【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于半導體加工設備搬運機構控制方法，特別提供了一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法。
技術介紹
1、切割分選一體機通常具備自動上料、定位切割、清洗干燥、vision檢測、分選擺盤功能。其中，vision檢測功能是指對切割、清洗、干燥完成后的ic芯片進行表面品質檢測。
2、市面上可查的切割分選一體機中，部分類型的設備采用雙面載料設計，每面負責搬運整片料片的一半，以達到壓縮設備占用空間和提高加工效率的目的，但考慮到烘干單元和檢測單元通常只有一套，且出于檢測精度的考量，兩者的裝配位置相對固定，因此，此類設備通常具備一個翻轉臺來配合烘干單元和檢測單元，以實現對兩個載料面的烘干檢測處理。
3、考慮到半導體加工對設備的運行效率和運行精度的要求都極高，而工作流程中動作越多，其對應的工作效率就越低，且每次動作都可能發生設備故障或造成精度下降，因此，需要在不影響加工精度的前提下，盡可能的優化工作流程。
4、目前，上述設備烘干檢測中，翻轉臺的控制邏輯為a面接料→b面接料→a面干燥→b面干燥→a面檢測→b面檢測→a面下料→b面下料，該流程雖然能夠正常完成兩面的烘干檢測工作，但流程中仍存在不必要的動作，需要對該流程進行進一步優化。
技術實現思路
1、為解決上述技術問題，本專利技術采用的技術方案是：一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法，其步驟如下：
2、步驟一、接料工序；
3、通過搬運機械臂將兩塊料盤分別運載至雙面載料板的正反兩面上；
4、步驟二、a面烘干工序；
5、將步驟一中完成反面接料的雙面載料板翻轉至a面朝上，翻轉單元移動至干燥單元下方，對a面進行烘干處理；
6、步驟三、a面檢測工序；
7、完成a面烘干處理后，直接移動至檢測單元處，對a面進行檢測；
8、步驟四、a面下料工序；
9、翻轉單元進行翻轉，使b面朝上，并通過下一工站的搬運機構從翻轉單元的下方取走a面的料盤；
10、步驟五、b面烘干工序；
11、翻轉單元移動至干燥單元下方，對b面進行烘干處理；
12、步驟六、b面檢測工序；
13、完成b面烘干處理后，直接移動至檢測單元處，對b面進行檢測；
14、步驟七、b面下料工序；
15、翻轉單元進行翻轉，使a面朝上，并通過下一工站的搬運機構從翻轉單元的下方取走b面的料盤；
16、最后，翻轉單元復位。
17、進一步地，所述接料工序的流程如下：
18、翻轉單元停留在接料工位等待，雙面載料板a面朝上；
19、搬運機械臂執行搬運流程，攜帶一塊料盤移動至接料工位正上方，隨后搬運機械臂釋放料盤至雙面載料板的a面，最后搬運機械臂回前一工站，準備執行下一次搬運流程；
20、雙面載料板動作，對位于其a面上的料盤進行固定；
21、翻轉單元沿x軸運行到翻轉工位，雙面載料板翻轉至b面朝上，隨后翻轉單元復位至接料工位；
22、搬運機械臂重復上述搬運流程將另一塊料盤搬運并固定至雙面載料板的b面，至此完成接料工序。
23、進一步地，所述a面烘干工序的流程如下：
24、翻轉單元沿x軸運行到翻轉工位，雙面載料板翻轉至a面朝上；
25、翻轉單元沿x軸運行到烘干工位，干燥單元啟動，對a面上的料盤進行烘干處理，直至料盤表面完全干燥后，干燥單元暫停運行，至此完成a面烘干工序。
26、進一步地，所述a面檢測工序的流程如下：
27、翻轉單元沿x軸運行到檢測工位，檢測單元沿y軸運動，對a面上的料盤進行檢測，直至完整采集料盤表面全部料片的信息后，檢測單元沿y軸運動回到待機位，至此完成a面檢測工序。
28、進一步地，所述a面下料工序的流程如下：
29、翻轉單元沿x軸運行到翻轉工位，雙面載料板翻轉至b面朝上；
30、翻轉單元沿x軸運行到下料工位，由下一工站的搬運機構從翻轉單元的下方對位于a面上的料盤進行裝夾；
31、在裝夾穩定后，雙面載料板釋放位于a面的料盤，下一工站的搬運機構復位，至此完成a面下料工序。
32、進一步地，所述b面烘干工序的流程如下：
33、翻轉單元沿x軸運行到烘干工位，干燥單元啟動，對b面上的料盤進行烘干處理，直至料盤表面完全干燥后，干燥單元暫停運行，至此完成b面烘干工序。
34、進一步地，完成步驟七中的b面下料工序后，翻轉單元沿x軸運行到接料工位，至此完成單次烘干檢測循環。
35、使用本專利技術的有益效果是：
36、通過優化烘干檢測環節中翻轉單元的工作邏輯，減少流程中的動作，從而達到提高設備整體工作效率、降低故障率和提高檢測精度的效果；
37、同時當設備發生異常時，方便快速排查故障，確認設備當前狀態，快速恢復生產。
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1.一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法，其特征在于：步驟如下：
2.根據權利要求1中所述的一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法，其特征在于：所述接料工序的流程如下：
3.根據權利要求1中所述的一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法，其特征在于：所述A面烘干工序的流程如下：
4.根據權利要求1中所述的一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法，其特征在于：所述A面檢測工序的流程如下：
5.根據權利要求1中所述的一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法，其特征在于：所述A面下料工序的流程如下：
6.根據權利要求1中所述的一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法，其特征在于：所述B面烘干工序的流程如下：
7.根據權利要求1中所述的一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法，其特征在于：完成步驟七中的B面下料工序后，翻轉單元沿X軸運行到接料工位，至此完成單次烘干檢測循環。
【技術特征摘要】
1.一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法，其特征在于：步驟如下：
2.根據權利要求1中所述的一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法，其特征在于：所述接料工序的流程如下：
3.根據權利要求1中所述的一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法，其特征在于：所述a面烘干工序的流程如下：
4.根據權利要求1中所述的一種用于切割分選一體機的翻轉臺控制方法，其特征在于：所述a面檢測工序的流程如下...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張明明，袁慧珠，吳洪柏，徐雙雙，李圓，歐陽仲宇，
申請(專利權)人：沈陽和研科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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