【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術涉及精密加工，尤其涉及一種采用對置多導軌結構的減薄機。
技術介紹
1、目前，由于適用于各種尺寸工件的磨削，工件自轉式端面磨削逐漸成為設計減薄機采用的主流方式。端面磨削一般分粗磨和精磨進行，粗磨時主要實現(xiàn)材料的快速去除，降低厚度，精磨時主要實現(xiàn)材料的微量去除，同時去除粗磨時的損傷層，達到較高的平面度和表面粗糙度。一般來說晶片對平面度和粗糙度的要求非常高，以碳化硅晶片為例，要求達到1um的平面度和10nm的表面粗糙度，這對加工設備和加工工藝的要求，特別是對機床的剛性要求非常高。
2、現(xiàn)有的工件自轉式端面磨削的布置形式是，直線導軌豎直安裝在一側，主軸通過主軸座懸臂安裝在直線導軌上，由于主軸自重和加工時較大的軸向摩擦力，使得主軸在加工時可能產(chǎn)生一定程度上的傾斜，影響加工工件的平面度和表面粗糙度。
3、因此，需要提供一種采用對置多導軌結構的減薄機，以能使主軸不產(chǎn)生傾斜或者產(chǎn)生盡量少的傾斜，解決上述技術問題。
技術實現(xiàn)思路
1、為此，本專利技術提供了一種采用對置多導軌結構的減薄機，以解決或至少緩解上面存在的問題。
2、根據(jù)本專利技術的一個方面，提供了一種采用對置多導軌結構的減薄機，適于端面磨削工件，其中，所述減薄機包括：床身；砂輪主軸部分，固定在所述床身上，所述砂輪主軸部分包括：第一床身立柱和第二床身立柱，固定在所述床身上；底座，固定在所述第一床身立柱上，所述底座中間對稱布置有四個導軌；溜板，通過所述四個導軌支撐于所述底座上，適于與所述底座配合做直
3、可選地，在根據(jù)本專利技術的減薄機中，所述砂輪主軸部分還包括：主軸座，安裝在所述溜板上，所述主軸固定在所述主軸座上。
4、可選地，在根據(jù)本專利技術的減薄機中，所述工件轉臺部分包括：水平導軌座，安裝在所述床身上；工件轉臺，安裝在所述水平導軌座上，適于在電機的驅動下沿著所述水平導軌座做橫向直線運動；真空吸盤，固定在所述工件轉臺上，適于帶動工件隨著工件轉臺轉動。
5、可選地，在根據(jù)本專利技術的減薄機中，所述工件轉臺部分包括：水平導軌座，安裝在所述床身上；工件轉臺，安裝在所述水平導軌座上，適于在電機的驅動下沿著所述水平導軌座做橫向直線運動；真空吸盤，固定在所述工件轉臺上，適于帶動工件隨著工件轉臺轉動。
6、可選地，在根據(jù)本專利技術的減薄機中，所述導軌為靜壓導軌，每個所述導軌分布包括兩個靜壓滑塊；所述四個導軌分為兩組導軌對稱布置在所述主軸的兩側。
7、可選地，在根據(jù)本專利技術的減薄機中，所述減薄機還包括：直線電機，安裝在所述第二床身立柱上且位于所述兩組導軌的對稱面，所述直線電機作用力的軸線位于磨削點的附近，適于驅動所述主軸。
8、可選地，在根據(jù)本專利技術的減薄機中，所述減薄機還包括：光柵尺，安裝在所述溜板上；光柵讀數(shù)頭，安裝在所述底座上，適于配合所述光柵尺反饋所述溜板的運動位置；光柵保護罩，安裝在所述溜板上，且設在所述光柵尺和光柵讀數(shù)頭的外側。
9、可選地，在根據(jù)本專利技術的減薄機中，所述減薄機還包括：配重氣缸，包括缸體和活塞桿，所述缸體與溜板固定連接，所述活塞桿與所述第一床身立柱固定連接，適于對所述主軸的移動部分進行配重。
10、可選地，在根據(jù)本專利技術的減薄機中，所述減薄機還包括：視覺檢測部分，固定在所述第二床身立柱上，適于監(jiān)測所述減薄機的工作情況。
11、可選地，在根據(jù)本專利技術的減薄機中，所述減薄機還包括：工件測厚部分，固定在所述第二床身立柱上，適于檢測工件的厚度。
12、可選地，在根據(jù)本專利技術的減薄機中，所述砂輪的形狀為杯型。
13、根據(jù)本專利技術的技術方案，提供了一種采用對置多導軌結構的減薄機，適于端面磨削工件，包括：床身、砂輪主軸部分和工件轉臺部分；砂輪主軸部分，固定在所述床身上，包括：第一床身立柱和第二床身立柱固定在床身上；底座固定在第一床身立柱上，底座中間對稱布置有四個導軌；溜板固定在導軌上，適于與底座配合做直線運動；主軸安裝在溜板上；砂輪固定在主軸的底部磨削工件；工件轉臺部分安裝在床身上，能夠帶動工件旋轉。這樣，根據(jù)本專利技術的技術方案，主軸采用對稱布置的四個導軌進行支承，使得主軸的兩側都有支撐，舍棄了傳統(tǒng)的懸臂結構，可以較好地克服單側導軌導致的主軸在自重下的傾斜，最大限度地減小了主軸因為自重或加工時的軸向磨削力產(chǎn)生的傾斜，提高了主軸的剛性，使得主軸具有較好的穩(wěn)定性和可靠性，能夠保證加工工件的平面度和表面粗糙度。
14、采用位于對稱面的直線電機驅動主軸，使得直線電機作用力的軸線在磨削點附近，有效地減少了阿貝誤差和主軸偏載帶來的影響。采用直線導軌配合導軌鉗制器作為抱閘使用，在機床斷電、意外停機等非正常工作狀態(tài)下，可以確保關鍵部件及時剎車停下，避免了撞車事故的發(fā)生。
15、上述說明僅是本專利技術技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本專利技術的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本專利技術的上述和其它目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉本專利技術的具體實施方式。
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1.一種采用對置多導軌結構的減薄機，適于端面磨削工件，其中，所述減薄機包括：
2.如權利要求1所述的減薄機，其中，所述砂輪主軸部分還包括：
3.如權利要求1或2所述的減薄機，其中，所述工件轉臺部分包括：
4.如權利要求1-3中任一項所述的減薄機，其中，所述床身包括：
5.如權利要求1-4中任一項所述的減薄機，其中，
6.如權利要求5所述的減薄機，其中，所述減薄機還包括：
7.如權利要求1-6中任一項所述的減薄機，其中，所述減薄機還包括：
8.如權利要求1-7中任一項所述的減薄機，其中，所述減薄機還包括：
9.如權利要求1-8中任一項所述的減薄機，其中，所述減薄機還包括：
10.如權利要求1-9中任一項所述的減薄機，其中，所述減薄機還包括：
【技術特征摘要】
1.一種采用對置多導軌結構的減薄機，適于端面磨削工件，其中，所述減薄機包括：
2.如權利要求1所述的減薄機，其中，所述砂輪主軸部分還包括：
3.如權利要求1或2所述的減薄機，其中，所述工件轉臺部分包括：
4.如權利要求1-3中任一項所述的減薄機，其中，所述床身包括：
5.如權利要求1-4中任一項所述的減薄機，其中，
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【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：尹韶輝，江豪，舒成松，王哲，
申請(專利權)人：江蘇優(yōu)普納科技有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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