【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及陣列式超聲波收發裝置。
技術介紹
1、現有技術中存在：對半導體等受檢體照射超聲波，基于其反射波生成受檢體內部的圖像信息，檢測受檢體內部的缺陷的超聲波收發裝置。根據該超聲波收發裝置，能夠進行非破壞的高分辨率檢查，能夠確保電子零件的可靠性。
2、近年來，要求縮短伴隨半導體晶片的高密度安裝化而需要的檢查時間。為此，必須縮短超聲波的收發處理。
3、為此，提案了一種超聲波檢查裝置，其由呈直線狀地配置的多個超聲波振子構成，使用使這些超聲波振子進行電子掃描(電子scan)的陣列探頭(參照專利文獻1)。
4、該超聲波檢查裝置構成為，在使陣列探頭靜止的狀態下通過一次電子掃描來對特定寬度進行掃描。詳細而言，單個探頭通過一個超聲波振子進行處理，相比于此，通過利用構成陣列探頭的多個超聲波振子進行電子掃描處理，實現高速處理。
5、現有技術文獻
6、專利文獻
7、專利文獻1：日本特開昭63-177056號公報
技術實現思路
1、專利技術要解決的技術問題
2、在上述現有技術中，公開了這樣的方法：陣列探頭在結束靜止狀態下的電子掃描處理后，移動至下一個檢查位置，再次使陣列探頭靜止地進行電子掃描處理。即，為一種在進行電子掃描時使陣列探頭靜止的方法。
3、詳細而言，在某檢查位置發送超聲波，直至在下一個檢查位置發送超聲波為止所需的時間為電子掃描的時間與探頭的移動時間之和的時間。
4、為了縮短超聲波收發
5、本專利技術的目的在于提供一種縮短了檢查時間的超聲波收發裝置。
6、用于解決技術問題的技術手段
7、為了解決上述技術問題，本專利技術的陣列式超聲波收發裝置包括陣列探頭，該陣列探頭具有成直線狀地配置的多個超聲波振子，所述陣列式超聲波收發裝置，在受檢體上方的與所述受檢體平行的掃描平面中，將所述超聲波振子的配置方向設為所述掃描平面的y軸方向，將與所述配置方向垂直的方向設為所述掃描平面的x軸方向，基于預先設定的掃描條件，使所述陣列探頭不靜止地沿x軸方向移動，所述陣列探頭在x軸方向的移動期間，進行對所述受檢體的多個照射點依次發送超聲波束并接收其反射波的電子掃描，將對所述受檢體照射超聲波束的最初的電子掃描開始時的所述陣列探頭的位置，設為所述陣列探頭的掃描平面的原點，在y軸方向上，將電子掃描開始時的陣列探頭的位置的y坐標設為yl時，且將所述陣列探頭移動到的下一個y軸方向的y坐標yl+1設為對yl加上電子掃描的掃描寬度得到的值的位置時，在離開所述原點的方向移動時，所述陣列探頭從x坐標xk移動至xk+1的位置，在靠近所述原點的方向移動時，所述陣列探頭從x坐標xk移動至xk-1的位置，通過交替地反復進行去往移動掃描動作和返回移動掃描動作來對所述掃描平面進行電子掃描，其中，所述去往移動掃描動作包括：一邊進行電子掃描一邊使陣列探頭沿x軸方向從x坐標xk移動至xk+1的動作；和在x軸方向的移動終端處使陣列探頭沿y軸方向移動電子掃描的掃描寬度的量而使y坐標從yl成為yl+1的動作，所述返回移動掃描動作包括：一邊進行電子掃描一邊使陣列探頭沿x軸方向從x坐標xk移動至xk-1的動作；和在x軸方向的移動終端處使陣列探頭沿y軸方向移動電子掃描的掃描寬度的量而使y坐標從yl成為yl+1的動作。
8、專利技術的效果
9、根據本專利技術，能夠縮短超聲波收發裝置的檢查時間。
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1.一種陣列式超聲波收發裝置，其包括陣列探頭，該陣列探頭具有成直線狀地配置的多個超聲波振子，
2.如權利要求1所述的陣列式超聲波收發裝置，其特征在于：
3.如權利要求2所述的陣列式超聲波收發裝置，其特征在于：
4.如權利要求2所述的陣列式超聲波收發裝置，其特征在于：
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
1.一種陣列式超聲波收發裝置，其包括陣列探頭，該陣列探頭具有成直線狀地配置的多個超聲波振子，
2.如權利要求1所述的陣列式超聲波收發裝置，其...
【專利技術屬性】
技術研發人員：岸本卓彌，北見薰，郡司浩行，黛高明，宮部昇三，中嶋巖，
申請(專利權)人：株式會社日立電力解決方案，
類型：發明
國別省市：
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