【技術實現步驟摘要】
本技術涉及壓縮引入結構，具體為一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構。
技術介紹
1、分子束外延自20世紀60年代末在真空蒸鍍的基礎上產生以來，發展十分迅速，其中之一是引入氣態的分子束源，構成所謂化學束外延(cbe)，用砷烷(ash3)和磷烷(ph3)生長等四元材料，或將金屬有機化合物引入分子束源形成所謂金屬有機化合物分子束外延(mombe)，目前市面上普遍的分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，都是優先將需要壓縮的空氣壓縮，之后再將壓縮的空氣進行引入，這樣難免在引入的過程中造成一定量的資源浪費，為此我們提出了一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構。
技術實現思路
1、(一)解決的技術問題
2、本技術的目的在于提供一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，以解決上述
技術介紹
中提出目前市面上普遍的分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，都是優先將需要壓縮的空氣壓縮，之后再將壓縮的空氣進行引入，這樣難免在引入的過程中造成一定量的資源浪費的問題。
3、(二)技術方案
4、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：包括支撐底板，所述支撐底板的上端與壓縮箱的下端固定連接，所述壓縮箱的上端與制動電機的下端固定連接，所述制動電機的下端與壓縮機的上端電性連接，所述壓縮箱的右端與壓力表的下端電性連接，所述壓縮箱的上端與安全閥的下端固定連接。
5、優選的，所述壓縮箱的上端與單向閥的下端固定連接，所述安全閥的下端與排氣管的左端固定連接，所述支撐臺的上端與分子束外延設備的下端固
6、優選的，所述吸氣機與分子束外延設備之間通過緊固螺栓螺紋連接，所述吸氣機的右端與引入副管道的左端固定連接，所述引入副管道的右端與引入主管道的左端固定連接，所述引入主管道的右端與壓縮箱的左端固定連接。
7、優選的，所述壓縮箱的右端開設有吸風口，所述吸風口的下端與壓縮機的表面固定連接，所述壓縮機的下端與過濾器的表面固定連接，所述過濾器的下端與儲氣箱的表面固定連接。
8、優選的，所述儲氣箱的上端與壓力開關的下端固定連接，所述引入主管道的內部與主管道過濾器的表面固定連接，所述引入副管道的內部與副管道過濾器的表面固定連接，所述主管道過濾器的左端與副管道過濾器的右端固定連接，所述主管道過濾器與副管道過濾器的連接處開設有濾芯。
9、優選的，所述儲氣箱的左端與干燥機的右端固定連接，所述干燥機的左端與輸送管的右端固定連接，所述輸送管的左端與引入主管道的右端固定連接，所述支撐臺的下端與支撐主腿的上端固定連接。
10、與現有技術相比，本技術的有益效果是：
11、1.一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，支撐底板的上端固定連接有壓縮箱，壓縮箱的上端固定連接有制動電機，制動電機的下端電性連接有壓縮機，壓縮箱的右端電性連接有壓力表，支撐臺的上端固定連接有分子束外延設備，分子束外延設備的右端固定連接有吸氣機，吸氣機與分子束外延設備之間通過緊固螺栓螺紋連接，吸氣機的右端固定連接有引入副管道的左端，引入副管道的右端固定連接有引入主管道，引入主管道的右端固定連接有壓縮箱，壓縮箱的右端開設有吸風口，吸風口的下端固定連接有壓縮機，壓縮機的下端固定連接有過濾器，過濾器的下端固定連接有儲氣箱，儲氣箱的上端固定連接有壓力開關，引入主管道的內部固定連接有主管道過濾器，引入副管道的內部固定連接有副管道過濾器，主管道過濾器的左端固定連接有副管道過濾器，主管道過濾器與副管道過濾器的連接處開設有濾芯，儲氣箱的左端固定連接有干燥機，干燥機的左端固定連接有輸送管，輸送管的左端固定連接有引入主管道，支撐臺的下端固定連接有支撐主腿，當需要使用該分子束外延設備的壓縮空氣引入結構時，需要使用者打開制動電機，此時吸風口將吸入需要壓縮的空氣，同時制動電機將帶動下方的壓縮機，壓縮過的空氣將通過后方的過濾器，隨后被存儲在儲氣箱，這時啟動干燥機，隨后干燥過的空氣將通過輸送管到達引入主管道的內部，經由其內部的主管道過濾器、副管道過濾器和濾芯過濾其內部的油霧，最終被吸氣機吸入分子束外延設備的內部，至此完成壓縮空氣的引入，可以有效解決
技術介紹
中提到目前市面上普遍的分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，都是優先將需要壓縮的空氣壓縮，之后再將壓縮的空氣進行引入，這樣難免在引入的過程中造成一定量的資源浪費的問題；
12、2.一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，相對于之前的裝置，在壓縮箱的上端固定連接有安全閥，壓縮箱的上端固定連接有單向閥，安全閥的下端固定連接有排氣管，單向閥可以讓壓縮空氣從壓縮機進入儲氣箱，且可以阻止壓縮空氣反方向流動，安全閥當儲氣箱內的壓力超過允許限度時，可以通過排氣管將壓縮空氣排出；
13、3.一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，支撐底板的上端固定連接有壓縮箱，壓縮箱的上端固定連接有制動電機，制動電機的下端電性連接有壓縮機，壓縮箱的右端電性連接有壓力表，壓力表可以顯示儲氣箱內部的壓力，且當儲氣箱內部的壓力達到最大壓力時，壓力開關此時也將停止工作，進而帶動制動電機停止工作，當使用者察覺壓力恢復再重新啟動制動電機即可，可以有效提高該裝置的安全以及穩定性。
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1.一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，包括支撐底板(8)，其特征在于：所述支撐底板(8)的上端與壓縮箱(7)的下端固定連接，所述壓縮箱(7)的上端與制動電機(24)的下端固定連接，所述制動電機(24)的下端與壓縮機(12)的上端電性連接，所述壓縮箱(7)的右端與壓力表(17)的下端電性連接，所述壓縮箱(7)的上端與安全閥(19)的下端固定連接。
2.根據權利要求1所述的一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，其特征在于：它還包括支撐臺(1)，所述壓縮箱(7)的上端與單向閥(20)的下端固定連接，所述安全閥(19)的下端與排氣管(18)的左端固定連接，所述支撐臺(1)的上端與分子束外延設備(3)的下端固定連接，所述分子束外延設備(3)的右端與吸氣機(4)的左端固定連接。
3.根據權利要求2所述的一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，其特征在于：所述吸氣機(4)與分子束外延設備(3)之間通過緊固螺栓(16)螺紋連接，所述吸氣機(4)的右端與引入副管道(5)的左端固定連接，所述引入副管道(5)的右端與引入主管道(6)的左端固定連接，所述引入主管道(6)的右端與
4.根據權利要求3所述的一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，其特征在于：所述壓縮箱(7)的右端開設有吸風口(9)，所述吸風口(9)的下端與壓縮機(12)的表面固定連接，所述壓縮機(12)的下端與過濾器(11)的表面固定連接，所述過濾器(11)的下端與儲氣箱(10)的表面固定連接。
5.根據權利要求4所述的一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，其特征在于：所述儲氣箱(10)的上端與壓力開關(21)的下端固定連接，所述引入主管道(6)的內部與主管道過濾器(15)的表面固定連接，所述引入副管道(5)的內部與副管道過濾器(13)的表面固定連接，所述主管道過濾器(15)的左端與副管道過濾器(13)的右端固定連接，所述主管道過濾器(15)與副管道過濾器(13)的連接處開設有濾芯(14)。
6.根據權利要求5所述的一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，其特征在于：所述儲氣箱(10)的左端與干燥機(22)的右端固定連接，所述干燥機(22)的左端與輸送管(23)的右端固定連接，所述輸送管(23)的左端與引入主管道(6)的右端固定連接，所述支撐臺(1)的下端與支撐主腿(2)的上端固定連接。
...【技術特征摘要】
1.一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，包括支撐底板(8)，其特征在于：所述支撐底板(8)的上端與壓縮箱(7)的下端固定連接，所述壓縮箱(7)的上端與制動電機(24)的下端固定連接，所述制動電機(24)的下端與壓縮機(12)的上端電性連接，所述壓縮箱(7)的右端與壓力表(17)的下端電性連接，所述壓縮箱(7)的上端與安全閥(19)的下端固定連接。
2.根據權利要求1所述的一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，其特征在于：它還包括支撐臺(1)，所述壓縮箱(7)的上端與單向閥(20)的下端固定連接，所述安全閥(19)的下端與排氣管(18)的左端固定連接，所述支撐臺(1)的上端與分子束外延設備(3)的下端固定連接，所述分子束外延設備(3)的右端與吸氣機(4)的左端固定連接。
3.根據權利要求2所述的一種分子束外延設備的壓縮空氣引入結構，其特征在于：所述吸氣機(4)與分子束外延設備(3)之間通過緊固螺栓(16)螺紋連接，所述吸氣機(4)的右端與引入副管道(5)的左端固定連接，所述引入副管道(5)的右端與引入主管道(6)的左端固定連接，所述引入主管道(6)的右端與壓縮箱(7)的左端固定連接。<...
【專利技術屬性】
技術研發人員：路云峰，劉杰，王紅真，
申請(專利權)人：蘇州信越半導體有限公司，
類型：新型
國別省市：
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