【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體制造，具體涉及一種通道門的安全裝置和晶圓生產設備。
技術介紹
1、在目前半導體工廠中,加工工藝設備中各腔室之間的通道門機構的故障不能正常工作時有發生，由于該通道門的驅動機構是氣動件，而在維修或更換時大部分的作業人員的做法是在不去除驅動氣體的前提下去完成更換，其風險就是在維護或更換過程中，通道門可能會突然閉合，導致作業人員受傷，造成安全事故。
技術實現思路
1、本申請實施例提供一種通道門的安全裝置和晶圓生產設備，以解決在維護或更換過程中，通道門可能會突然閉合，導致作業人員受傷，造成安全事故的問題。
2、本申請實施例一方面提供一種通道門的安全裝置，所述安全裝置包括底座、支撐部和止擋部，所述支撐部設置在所述底座的上側，所述止擋部設置在所述支撐部的上側，所述安全裝置放置在所述通道門開啟狀態下的開口內。
3、在一些實施方式中，所述安全裝置整體呈工字形或類u形結構。
4、在一些實施方式中，所述底座的體積大于所述止擋部的體積。
5、在一些實施方式中，所述底座長度為6-12cm,寬度為3-6cm，高度為1-2cm；所述止擋部的長度為3-6cm,寬度為3-6cm，高度為1-2cm。
6、在一些實施方式中，所述安全裝置的高度為3-5cm。
7、在一些實施方式中，所述安全裝置的材料為高分子材料。
8、在一些實施方式中，所述安全裝置的材料為鐵氟龍。
9、在一些實施方式中，所述安全裝置為一體成型件
10、在一些實施方式中，所述通道門包括門框和滑動門體，所述安全裝置設置在所述滑動門體之上，且置于所述門框形成的所述開口內。
11、本申請實施例另一方面提供一種晶圓生產設備，所述晶圓生產設備的腔室之間設置有通道門，所述通道門的門體能夠在驅動件的作用下由下向上移動，封閉所述通道門的開口，所述通道門包括根據上述任一項所述的安全裝置。
12、與現有技術相比，本技術具有以下優點：
13、本申請實施例提供的通道門的安全裝置便于攜帶，操作簡單方便，利于在狹小空間使用，特別適用于半導體行業機臺通道門體的更換操作中，填補了沒有相應工具的空白。
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1.一種通道門的安全裝置，其特征在于，所述安全裝置包括底座、支撐部和止擋部，所述支撐部設置在所述底座的上側，所述止擋部設置在所述支撐部的上側，所述安全裝置放置在所述通道門開啟狀態下的開口內。
2.根據權利要求1所述的安全裝置，其特征在于，所述安全裝置整體呈工字形或類U形結構。
3.根據權利要求1所述的安全裝置，其特征在于，所述底座的體積大于所述止擋部的體積。
4.根據權利要求2所述的安全裝置，其特征在于，所述底座長度為6-12cm,寬度為3-6cm，高度為1-2cm；所述止擋部的長度為3-6cm,寬度為3-6cm，高度為1-2cm。
5.根據權利要求4所述的安全裝置，其特征在于，所述安全裝置的高度為3-5cm。
6.根據權利要求1所述的安全裝置，其特征在于，所述安全裝置的材料為高分子材料。
7.根據權利要求6所述的安全裝置，其特征在于，所述安全裝置的材料為鐵氟龍。
8.根據權利要求1-7中任一項所述的安全裝置，其特征在于，所述安全裝置為一體成型件。
9.根據權利要求1-7中任一項所述的
10.一種晶圓生產設備，所述晶圓生產設備的腔室之間設置有通道門，所述通道門的門體能夠在驅動件的作用下由下向上移動，封閉所述通道門的開口，其特征在于，所述通道門包括根據權利要求1-9中任一項所述的安全裝置。
...【技術特征摘要】
1.一種通道門的安全裝置，其特征在于，所述安全裝置包括底座、支撐部和止擋部，所述支撐部設置在所述底座的上側，所述止擋部設置在所述支撐部的上側，所述安全裝置放置在所述通道門開啟狀態下的開口內。
2.根據權利要求1所述的安全裝置，其特征在于，所述安全裝置整體呈工字形或類u形結構。
3.根據權利要求1所述的安全裝置，其特征在于，所述底座的體積大于所述止擋部的體積。
4.根據權利要求2所述的安全裝置，其特征在于，所述底座長度為6-12cm,寬度為3-6cm，高度為1-2cm；所述止擋部的長度為3-6cm,寬度為3-6cm，高度為1-2cm。
5.根據權利要求4所述的安全裝置，其特征在于，所述安全裝置的高度為3-5cm。...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張正，
申請(專利權)人：盛吉盛半導體技術上海有限公司，
類型：新型
國別省市：
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