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    一種MEMS氣體傳感器模組生產用檢測設備制造技術

    技術編號:40106463 閱讀:16 留言:0更新日期:2024-01-23 18:30
    本發明專利技術提供一種MEMS氣體傳感器模組生產用檢測設備,包括檢測平臺,所述檢測平臺上端安裝有用于輸送MEMS氣體傳感器模組的輸送裝置,以及用于檢測MEMS氣體傳感器模組的圖像檢測裝置,所述輸送裝置包括兩條并列設置的輸送帶,所述輸送帶為閉合的環形,兩條輸送帶之間安裝有限位框,所述輸送帶第一端設置有第一導向組件,通過第一導向組件形成豎直的檢測端;所述圖像檢測裝置包括位于檢測端第一側的第一檢測組件,以及位于檢測端第二側的第二檢測組件。該發明專利技術能夠一次對MEMS氣體傳感器模組正反兩面進行圖像檢測,并且能夠同步調整兩側圖像檢測的角度范圍,提高了圖像檢測準確性的同時,極大的提高了檢測的效率。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術涉及檢測設備,尤其涉及一種mems氣體傳感器模組生產用檢測設備。


    技術介紹

    1、mems氣體傳感器模組體積小、集中度高,靈敏度高,在氣體傳感領域被廣泛應用。

    2、mems氣體傳感器模組機集成化設計,mems氣體傳感器模組的正面安裝有氣體檢測元件、反面安裝有導通控制的腳座,在mems氣體傳感器模組生產的過程中需要對其正面以及反面均進行圖像檢測。

    3、現有的圖像檢測設備大多是通過將mems氣體傳感器模組放置于固定的檢測平臺上,通過改變檢測平臺與圖像檢測元件之間的距離來調整圖像檢測的范圍角度,實現連續檢測;但是對于mems氣體傳感器模組來說,其雙面均需要檢測,通過上述傳統的檢測設備進行檢測,檢測過程需要多步驟的先后進行,且需要人工或者機械設備對mems氣體傳感器模組檢測狀態進行翻面調整,檢測效率受限。


    技術實現思路

    1、針對上述問題,本專利技術提供一種mems氣體傳感器模組生產用檢測設備,該專利技術能夠一次對mems氣體傳感器模組正反兩面進行圖像檢測,并且能夠同步調整兩側圖像檢測的角度范圍,提高了圖像檢測準確性的同時,極大的提高了檢測的效率。

    2、為解決上述問題,本專利技術所采用的技術方案是:

    3、一種mems氣體傳感器模組生產用檢測設備,包括檢測平臺,所述檢測平臺上端安裝有用于輸送mems氣體傳感器模組的輸送裝置,以及用于檢測mems氣體傳感器模組的圖像檢測裝置,所述輸送裝置包括兩條并列設置的輸送帶,所述輸送帶為閉合的環形,兩條輸送帶之間安裝有限位框,所述輸送帶第一端設置有第一導向組件,通過第一導向組件形成豎直的檢測端;所述圖像檢測裝置包括位于檢測端第一側的第一檢測組件,以及位于檢測端第二側的第二檢測組件;其中,通過輸送裝置將mems氣體傳感器模組輸送至檢測端,通過驅動第一導向組件移動以改變圖像檢測裝置的圖像檢測角度。

    4、通過設置輸送裝置條形連續輸送方式,能夠實現對mems氣體傳感器模組的連續輸送,同時mems氣體傳感器模組雙向無遮擋,能夠同步實現對mems氣體傳感器模組的雙向圖像檢測;尤其是通過控制mems氣體傳感器模組在水平面上線性移動,提高了第一檢測組件、第二檢測組件圖像檢測數據以及精度的同時,能夠一次對mems氣體傳感器模組的正面、反面進行調整,極大地提高了對mems氣體傳感器模組的檢測效率。

    5、優選地,所述第一導向組件包括第一導向輪以及第二導向輪,所述檢測平臺上端設置有第一限位組件用于安裝第一導向組件,所述第一限位組件包括與檢測平臺上端固定連接的第一定位座,所述第一定位座上端安裝有導向滑軌,所述導向滑軌內滑動設置有用于安裝第一導向輪、第二導向輪的第一安裝架,從外側控制第一安裝架移動以帶動第一導向組件、限位框移動;通過上述設置,能夠保證mems氣體傳感器模組在水平移動過程中的穩定性,保證圖像檢測結果的準確以及穩定。

    6、優選地,通過輸送帶控制對應的限位框移動至檢測端處于豎直狀態后,從外側控制第一安裝架移動以帶動第一導向組件、限位框移動。

    7、優選地,所述輸送帶第二端設置有第二導向組件,通過第二導向組件形成豎直的供料端,所述第二導向組件相對于檢測平臺滑動且二者之間設置有彈性組件,所述供料端內部安裝有供料裝置實現mems氣體傳感器模組的上下料;通過設置供料裝置能夠在相對一側的位置,在圖像檢測的過程中同步實現對mems氣體傳感器模組的上料以及下料,能夠保證mems氣體傳感器模組檢測的連續,保證檢測的效率。

    8、優選地,所述供料裝置包括位于供料端內與輸送帶位置對應的上料組件以及下料組件,上料組件以及下料組件朝向相反,所述第二導向組件與檢測平臺之間設置有伸縮裝置以控制上料組件以及下料組件同步朝著外側移動。

    9、優選地,所述伸縮裝置包括第一折疊連桿以及與第一折疊連桿適配的第二折疊連桿,所述第一折疊連桿的轉動連接處通過第一控制桿與第二導向組件固定連接,所述第二折疊連桿的轉動連接處通過第二控制桿與檢測平臺相固定。

    10、優選地,所述第二導向組件包括間隔設置的第三導向輪以及第四導向輪,所述檢測平臺上端固定有第二限位組件用于安裝第二導向組件,所述第二限位組件包括第二定位座,用于安裝第三導向輪、第四導向輪的第二安裝架,以及貫穿第二安裝架并且與之滑動連接的導向桿。

    11、優選地,所述第一折疊連桿、第二折疊連桿的轉動連接處安裝有扭力彈性組件。

    12、優選地,還包括下料輸送線,所述下料輸送線位于供料端的下方,且所述下料輸送線可沿著輸送裝置長度方向伸縮。

    13、優選地,所述限位框包括中空的框架主體,所述框架主體外側通過安裝工件與輸送帶固定連接,內側壁設置有彈性的卡緊組件。

    14、本專利技術的有益效果為:

    15、通過設置輸送裝置條形連續輸送方式,能夠實現對mems氣體傳感器模組的連續輸送,同時mems氣體傳感器模組雙向無遮擋,能夠同步實現對mems氣體傳感器模組的雙向圖像檢測,提高的圖像檢測效率;尤其是通過控制mems氣體傳感器模組在水平面上線性移動,能夠同步對第一檢測組件以及第二檢測組件的檢測角度范圍進行調整,提高了第一檢測組件、第二檢測組件圖像檢測數據以及精度的同時,能夠一次對mems氣體傳感器模組的正面、反面進行調整,進一步提高了對mems氣體傳感器模組的檢測效率。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種MEMS氣體傳感器模組生產用檢測設備,包括檢測平臺(100),所述檢測平臺(100)上端安裝有用于輸送MEMS氣體傳感器模組的輸送裝置(200),以及用于檢測MEMS氣體傳感器模組的圖像檢測裝置(300),其特征在于:

    2.根據權利要求1所述的一種MEMS氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,所述第一導向組件(230)包括第一導向輪(231)以及第二導向輪(232),所述檢測平臺(100)上端設置有第一限位組件(110)用于安裝第一導向組件(230),所述第一限位組件(110)包括與檢測平臺(100)上端固定連接的第一定位座(111),所述第一定位座(111)上端安裝有導向滑軌(112),所述導向滑軌(112)內滑動設置有用于安裝第一導向輪(231)、第二導向輪(232)的第一安裝架(113),從外側控制第一安裝架(113)移動以帶動第一導向組件(230)、限位框(220)移動。

    3.根據權利要求2所述的一種MEMS氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,通過輸送帶(210)控制對應的限位框(220)移動至檢測端處于豎直狀態后,從外側控制第一安裝架(113)移動以帶動第一導向組件(230)、限位框(220)移動。

    4.根據權利要求1所述的一種MEMS氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,所述輸送帶(210)第二端設置有第二導向組件(240),通過第二導向組件(240)形成豎直的供料端,所述第二導向組件(240)相對于檢測平臺(100)滑動且二者之間設置有彈性組件,所述供料端內部安裝有供料裝置(400)實現MEMS氣體傳感器模組的上下料。

    5.根據權利要求4所述的一種MEMS氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,所述供料裝置(400)包括位于供料端內與輸送帶(210)位置對應的上料組件(410)以及下料組件(420),上料組件(410)以及下料組件(420)朝向相反,所述第二導向組件(240)與檢測平臺(100)之間設置有伸縮裝置(430)以控制上料組件(410)以及下料組件(420)同步朝著外側移動。

    6.根據權利要求5所述的一種MEMS氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,所述伸縮裝置(430)包括第一折疊連桿(432)以及與第一折疊連桿(432)適配的第二折疊連桿(433),所述第一折疊連桿(432)的轉動連接處通過第一控制桿(431)與第二導向組件(240)固定連接,所述第二折疊連桿(433)的轉動連接處通過第二控制桿(434)與檢測平臺(100)相固定。

    7.根據權利要求6所述的一種MEMS氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,所述第二導向組件(240)包括間隔設置的第三導向輪(241)以及第四導向輪(242),所述檢測平臺(100)上端固定有第二限位組件(120)用于安裝第二導向組件(240),所述第二限位組件(120)包括第二定位座(121),用于安裝第三導向輪(241)、第四導向輪(242)的第二安裝架(123),以及貫穿第二安裝架(123)并且與之滑動連接的導向桿(122)。

    8.根據權利要求6所述的一種MEMS氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,所述第一折疊連桿(432)、第二折疊連桿(433)的轉動連接處安裝有扭力彈性組件。

    9.根據權利要求4-8任一所述的一種MEMS氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,還包括下料輸送線(500),所述下料輸送線(500)位于供料端的下方,且所述下料輸送線(500)可沿著輸送裝置(200)長度方向伸縮。

    10.根據權利要求1-8任一所述的一種MEMS氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,所述限位框(220)包括中空的框架主體(222),所述框架主體(222)外側通過安裝工件(221)與輸送帶(210)固定連接,內側壁設置有彈性的卡緊組件(223)。

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    【技術特征摘要】

    1.一種mems氣體傳感器模組生產用檢測設備,包括檢測平臺(100),所述檢測平臺(100)上端安裝有用于輸送mems氣體傳感器模組的輸送裝置(200),以及用于檢測mems氣體傳感器模組的圖像檢測裝置(300),其特征在于:

    2.根據權利要求1所述的一種mems氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,所述第一導向組件(230)包括第一導向輪(231)以及第二導向輪(232),所述檢測平臺(100)上端設置有第一限位組件(110)用于安裝第一導向組件(230),所述第一限位組件(110)包括與檢測平臺(100)上端固定連接的第一定位座(111),所述第一定位座(111)上端安裝有導向滑軌(112),所述導向滑軌(112)內滑動設置有用于安裝第一導向輪(231)、第二導向輪(232)的第一安裝架(113),從外側控制第一安裝架(113)移動以帶動第一導向組件(230)、限位框(220)移動。

    3.根據權利要求2所述的一種mems氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,通過輸送帶(210)控制對應的限位框(220)移動至檢測端處于豎直狀態后,從外側控制第一安裝架(113)移動以帶動第一導向組件(230)、限位框(220)移動。

    4.根據權利要求1所述的一種mems氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,所述輸送帶(210)第二端設置有第二導向組件(240),通過第二導向組件(240)形成豎直的供料端,所述第二導向組件(240)相對于檢測平臺(100)滑動且二者之間設置有彈性組件,所述供料端內部安裝有供料裝置(400)實現mems氣體傳感器模組的上下料。

    5.根據權利要求4所述的一種mems氣體傳感器模組生產用檢測設備,其特征在于,所述供料裝置(400)包括位于供料端內與輸送帶(210)位置對應的上料組件(410)以及下料組件(420),上料組件(410)以及下料組件(420)朝向...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:溫劍銳,卜華生,王衛毅,李萬,張英宏王小軍,
    申請(專利權)人:深圳市天地通電子有限公司,
    類型:發明
    國別省市:

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