜散光的3d線激光相機,包括:

    3、發射端,所述發射端發射線偏振光投射至樣品表面;

    4、接收端,所述接收端設置在所述發射端的一側,所述接收端用于接收經樣品表面進行多重反射后的線偏振光,得到樣品輪廓。

    5、本專利技術一個較佳實施例中,所述發射端包括第一發射端與第二發射端,所述接收端包括第一接收端與第二接收端,所述第一發射端與所述第一接收端相配合,所述第二發射端與所述第二接收端相配合。

    6、本專利技術一個較佳實施例中,所述線偏振光包括s波與p波,所述s波和p波為振動方向相互垂直

    7、本專利技術一個較佳實施例中,所述第一發射端與所述第二發射端均發射s波,所述第二發射端的下方設置有波片,所述第二發射端發射的s波入射至所述波片,投射后轉換為p波投射至樣品表面。

    8、本專利技術一個較佳實施例中,所述發射端為一個,所述接收端為兩個,兩個所述接收端分別為第三接收端與第四接收端,所述第三接收端與所述第四接收端對稱設置在所述發射端的兩側。

    9、本專利技術一個較佳實施例中,所述發射端下方設置有波片,所述發射端發射的s波入射至所述波片,投射后轉換為圓偏振光投射至樣品表面,所述第三接收端下方設置有p偏振片,所述第四接收端下方設置有s偏振片。

    10、本專利技術一個較佳實施例中,所述發射端包括第一激光器與第二激光器,所述第一激光器與所述第二激光器均發射s波,所述第二激光器的端部設置有波片,所述第二激光器發射的s波入射至波片,投射后轉換為p波,所述第一激光器與所述第二激光器垂直設置。

    11、本專利技術一個較佳實施例中,所述第二激光器的下方設置有偏振分光鏡,所述偏振分光鏡設置在第一激光器發射的s波與第二激光器發射的s波轉換為p波后的重合位置。

    12、本專利技術的上述技術方案相比現有技術具有以下優點:

    13、本專利技術提出一種消除多重反射、高反雜散光的3d線激光相機,通過3d線激光相機在拍攝凹凸復雜樣品表面,尤其是高反光凹凸復雜樣品表面時,能夠消除雜散光,提高測量結果的精度,使樣品輪廓能夠精準的進行反映,通過s波和p波對樣品表面多重反射下,反射率不同的特性,有效消除雜散光,提高測量精度。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,包括:

    2.根據權利要求1所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述發射端包括第一發射端與第二發射端,所述接收端包括第一接收端與第二接收端,所述第一發射端與所述第一接收端相配合,所述第二發射端與所述第二接收端相配合。

    3.根據權利要求2所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述線偏振光包括s波與p波,所述s波和p波為振動方向相互垂直。

    4.根據權利要求3所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述第一發射端與所述第二發射端均發射s波,所述第二發射端的下方設置有波片,所述第二發射端發射的s波入射至所述波片,投射后轉換為p波投射至樣品表面。

    5.根據權利要求1所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述發射端為一個,所述接收端為兩個,兩個所述接收端分別為第三接收端與第四接收端,所述第三接收端與所述第四接收端對稱設置在所述發射端的兩側。

    6.根據權利要求5所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述發射端下方設置有波片,所述發射端發射的s波入射至所述波片,投射后轉換為圓偏振光投射至樣品表面,所述第三接收端下方設置有p偏振片,所述第四接收端下方設置有s偏振片。

    7.根據權利要求1所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述發射端包括第一激光器與第二激光器,所述第一激光器與所述第二激光器均發射s波,所述第二激光器的端部設置有波片,所述第二激光器發射的s波入射至波片,投射后轉換為p波,所述第一激光器與所述第二激光器垂直設置。

    8.根據權利要求7所述的一種消除高反雜散光的3D線激光相機,其特征在于,所述第二激光器的下方設置有偏振分光鏡,所述偏振分光鏡設置在第一激光器發射的s波與第二激光器發射的s波轉換為p波后的重合位置。

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    【技術特征摘要】

    1.一種消除高反雜散光的3d線激光相機,其特征在于,包括:

    2.根據權利要求1所述的一種消除高反雜散光的3d線激光相機,其特征在于,所述發射端包括第一發射端與第二發射端,所述接收端包括第一接收端與第二接收端,所述第一發射端與所述第一接收端相配合,所述第二發射端與所述第二接收端相配合。

    3.根據權利要求2所述的一種消除高反雜散光的3d線激光相機,其特征在于,所述線偏振光包括s波與p波,所述s波和p波為振動方向相互垂直。

    4.根據權利要求3所述的一種消除高反雜散光的3d線激光相機,其特征在于,所述第一發射端與所述第二發射端均發射s波,所述第二發射端的下方設置有波片,所述第二發射端發射的s波入射至所述波片,投射后轉換為p波投射至樣品表面。

    5.根據權利要求1所述的一種消除高反雜散光的3d線激光相機,其特征在于,所述發射端為一個,所述接收端為兩個,兩個所述接收端分別為第三接收端...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:趙效楠,李強,杜向麗,唐亮郭曉峰,
    申請(專利權)人:蘇州中科行智智能科技有限公司
    類型:發明
    國別省市:

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