【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及光罩盒，特別是一種臺式光罩盒自動化開盒器。
技術介紹
1、目前使用的臺式光罩盒存取裝置操作方式較為復雜繁瑣，無法實現全自動化操作，而且光罩盒的盒蓋不便于更換，更換操作較為浪費時間，需人工判斷光罩盒是否放置到位，是否放置正確，并且在開盒或者關盒過程中無法對內部的掩模板進行數量和方向的監測，在開盒和關盒過程中，會對傾斜的掩模板進行擠壓導致損壞，和其他設備進行對接時，容易出現光罩盒定位不準確，位置錯誤等缺陷，使用過程不能實現自動化，為此，專利技術人設計了一種臺式光罩盒自動化開盒器。
技術實現思路
1、本部分的目的在于概述本專利技術的實施例的一些方面以及簡要介紹一些較佳實施例。在本部分以及本申請的說明書摘要和專利技術名稱中可能會做些簡化或省略以避免使本部分、說明書摘要和專利技術名稱的目的模糊，而這種簡化或省略不能用于限制本專利技術的范圍。
2、鑒于上述或現有技術中存在的問題，提出了本專利技術。
3、因此，本專利技術的目的是提供一種臺式光罩盒自動化開盒器，其能夠快速對光罩盒上的盒蓋進行升降，從而打開盒蓋，從而對內部的掩模板進行操作，盒蓋在開啟和關閉的過程中，可以對內部的掩模板的狀態進行檢測，實現了自動化操作。
4、為解決上述技術問題，本專利技術提供如下技術方案：一種臺式光罩盒自動化開盒器，其包括支撐框架組件，載臺組件，以及升降機構；
5、支撐框架組件可對載臺組件和升降機構進行支撐，升降機構的內側設置載臺組件，升降機構可沿支撐框架組
6、載臺組件上可放置光罩盒，升降機構可對光罩盒上的盒蓋進行升降。
7、作為本專利技術臺式光罩盒自動化開盒器的一種優選方案，其中：升降機構包括驅動升降組件，升降臺組件，導向組件，以及第一鎖緊組件；
8、驅動升降組件與支撐框架組件連接，驅動升降組件與升降臺組件連接，驅動升降組件可驅動升降臺組件進行升降；
9、升降臺組件上設置導向組件和第一鎖緊組件，第一鎖緊組件可對盒蓋進行鎖緊。
10、作為本專利技術臺式光罩盒自動化開盒器的一種優選方案，其中：驅動升降組件包括驅動件，同步帶輪，絲桿，絲桿支撐架，絲桿驅動塊，升降滑塊，導軌，以及擋板；
11、驅動件與支撐框架組件連接，驅動件通過同步帶輪與絲桿連接，絲桿支撐架對絲桿進行支撐，絲桿與絲桿驅動塊螺紋配合連接，絲桿驅動塊與升降滑塊連接，升降滑塊沿著導軌進行滑動，升降滑塊與升降臺組件連接，擋板與升降滑塊的上端面連接。
12、作為本專利技術臺式光罩盒自動化開盒器的一種優選方案，其中：升降臺組件包括升降臺；
13、升降臺的內側設置有第一檢測件，以及第二檢測件；
14、第一檢測件可對光罩盒內掩模板的數量進行檢測；
15、第二檢測件可對光罩盒內掩模板的方向進行檢測。
16、作為本專利技術臺式光罩盒自動化開盒器的一種優選方案，其中：第一鎖緊組件包括鎖緊驅動件，鎖緊臺，升降臺，以及防護架；
17、鎖緊驅動件與升降臺連接，鎖緊驅動件與鎖緊臺連接，防護架設置在升降臺的上端面，防護架內設置有槽口，鎖緊臺可收納至槽口內；
18、鎖緊驅動件可驅動鎖緊臺轉動對盒蓋進行鎖緊。
19、作為本專利技術臺式光罩盒自動化開盒器的一種優選方案，其中：導向組件包括導向塊，以及升降臺；
20、導向塊設置在升降臺的上端面，四組導向塊設置在升降臺的四角。
21、作為本專利技術臺式光罩盒自動化開盒器的一種優選方案，其中：導向塊上設置有導向坡，導向塊的上截面呈現“l”型。
22、作為本專利技術臺式光罩盒自動化開盒器的一種優選方案，其中：載臺組件包括支撐座，載臺，第二鎖緊件，定位件，識別件,以及第三檢測件；
23、支撐座與支撐框架組件連接，支撐座的上端面設置載臺，載臺上設置有第二鎖緊件，定位件，識別件,以及第三檢測件，
24、第二鎖緊件可對光罩盒底板進行限位固定；定位件可對光罩盒底板進行定位，識別件可讀取光罩盒的id信息；第三檢測件可檢測光罩盒是否存在。
25、作為本專利技術臺式光罩盒自動化開盒器的一種優選方案，其中：支撐框架組件包括側支撐架板，以及下支撐框架；
26、下支撐框架內與載臺組件連接，下支撐框架可對升降臺組件進行支撐，下支撐框架側面與側支撐架板連接。
27、作為本專利技術臺式光罩盒自動化開盒器的一種優選方案，其中：側支撐架板上設置有開關門機構。
28、本專利技術的有益效果：本專利技術通過支撐框架組件可以對載臺組件和升降機構進行支撐，通過載臺組件可以對光罩盒進行支撐，通過升降機構可以把光罩盒的盒蓋進行升降，從而漏出內部的掩模板，升降機構帶動盒蓋進行升降可以對掩膜板的狀態進行檢測，本裝置為半身臺式設計，對于全身設計來說具有不占空間的優勢，并且可支持新型多層光罩盒的開盒，與主設備對接接口也完全兼容6”、8”開盒器，本裝置可以快速與搬運機器人進行對接，大幅提高了工作效率。
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1.一種臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：包括支撐框架組件(1)，載臺組件(2)，以及升降機構(3)；
2.如權利要求1所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述升降機構(3)包括驅動升降組件(31)，升降臺組件(32)，導向組件(33)，以及第一鎖緊組件(34)；
3.如權利要求2所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述驅動升降組件(31)包括驅動件(3101)，同步帶輪(3102)，絲桿(3103)，絲桿支撐架(3104)，絲桿驅動塊(3105)，升降滑塊(3106)，導軌(3107)，以及擋板(3108)；
4.如權利要求2所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述升降臺組件(32)包括升降臺(3201)；
5.如權利要求4所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述第一鎖緊組件(34)包括鎖緊驅動件(3401)，鎖緊臺(3402)，升降臺(3201)，以及防護架(3403)；
6.如權利要求2所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述導向組件(33)包括導向塊(3301)，以及升降臺(320
7.如權利要求6所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述導向塊(3301)上設置有導向坡，所述導向塊(3301)的上截面呈現“L”型。
8.如權利要求1～7任一所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述載臺組件(2)包括支撐座(21)，載臺(22)，第二鎖緊件(23)，定位件(24)，識別件(25),以及第三檢測件(26)；
9.如權利要求2所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述支撐框架組件(1)包括側支撐架板(11)，以及下支撐框架(12)；
10.如權利要求9所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述側支撐架板(11)上設置有開關門機構(5)。
...【技術特征摘要】
1.一種臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：包括支撐框架組件(1)，載臺組件(2)，以及升降機構(3)；
2.如權利要求1所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述升降機構(3)包括驅動升降組件(31)，升降臺組件(32)，導向組件(33)，以及第一鎖緊組件(34)；
3.如權利要求2所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述驅動升降組件(31)包括驅動件(3101)，同步帶輪(3102)，絲桿(3103)，絲桿支撐架(3104)，絲桿驅動塊(3105)，升降滑塊(3106)，導軌(3107)，以及擋板(3108)；
4.如權利要求2所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述升降臺組件(32)包括升降臺(3201)；
5.如權利要求4所述的臺式光罩盒自動化開盒器，其特征在于：所述第一鎖緊組件(34)包括鎖緊驅動件(3401)，鎖緊臺(3402)...
【專利技術屬性】
技術研發人員：顧俊，季濤，申勇，
申請(專利權)人：上海禾芯威半導體科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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