【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及熱源燈，更具體地說，它涉及一種燈源位置的調節結構及其熱源燈。
技術介紹
1、快速退火爐(rtp)是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其用于加熱多個半導體晶片以影響其電性能。快速退火爐可以加熱晶片以激活摻雜劑、將薄膜轉換成晶片襯底界面、使致密沉積的薄膜、改變生長的薄膜的狀態、修復注入的損傷、移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底等等。
2、現有的快速退火爐通常使用鹵素燈作為熱源，鹵素燈作為熱源燈，其應用在快速退火爐內的位置安裝基座都是固定的，無法對安裝基座進行調節，即無法對燈源位置進行調節，以適應燈源位置與晶片之間的不同距離。
技術實現思路
1、針對現有技術存在的不足，本專利技術的目的在于提供一種燈源位置的調節結構及其熱源燈，旨在解決上述技術問題。
2、為實現上述目的，本專利技術提供了如下技術方案：一種燈源位置的調節結構，包括爐體，所述燈源位置的調節結構用于調節熱源燈本體在爐體中的位置，所述燈源位置的調節結構包括：
3、上支撐板，所述上支撐板設置在爐體內腔中；
4、第二調節機構，所述第二調節機構安裝在爐體上，且所述第二調節機構傳動連接有上支撐板，沿垂直于上支撐板的方向上，第二調節機構用于調節上支撐板在爐體內腔中的位置；
5、第一調節機構，所述第一調節機構安裝在上支撐板上，且所述第一調節機構遠離上支撐座的一端用于安裝熱源燈本體，所述第一調節機構的數量有多個，沿垂直于熱源燈本體的延伸方向
6、其中，所述第一調節機構包括直線調節組件和轉動調節組件，所述直線調節組件傳動連接有轉動調節組件，所述直線調節組件用于調節熱源燈本體朝遠離上支撐板方向上的直線移動位置，所述轉動調節組件用于調節熱源燈本體的光照方向。
7、作為本專利技術進一步的方案：所述第二調節機構包括第二液壓缸、第二伸縮桿和滑塊，所述第二液壓缸安置在爐體上，第二液壓缸的輸出端固定連接有第二伸縮桿，第二伸縮桿遠離第二液壓缸的一端與上支撐板固定連接，上支撐板側端固定連接有滑塊，所述爐體內腔上開設有滑槽，所述滑塊通過滑槽與爐體滑動連接，其中，所述滑塊與滑槽的滑動方向與第二伸縮桿的伸縮方向一致。
8、作為本專利技術進一步的方案：所述上支撐板的下端固定連接有下支撐板，所述下支撐板的側面與爐體內壁緊密貼合；
9、其中，所述直線調節組件包括第一液壓缸、第一伸縮桿、第一齒條板、第一轉動支座和第一安裝板，所述第一液壓缸安裝在上支撐板上，第一液壓缸的輸出端固定連接有第一伸縮桿，第一伸縮桿遠離第一液壓缸的一端固定連接有第一齒條板，第一齒條板遠離第一伸縮桿的一端貫穿下支撐板并與下支撐板滑動連接，所述第一齒條板位于下支撐板下方的一端轉動連接有第一轉動支座，第一轉動支座固定連接在第一安裝板上；
10、所述轉動調節組件包括主動齒輪、從動齒輪、第一支架、第二支架、第二齒條板、第二轉動支座和第二安裝板，所述第一齒條板側端嚙合傳動有主動齒輪，主動齒輪嚙合傳動有從動齒輪，所述主動齒輪的輸出軸轉動連接在第一支架上，第一支架與下支撐板固定連接，從動齒輪的輸出軸轉動連接在第二支架上，第二支架與下支撐板固定連接，所述從動齒輪嚙合傳動有第二齒條板，所述第二齒條板貫穿下支撐板并與下支撐板滑動連接，其中，所述第二齒條板與下支撐板的滑動方向與第一齒條板與下支撐板的滑動方向平行，所述第二齒條板位于下支撐板下方的一端轉動連接有第二轉動支座，第二轉動支座與第二安裝板固定連接，所述第二安裝板靠近第一安裝板的一端固定連接有插桿，所述第一安裝板靠近第二安裝板的一端開設有插槽，所述插桿與插槽滑動連接，所述第一安裝板遠離第一轉動支座的一端用于安裝熱源燈本體，其中，所述主動齒輪的齒數大于從動齒輪的齒數；
11、當第一齒條板位于初始位置時，所述第一安裝板遠離下支撐板的一端表面與第二安裝板遠離下支撐板的一端表面分別與下支撐板的下表面平行；
12、當在第一液壓缸的驅動下，所述第一齒條板沿第一伸縮桿的方向朝遠離第一液壓缸的方向移動第一距離值時，所述第二齒條板沿第一伸縮桿的方向朝遠離第一液壓缸的方向移動第二距離值，所述第一距離值大于第二距離值，所述插桿沿插槽的設置方向朝遠離第一安裝板的方向滑動第三距離值。
13、作為本專利技術進一步的方案：當所述燈源位置的調節結構位于熱處理位置時，沿位于上支撐板的中間位置的第一調節機構指向位于上支撐板的邊緣位置的第一調節機構的方向上，多個所述第一調節機構中第一齒條板的第一距離值逐漸增大。
14、本專利技術提供了一種燈源位置可調節的熱源燈，包括熱源燈本體和安裝在熱源燈本體上的位置調節結構，所述位置調節結構采用上述的一種燈源位置的調節結構。
15、作為本專利技術進一步的方案：所述上支撐板的下端固定連接有下支撐板，所述下支撐板的側面與爐體內壁緊密貼合；
16、所述直線調節組件包括第一液壓缸、第一伸縮桿、第一齒條板、第一轉動支座和第一安裝板，所述第一液壓缸安裝在上支撐板上，第一液壓缸的輸出端固定連接有第一伸縮桿，第一伸縮桿遠離第一液壓缸的一端固定連接有第一齒條板，第一齒條板遠離第一伸縮桿的一端貫穿下支撐板并與下支撐板滑動連接，所述第一齒條板位于下支撐板下方的一端轉動連接有第一轉動支座，第一轉動支座固定連接在第一安裝板上；
17、所述轉動調節組件包括主動齒輪、從動齒輪、第一支架、第二支架、第二齒條板、第二轉動支座和第二安裝板，所述第一齒條板側端嚙合傳動有主動齒輪，主動齒輪嚙合傳動有從動齒輪，所述主動齒輪的輸出軸轉動連接在第一支架上，第一支架與下支撐板固定連接，從動齒輪的輸出軸轉動連接在第二支架上，第二支架與下支撐板固定連接，所述從動齒輪嚙合傳動有第二齒條板，所述第二齒條板貫穿下支撐板并與下支撐板滑動連接，其中，所述第二齒條板與下支撐板的滑動方向與第一齒條板與下支撐板的滑動方向平行，所述第二齒條板位于下支撐板下方的一端轉動連接有第二轉動支座，第二轉動支座與第二安裝板固定連接，所述第二安裝板靠近第一安裝板的一端固定連接有插桿，所述第一安裝板靠近第二安裝板的一端開設有插槽，所述插桿與插槽滑動連接，所述第一安裝板遠離第一轉動支座的一端固定連接有熱源燈本體，所述熱源燈本體靠近第二安裝板的一端固定連接有限位塊，所述第二安裝板上開設有限位槽，所述限位塊通過限位槽與第二安裝板滑動連接，其中，所述主動齒輪的齒數大于從動齒輪的齒數；
18、當第一齒條板位于初始位置時，所述第一安裝板遠離下支撐板的一端表面與第二安裝板遠離下支撐板的一端表面分別與下支撐板的下表面平行，所述限位塊位于限位槽中遠離第一安裝板的一側；
19、當在第一液壓缸的驅動下，所述第一齒條板沿第一伸縮桿的方向朝遠離第一液壓缸的方向移動第一距離值時，所述第二齒條板沿第一伸縮桿的方向朝遠離第一液壓缸的方向移動第二距離值，所述第一距離值大于第二距離值，所述插桿沿插槽的設置本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種燈源位置的調節結構，包括爐體(1)，所述燈源位置的調節結構用于調節熱源燈本體(8)在爐體(1)中的位置，其特征在于，所述燈源位置的調節結構包括：
2.根據權利要求1所述的一種燈源位置的調節結構，其特征在于，所述第二調節機構(3)包括第二液壓缸(31)、第二伸縮桿(32)和滑塊(5)，所述第二液壓缸(31)安置在爐體(1)上，第二液壓缸(31)的輸出端固定連接有第二伸縮桿(32)，第二伸縮桿(32)遠離第二液壓缸(31)的一端與上支撐板(4)固定連接，上支撐板(4)側端固定連接有滑塊(5)，所述爐體(1)內腔上開設有滑槽(6)，所述滑塊(5)通過滑槽(6)與爐體(1)滑動連接，其中，所述滑塊(5)與滑槽(6)的滑動方向與第二伸縮桿(32)的伸縮方向一致。
3.根據權利要求2所述的一種燈源位置的調節結構，其特征在于，所述上支撐板(4)的下端固定連接有下支撐板(7)，所述下支撐板(7)的側面與爐體(1)內壁緊密貼合；
4.根據權利要求3所述的一種燈源位置的調節結構，其特征在于，當所述燈源位置的調節結構位于熱處理位置時，沿位于上支撐板(4)的中
5.一種燈源位置可調節的熱源燈，其特征在于，包括熱源燈本體(8)和安裝在熱源燈本體(8)上的位置調節結構，所述位置調節結構采用如權利要求1所述的一種燈源位置的調節結構。
6.根據權利要求5所述的一種燈源位置可調節的熱源燈，其特征在于，所述上支撐板(4)的下端固定連接有下支撐板(7)，所述下支撐板(7)的側面與爐體(1)內壁緊密貼合；
7.根據權利要求6所述的一種燈源位置可調節的熱源燈，其特征在于，所述爐體(1)內底部固定安裝有支撐座(10)，所述支撐座(10)位于第一調節機構(2)的下方位置，所述支撐座(10)上用于放置待熱處理的晶圓本體(9)，所述爐體(1)一側靠近支撐座(10)的位置開設有投料口(11)，所述投料口(11)用于將晶圓本體(9)由機械手臂托送至支撐座(10)上。
8.根據權利要求7所述的一種燈源位置可調節的熱源燈，其特征在于，當所述燈源位置的調節結構位于熱處理位置時，沿位于上支撐板(4)的中間位置的第一調節機構(2)指向位于上支撐板(4)的邊緣位置的第一調節機構(2)的方向上，多個所述第一調節機構(2)中第一齒條板(23)的第一距離值逐漸增大。
...【技術特征摘要】
1.一種燈源位置的調節結構，包括爐體(1)，所述燈源位置的調節結構用于調節熱源燈本體(8)在爐體(1)中的位置，其特征在于，所述燈源位置的調節結構包括：
2.根據權利要求1所述的一種燈源位置的調節結構，其特征在于，所述第二調節機構(3)包括第二液壓缸(31)、第二伸縮桿(32)和滑塊(5)，所述第二液壓缸(31)安置在爐體(1)上，第二液壓缸(31)的輸出端固定連接有第二伸縮桿(32)，第二伸縮桿(32)遠離第二液壓缸(31)的一端與上支撐板(4)固定連接，上支撐板(4)側端固定連接有滑塊(5)，所述爐體(1)內腔上開設有滑槽(6)，所述滑塊(5)通過滑槽(6)與爐體(1)滑動連接，其中，所述滑塊(5)與滑槽(6)的滑動方向與第二伸縮桿(32)的伸縮方向一致。
3.根據權利要求2所述的一種燈源位置的調節結構，其特征在于，所述上支撐板(4)的下端固定連接有下支撐板(7)，所述下支撐板(7)的側面與爐體(1)內壁緊密貼合；
4.根據權利要求3所述的一種燈源位置的調節結構，其特征在于，當所述燈源位置的調節結構位于熱處理位置時，沿位于上支撐板(4)的中間位置的第一調節機構(2)指向位于上支撐板(4)的邊緣位置的第一調節機構(2)的方向上，多個所...
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉永，曹見麗，
申請(專利權)人：淮安璟凌電子科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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