【技術實現步驟摘要】
本技術涉及涂膠去邊機構，具體為一種涂膠去邊機構。
技術介紹
1、目前對圓形晶圓涂膠是利用旋轉涂膠機來完成的，將圓形晶圓放在旋轉涂膠臺上進行涂膠，在涂膠過程中會在晶圓邊緣殘留膠體，對邊緣殘留的膠體需要進行清理以免影響晶圓的使用性能和安裝。
2、但是現有技術在實際使用時，在進行晶圓邊緣膠體清理時大多采用人工手動清理，工作效率低而且容易存在清理不良的現象，自動化程度低。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種涂膠去邊機構，以解決
技術介紹
中提到的問題。
2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：包括支撐臺，所述支撐臺下表面四個加均分別固定連接有支架，所述支撐臺上表面中心位置開設有移動槽，所述支撐臺上表面左側固定連接有去邊箱，所述去邊箱左側內壁中心位置固定連接有可調節去邊刀，所述去邊箱上側內壁固定連接有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿一端通過軸承轉動連接有保護板，所述去邊箱一邊側板內壁固定連接有噴氣機，所述噴氣機上表面固定連接有噴氣管，所述噴氣管一端固定連接有噴頭，所述支撐臺上表面相對應去邊箱右側固定連接有涂膠架，所述涂膠架中心位置活動連接有連接柱，所述連接柱上側固定連接有固定板，所述固定板下表面相對應連接柱外壁兩側均分別固定連接有液壓缸，所述連接柱下側表面固定連接有存膠箱，所述存膠箱下表面均勻分布連接有多個噴膠頭，所述支撐臺上表面相對應涂膠架右側固定連接有烘干箱。
3、優選的，所述存膠箱前后兩側外壁均分別固定連接有安裝板，兩個所述安裝板內壁通過軸承活動連
4、優選的，兩個長邊所述支架內壁中間均分別固定連接有定位桿，兩個所述定位桿外壁活動連接有移動框，所述移動框前后兩側相對應定位桿下側均分別螺紋連接有螺紋桿。
5、優選的，所述螺紋桿一端與左側一角支架通過軸承活動連接，兩個所述螺紋桿另一端活動貫穿并延伸至支架外側固定連接有第一電動機。
6、優選的，所述移動框底板上表面通過軸承活動連接有轉動軸，所述轉動軸一端固定連接有斜齒輪套筒，所述移動框底板上表面相對應斜齒輪套筒左側固定連接有第二電動機。
7、優選的，所述第二電動機輸出軸固定連接有錐齒輪，所述錐齒輪外表面與斜齒輪套筒外表面嚙合，所述斜齒輪套筒內壁固定連接有抽氣機。
8、優選的，所述抽氣機出風口固定連接有氣管，所述氣管一端固定連接有真空吸盤，所述真空吸盤上側活動連接有晶圓。
9、優選的，所述氣管外側固定連接有支撐管，所述支撐管外壁與移動槽內壁活動連接。
10、與現有技術相比，本技術的有益效果是：
11、1、本技術通過將去邊箱、涂膠架和烘干箱一體化實現了對晶體進行涂膠、烘干、去邊的自動一體化操作，提高了工作效率，同時設置可調節去邊刀，可根據晶圓不同的厚度調節可調節去邊刀的刀頭實現對不同晶圓的去邊處理，增強了整體裝置的實用性；
12、2、本技術同時還增設涂膠輥筒，涂膠輥筒將膠體均勻的涂抹到晶體表面，涂膠輥筒內部具有加熱裝置，放置在對晶圓涂膠過程中膠體發生冷凝，從而造成對晶體表面涂膠的不均勻。
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1.一種涂膠去邊機構，包括支撐臺(2)，其特征在于：所述支撐臺(2)下表面四個角均分別固定連接有支架(1)，所述支撐臺(2)上表面中心位置開設有移動槽(14)，所述支撐臺(2)上表面左側固定連接有去邊箱(3)，所述去邊箱(3)左側內壁中心位置固定連接有可調節去邊刀(26)，所述去邊箱(3)上側內壁固定連接有電動伸縮桿(28)，所述電動伸縮桿(28)一端通過軸承轉動連接有保護板(25)，所述去邊箱(3)一邊側板內壁固定連接有噴氣機(31)，所述噴氣機(31)上表面固定連接有噴氣管(24)，所述噴氣管(24)一端固定連接有噴頭(27)，所述支撐臺(2)上表面相對應去邊箱(3)右側固定連接有涂膠架(4)，所述涂膠架(4)中心位置活動連接有連接柱(7)，所述連接柱(7)上側固定連接有固定板(6)，所述固定板(6)下表面相對應連接柱(7)外壁兩側均分別固定連接有液壓缸(5)，所述連接柱(7)下側表面固定連接有存膠箱(29)，所述存膠箱(29)下表面均勻分布連接有多個噴膠頭，所述支撐臺(2)上表面相對應涂膠架(4)右側固定連接有烘干箱(8)。
2.根據權利要求1所述的一種涂膠去邊
3.根據權利要求2所述的一種涂膠去邊機構，其特征在于：兩個長邊所述支架(1)內壁中間均分別固定連接有定位桿(16)，兩個所述定位桿(16)外壁活動連接有移動框(11)，所述移動框(11)前后兩側相對應定位桿(16)下側均分別螺紋連接有螺紋桿(15)。
4.根據權利要求3所述的一種涂膠去邊機構，其特征在于：所述螺紋桿(15)一端與左側一角支架(1)通過軸承活動連接，兩個所述螺紋桿(15)另一端活動貫穿并延伸至支架(1)外側固定連接有第一電動機(10)。
5.根據權利要求4所述的一種涂膠去邊機構，其特征在于：所述移動框(11)底板上表面通過軸承活動連接有轉動軸(22)，所述轉動軸(22)一端固定連接有斜齒輪套筒(12)，所述移動框(11)底板上表面相對應斜齒輪套筒(12)左側固定連接有第二電動機(20)。
6.根據權利要求5所述的一種涂膠去邊機構，其特征在于：所述第二電動機(20)輸出軸固定連接有錐齒輪(21)，所述錐齒輪(21)外表面與斜齒輪套筒(12)外表面嚙合，所述斜齒輪套筒(12)內壁固定連接有抽氣機(19)。
7.根據權利要求6所述的一種涂膠去邊機構，其特征在于：所述抽氣機(19)出風口固定連接有氣管(23)，所述氣管(23)一端固定連接有真空吸盤(30)，所述真空吸盤(30)上側活動連接有晶圓(13)。
8.根據權利要求7所述的一種涂膠去邊機構，其特征在于：所述氣管(23)外側固定連接有支撐管(18)，所述支撐管(18)外壁與移動槽(14)內壁活動連接。
...【技術特征摘要】
1.一種涂膠去邊機構，包括支撐臺(2)，其特征在于：所述支撐臺(2)下表面四個角均分別固定連接有支架(1)，所述支撐臺(2)上表面中心位置開設有移動槽(14)，所述支撐臺(2)上表面左側固定連接有去邊箱(3)，所述去邊箱(3)左側內壁中心位置固定連接有可調節去邊刀(26)，所述去邊箱(3)上側內壁固定連接有電動伸縮桿(28)，所述電動伸縮桿(28)一端通過軸承轉動連接有保護板(25)，所述去邊箱(3)一邊側板內壁固定連接有噴氣機(31)，所述噴氣機(31)上表面固定連接有噴氣管(24)，所述噴氣管(24)一端固定連接有噴頭(27)，所述支撐臺(2)上表面相對應去邊箱(3)右側固定連接有涂膠架(4)，所述涂膠架(4)中心位置活動連接有連接柱(7)，所述連接柱(7)上側固定連接有固定板(6)，所述固定板(6)下表面相對應連接柱(7)外壁兩側均分別固定連接有液壓缸(5)，所述連接柱(7)下側表面固定連接有存膠箱(29)，所述存膠箱(29)下表面均勻分布連接有多個噴膠頭，所述支撐臺(2)上表面相對應涂膠架(4)右側固定連接有烘干箱(8)。
2.根據權利要求1所述的一種涂膠去邊機構，其特征在于：所述存膠箱(29)前后兩側外壁均分別固定連接有安裝板(9)，兩個所述安裝板(9)內壁通過軸承活動連接有涂膠輥筒(17)，所述涂膠輥筒(17)內層固定連接有加熱層。
3.根據權利要求2所述的一種涂膠去邊機構，其特征在于：兩個長邊所述支架(1)內...
【專利技術屬性】
技術研發人員：安禮余，王定國，
申請(專利權)人：宇弘研科技蘇州有限公司，
類型：新型
國別省市：
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