【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種樹脂組合物，且特別是涉及一種樹脂組合物以及硬化膜。
技術介紹
1、隨著科技的發展，裝置小型化的需求愈來愈多。隨之而來的需求是裝置內的組件及設計需對應縮小。為此，組件內的圖案需有更窄的線寬。然而，圖案的線寬愈窄，在工藝中會有圖案坍塌的問題，進而影響其制得的裝置/組件的效能。
技術實現思路
1、本專利技術提供一種可形成具有良好的涂布均勻性、耐化學性及疏水性的樹脂組合物以及硬化膜。
2、本專利技術的一種樹脂組合物包括樹脂(a)、交聯劑(b)、表面活性劑(c)、添加劑(d)以及溶劑(e)。樹脂(a)包括苯酚樹脂(a-1)以及含羥基的聚苯乙烯樹脂(a-2)中的至少一者。添加劑(d)包括氟類苯酚(d-1)、多羥基苯酚樹脂(d-2)、含環氧基團的化合物(d-3)、聚醚樹脂(d-4)、含磺酸根離子的熱酸產生劑(d-5)或其組合。
3、在本專利技術的一實施例中，上述樹脂(a)的重量平均分子量為400至30000。
4、在本專利技術的一實施例中，上述苯酚樹脂(a-1)包括由下述式(a1)表示的結構單元。苯酚樹脂(a-1)的重量平均分子量為360至39200。
5、
6、式(a1)中，r1表示氫或碳數為1～4的烷基，m表示1～3的整數，*表示鍵結位置。
7、在本專利技術的一實施例中，上述含羥基的聚苯乙烯樹脂(a-2)包括由下述式(a2)表示的結構單元。含羥基的聚苯乙烯樹脂(a-2)的重量平均分子量為12400至19
8、其中*表示鍵結位置。
9、在本專利技術的一實施例中，上述交聯劑(b)包括酚醛環氧樹脂類交聯劑、聚甲基丙烯酸甲酯類交聯劑、馬來酸酐類交聯劑或其組合。
10、在本專利技術的一實施例中，上述表面活性劑(c)包括氟類表面活性劑。氟類表面活性劑包括羥基、酯基、羧基、醚基或其組合。
11、在本專利技術的一實施例中，上述氟類苯酚(d-1)包括由下述式(d1)表示的化合物。氟類苯酚(d-1)的分子量為112至600。
12、
13、式(d1)中，r9表示氟或碳數小于4的氟烷基，a為大于0的整數，b為大于0的整數，且a與b的總和為大于或等于2且小于或等于6。
14、在本專利技術的一實施例中，上述多羥基苯酚樹脂(d-2)包括由下述式(d2)表示的結構單元。多羥基苯酚樹脂(d-2)的重量平均分子量為12500至30000。
15、
16、式(d2)中，r2至r4各自表示氫或碳數為1～4的烷基，*表示鍵結位置。
17、在本專利技術的一實施例中，上述多羥基苯酚樹脂(d-2)包括由下述式(d3)表示的結構單元及由下述式(d4)表示的結構單元。由式(d3)表示的結構單元與由式(d4)表示的結構單元的比例為70:30至90:10。
18、
19、式(d3)及式(d4)中，*表示鍵結位置。
20、在本專利技術的一實施例中，上述含環氧基團的化合物(d-3)包括環氧基團，且更包括長碳鏈、醚基或其組合。
21、在本專利技術的一實施例中，上述聚醚樹脂(d-4)包括由下述式(d5)表示的結構單元。聚醚樹脂(d-4)的重量平均分子量為2000至10000。
22、
23、式(d5)中，r5及r6各自表示或氫，且r5及r6中的至少一者為r7及r8各自表示羥基、醚基、烷基、氟基或其組合，*表示鍵結位置。
24、在本專利技術的一實施例中，上述含磺酸根離子的熱酸產生劑(d-5)包括氟。
25、在本專利技術的一實施例中，上述溶劑(e)包括丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚、異丙醇、甲醇、丙酮、乙酸正丁酯、丁酮、乙酸乙酯、二丙酮醇或其組合。
26、在本專利技術的一實施例中，基于上述樹脂(a)的使用量為100重量份，交聯劑(b)的使用量為60重量份至74重量份，表面活性劑(c)的使用量為1重量份至12重量份，添加劑(d)的使用量為1重量份至60重量份，溶劑(e)的使用量為3100重量份至5100重量份。
27、在本專利技術的一實施例中，基于上述樹脂(a)的使用量為100重量份，添加劑(d)的使用量包括以下添加劑使用量所組成的群組中的至少一者：氟類苯酚(d-1)的使用量為22重量份至40重量份，多羥基苯酚樹脂(d-2)的使用量為1重量份至27重量份，含環氧基團的化合物(d-3)的使用量為5重量份至27重量份，聚醚樹脂(d-4)的使用量為2重量份至27重量份，含磺酸根離子的熱酸產生劑(d-5)的使用量為5重量份至60重量份。
28、本專利技術的一種樹脂組合物包括樹脂(a)、交聯劑(b)、表面活性劑(c)以及溶劑(e)。樹脂(a)包括苯酚樹脂(a-1)以及含羥基的聚苯乙烯樹脂(a-2)中的至少一者。
29、本專利技術的一種硬化膜，是由上述的樹脂組合物硬化而成。
30、基于上述，本專利技術的樹脂組合物包括特定種類的樹脂(a)。藉此，可使樹脂組合物所形成的硬化膜具有良好的涂布均勻性、耐化學性及疏水性，而適用于半導體裝置、顯示裝置或光學組件的工藝中。此外，本專利技術的樹脂組合物進一步包括特定種類的添加劑(d)。藉此，可使樹脂組合物所形成的硬化膜具有良好的涂布均勻性、耐化學性及疏水性，而適用于半導體裝置、顯示裝置或光學組件的工藝中。
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1.一種樹脂組合物，包括：
2.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述樹脂(A)的重量平均分子量為400至30000。
3.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述苯酚樹脂(A-1)包括由下述式(A1)表示的結構單元：
4.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述含羥基的聚苯乙烯樹脂(A-2)包括由下述式(A2)表示的結構單元：
5.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述交聯劑(B)包括酚醛環氧樹脂類交聯劑、聚甲基丙烯酸甲酯類交聯劑、馬來酸酐類交聯劑或其組合。
6.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述表面活性劑(C)包括氟類表面活性劑，所述氟類表面活性劑包括羥基、酯基、羧基、醚基或其組合。
7.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述氟類苯酚(D-1)包括由下述式(D1)表示的化合物：
8.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述多羥基苯酚樹脂(D-2)包括由下述式(D2)表示的結構單元：
9.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述多羥基苯酚樹脂(D-2)包括由下述式(D3)
10.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述含環氧基團的化合物(D-3)包括環氧基團，且更包括長碳鏈、醚基或其組合。
11.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述聚醚樹脂(D-4)包括由下述式(D5)表示的結構單元：
12.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述含磺酸根離子的熱酸產生劑(D-5)包括氟。
13.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述溶劑(E)包括丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚、異丙醇、甲醇、丙酮、乙酸正丁酯、丁酮、乙酸乙酯、二丙酮醇或其組合。
14.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中基于所述樹脂(A)的使用量為100重量份，所述交聯劑(B)的使用量為60重量份至74重量份，所述表面活性劑(C)的使用量為1重量份至12重量份，所述添加劑(D)的使用量為1重量份至60重量份，所述溶劑(E)的使用量為3100重量份至5100重量份。
15.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中基于所述樹脂(A)的使用量為100重量份，所述添加劑(D)的使用量包括以下添加劑使用量所組成的群組中的至少一者：所述氟類苯酚(D-1)的使用量為22重量份至40重量份，所述多羥基苯酚樹脂(D-2)的使用量為1重量份至27重量份，所述含環氧基團的化合物(D-3)的使用量為5重量份至27重量份，所述聚醚樹脂(D-4)的使用量為2重量份至27重量份，所述含磺酸根離子的熱酸產生劑(D-5)的使用量為5重量份至60重量份。
16.一種樹脂組合物，包括：
17.根據權利要求16所述的樹脂組合物，其中所述樹脂(A)的重量平均分子量為400至30000。
18.根據權利要求16所述的樹脂組合物，其中所述苯酚樹脂(A-1)包括由下述式(A1)表示的結構單元：
19.根據權利要求16所述的樹脂組合物，其中所述含羥基的聚苯乙烯樹脂(A-2)包括由下述式(A2)表示的結構單元：
20.根據權利要求16所述的樹脂組合物，其中所述交聯劑(B)包括酚醛環氧樹脂類交聯劑、聚甲基丙烯酸甲酯類交聯劑、馬來酸酐類交聯劑或其組合。
21.根據權利要求16所述的樹脂組合物，其中所述表面活性劑(C)包括氟類表面活性劑，所述氟類表面活性劑包括羥基、酯基、羧基、醚基或其組合。
22.根據權利要求16所述的樹脂組合物，其中所述溶劑(E)包括丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚、異丙醇、甲醇、丙酮、乙酸正丁酯、丁酮、乙酸乙酯、二丙酮醇或其組合。
23.根據權利要求16所述的樹脂組合物，其中基于所述樹脂(A)的使用量為100重量份，所述交聯劑(B)的使用量為60重量份至74重量份，所述表面活性劑(C)的使用量為1重量份至12重量份，所述溶劑(E)的使用量為3100重量份至5100重量份。
24.一種硬化膜，其為由權利要求1至權利要求23中任一項所述的樹脂組合物硬化而成。
...【技術特征摘要】
1.一種樹脂組合物，包括：
2.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述樹脂(a)的重量平均分子量為400至30000。
3.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述苯酚樹脂(a-1)包括由下述式(a1)表示的結構單元：
4.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述含羥基的聚苯乙烯樹脂(a-2)包括由下述式(a2)表示的結構單元：
5.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述交聯劑(b)包括酚醛環氧樹脂類交聯劑、聚甲基丙烯酸甲酯類交聯劑、馬來酸酐類交聯劑或其組合。
6.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述表面活性劑(c)包括氟類表面活性劑，所述氟類表面活性劑包括羥基、酯基、羧基、醚基或其組合。
7.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述氟類苯酚(d-1)包括由下述式(d1)表示的化合物：
8.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述多羥基苯酚樹脂(d-2)包括由下述式(d2)表示的結構單元：
9.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述多羥基苯酚樹脂(d-2)包括由下述式(d3)表示的結構單元及由下述式(d4)表示的結構單元：
10.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述含環氧基團的化合物(d-3)包括環氧基團，且更包括長碳鏈、醚基或其組合。
11.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述聚醚樹脂(d-4)包括由下述式(d5)表示的結構單元：
12.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述含磺酸根離子的熱酸產生劑(d-5)包括氟。
13.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中所述溶劑(e)包括丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚、異丙醇、甲醇、丙酮、乙酸正丁酯、丁酮、乙酸乙酯、二丙酮醇或其組合。
14.根據權利要求1所述的樹脂組合物，其中基于所述樹脂(a)的使用量為100重量份，所述交聯劑(b)的使用量為60重量份至74重量份，所述表面活性劑(c)的使用量為1重量份至12重量份，所述添加劑(d)的使用...
【專利技術屬性】
技術研發人員：謝宜芳，陳禹寧，何紹禮，陳暉儒，
申請(專利權)人：新應材股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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