【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本公開大體涉及干燥設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種負(fù)壓干燥箱。
技術(shù)介紹
1、負(fù)壓干燥是一種將待干燥對(duì)象置于負(fù)壓或真空條件下進(jìn)行快速干燥的方法。利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕，當(dāng)待干燥對(duì)象處于真空負(fù)壓條件時(shí)，位于待干燥對(duì)象表面的溶劑的沸點(diǎn)降低，因此更容易汽化，可以加快干燥的速度。相較于常規(guī)的干燥方法，負(fù)壓干燥具有能夠縮短干燥時(shí)間、能夠應(yīng)用于成分或結(jié)構(gòu)復(fù)雜的待干燥對(duì)象(例如熱敏性材料、易氧化材料或者粉末狀材料)的干燥處理、降低干燥過程中待干燥對(duì)象被污染的可能性等優(yōu)點(diǎn)。
2、負(fù)壓干燥箱是基于負(fù)壓干燥原理的一種處理設(shè)備，也可以稱為真空干燥箱、減壓干燥裝置或者基板處理裝置。負(fù)壓干燥箱一般包括箱體和負(fù)壓機(jī)構(gòu)。其中，箱體可以形成容納待干燥物的容納腔室，負(fù)壓機(jī)構(gòu)可以控制容納腔室內(nèi)部的壓力變化。
3、然而，現(xiàn)有的負(fù)壓干燥箱在真空負(fù)壓過程中，箱體內(nèi)部的氣體流動(dòng)的均勻性并不一致，容易導(dǎo)致待干燥物上的溶劑結(jié)晶不均勻，無法達(dá)到真空干燥的需求。因此，需要一種能夠引導(dǎo)氣體均勻流動(dòng)的從而對(duì)待干燥物上的溶劑進(jìn)行均勻結(jié)晶的負(fù)壓干燥箱。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本公開是有鑒于上述的狀況而提出的，其目的在于提供一種在負(fù)壓環(huán)境下能夠引導(dǎo)氣體均勻流動(dòng)的對(duì)待干燥物上的溶劑進(jìn)行均勻結(jié)晶的負(fù)壓干燥箱。
2、為此，本公開提供了一種負(fù)壓干燥箱，其包括具有第一腔室的箱體、布置在所述第一腔室內(nèi)用于支承待干燥物的支承機(jī)構(gòu)、與所述支承機(jī)構(gòu)配合以形成將待干燥物容納在內(nèi)的第二腔室的氣流引導(dǎo)機(jī)構(gòu)、以及與所述第一腔室連通的用于形成負(fù)壓的
3、在本公開中，罩殼和支承機(jī)構(gòu)彼此之間配合能夠形成將待干燥物容納在內(nèi)的第二腔室，當(dāng)負(fù)壓機(jī)構(gòu)工作時(shí)，負(fù)壓氣流經(jīng)由第二腔室進(jìn)入第一腔室的過程中，負(fù)壓氣流經(jīng)過多個(gè)分隔部形成呈網(wǎng)格式排布的多個(gè)氣流區(qū)間被分散成均勻的氣流，氣流通過通孔后再經(jīng)過分流部進(jìn)行進(jìn)一步分散，使氣體的流動(dòng)更加均勻，以此能夠?qū)Υ稍镂锷系娜軇└泳鶆虻剡M(jìn)行干燥結(jié)晶。
4、另外，在本公開所涉及的負(fù)壓干燥箱中，可選地，所述氣流引導(dǎo)機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置于所述分流部且與所述分流部形成導(dǎo)流腔的導(dǎo)流部，所述導(dǎo)流部具有與所述導(dǎo)流腔連通的氣孔。在這種情況下，負(fù)壓氣流經(jīng)由分流部進(jìn)入導(dǎo)流腔，再?gòu)膶?dǎo)流部的氣孔流出，能夠進(jìn)一步地對(duì)氣流進(jìn)行分散。
5、另外，在本公開所涉及的負(fù)壓干燥箱中，可選地，所述氣孔的數(shù)量為多個(gè)，并且多個(gè)氣孔沿著所述導(dǎo)流腔的周向均勻分布。由此，能夠使經(jīng)過導(dǎo)流腔流入第一腔室的氣流更加均勻。
6、另外，在本公開所涉及的負(fù)壓干燥箱中，可選地，形成在各個(gè)氣流區(qū)間內(nèi)的負(fù)壓、以及氣體流速大致相同。由此，能夠均勻地對(duì)待干燥物上的溶劑進(jìn)行干燥。
7、另外，在本公開所涉及的負(fù)壓干燥箱中，可選地，所述分隔部的厚度與所述分隔部和待干燥物之間的距離之比為預(yù)定比值。在這種情況下，待干燥物上的溶劑不會(huì)與分隔部直接接觸，可以預(yù)防待干燥物上的溶劑部分干燥不充分；同時(shí)分隔部與待干燥物之間相隔的預(yù)定距離使得氣體流動(dòng)能夠更好地限制在各個(gè)分隔部所形成的氣流區(qū)間內(nèi)，從而減少不同氣流區(qū)間之間的氣體流通，使得各個(gè)分隔部之間的氣體流動(dòng)更加均勻。
8、另外，在本公開所涉及的負(fù)壓干燥箱中，可選地，所述分流部以貼合于所述罩殼的方式設(shè)置在所述多個(gè)分隔部的上方。在這種情況下，能夠便于氣流區(qū)間內(nèi)的氣體通過罩殼上的通孔進(jìn)入分流部，并且在進(jìn)入分流部后立即擴(kuò)散，使得氣體流動(dòng)更加均勻。
9、另外，在本公開所涉及的負(fù)壓干燥箱中，可選地，所述支承機(jī)構(gòu)具有導(dǎo)流板，在沿著正交于所述導(dǎo)流板的方向上進(jìn)行投影，所述導(dǎo)流板覆蓋所述氣流引導(dǎo)機(jī)構(gòu)、以及所述負(fù)壓機(jī)構(gòu)與所述第一腔室進(jìn)行氣流交換的連通處。在這種情況下，導(dǎo)流板與罩殼配合能夠更好地形成第二腔室以對(duì)待干燥物進(jìn)行干燥，另外，負(fù)壓機(jī)構(gòu)與第一腔室進(jìn)行氣流交換的連通處位于導(dǎo)流板的正下方，當(dāng)負(fù)壓機(jī)構(gòu)進(jìn)行抽吸時(shí)，由于導(dǎo)流板的阻擋，能夠使產(chǎn)生的負(fù)壓吸附力均勻分散在導(dǎo)流板的四周，從而使氣體從導(dǎo)流板的四周均勻流動(dòng)至負(fù)壓機(jī)構(gòu)與第一腔室進(jìn)行氣流交換的連通處，從而能夠更均勻地對(duì)待干燥物上的溶劑進(jìn)行干燥。
10、另外，在本公開所涉及的負(fù)壓干燥箱中，可選地，所述多個(gè)通孔與所述多個(gè)分隔部以相同的陣列方式進(jìn)行排布。由此，氣體流動(dòng)會(huì)更加均勻，能夠更均勻地對(duì)待干燥物上的溶劑進(jìn)行干燥。
11、另外，在本公開所涉及的負(fù)壓干燥箱中，可選地，各個(gè)分隔部所形成的氣流區(qū)間形狀和尺寸一致。在這種情況下，各個(gè)分隔部所形成的氣流區(qū)間的氣流流速大致相同，能夠更均勻地對(duì)待干燥物上的溶劑進(jìn)行干燥。
12、另外，在本公開所涉及的負(fù)壓干燥箱中，可選地，還包括將所述第一腔室密封的第一密封部和將所述第二腔室密封的第二密封部。由此，能夠通過第一密封部和第二密封部提高第一腔室和第二腔室的氣密性。
13、根據(jù)本公開，能夠提供一種在負(fù)壓環(huán)境下引導(dǎo)氣體均勻流動(dòng)的對(duì)待干燥物上的溶劑進(jìn)行均勻結(jié)晶的負(fù)壓干燥箱。
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1.一種負(fù)壓干燥箱，其特征在于，包括具有第一腔室的箱體、布置在所述第一腔室內(nèi)用于支承待干燥物的支承機(jī)構(gòu)、與所述支承機(jī)構(gòu)配合以形成將待干燥物容納在內(nèi)的第二腔室的氣流引導(dǎo)機(jī)構(gòu)、以及與所述第一腔室連通的用于形成負(fù)壓的負(fù)壓機(jī)構(gòu)，所述氣流引導(dǎo)機(jī)構(gòu)包括罩設(shè)于所述支承機(jī)構(gòu)以形成所述第二腔室的罩殼、形成于所述罩殼的多個(gè)通孔、形成在所述罩殼內(nèi)且與所述多個(gè)通孔分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)分隔部、以及設(shè)置于所述罩殼的用于分散氣流的分流部，所述多個(gè)分隔部形成呈網(wǎng)格式排布的多個(gè)氣流區(qū)間，所述第二腔室依次經(jīng)由所述氣流區(qū)間、所述通孔、以及所述分流部而與所述第一腔室連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓干燥箱，其特征在于：所述氣流引導(dǎo)機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置于所述分流部且與所述分流部形成導(dǎo)流腔的導(dǎo)流部，所述導(dǎo)流部具有與所述導(dǎo)流腔連通的氣孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的負(fù)壓干燥箱，其特征在于：所述氣孔的數(shù)量為多個(gè)，并且多個(gè)氣孔沿著所述導(dǎo)流腔的周向均勻分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓干燥箱，其特征在于：形成在各個(gè)氣流區(qū)間內(nèi)的負(fù)壓、以及氣體流速大致相同。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓干燥箱，其
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓干燥箱，其特征在于：所述分流部以貼合于所述罩殼的方式設(shè)置在所述多個(gè)分隔部的上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓干燥箱，其特征在于：所述支承機(jī)構(gòu)具有導(dǎo)流板，在沿著正交于所述導(dǎo)流板的方向上進(jìn)行投影，所述導(dǎo)流板覆蓋所述氣流引導(dǎo)機(jī)構(gòu)、以及所述負(fù)壓機(jī)構(gòu)與所述第一腔室進(jìn)行氣流交換的連通處。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓干燥箱，其特征在于：所述多個(gè)通孔與所述多個(gè)分隔部以相同的陣列方式進(jìn)行排布。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓干燥箱，其特征在于：各個(gè)分隔部所形成的氣流區(qū)間形狀和尺寸一致。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓干燥箱，其特征在于：還包括將所述第一腔室密封的第一密封部和將所述第二腔室密封的第二密封部。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種負(fù)壓干燥箱，其特征在于，包括具有第一腔室的箱體、布置在所述第一腔室內(nèi)用于支承待干燥物的支承機(jī)構(gòu)、與所述支承機(jī)構(gòu)配合以形成將待干燥物容納在內(nèi)的第二腔室的氣流引導(dǎo)機(jī)構(gòu)、以及與所述第一腔室連通的用于形成負(fù)壓的負(fù)壓機(jī)構(gòu)，所述氣流引導(dǎo)機(jī)構(gòu)包括罩設(shè)于所述支承機(jī)構(gòu)以形成所述第二腔室的罩殼、形成于所述罩殼的多個(gè)通孔、形成在所述罩殼內(nèi)且與所述多個(gè)通孔分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)分隔部、以及設(shè)置于所述罩殼的用于分散氣流的分流部，所述多個(gè)分隔部形成呈網(wǎng)格式排布的多個(gè)氣流區(qū)間，所述第二腔室依次經(jīng)由所述氣流區(qū)間、所述通孔、以及所述分流部而與所述第一腔室連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓干燥箱，其特征在于：所述氣流引導(dǎo)機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置于所述分流部且與所述分流部形成導(dǎo)流腔的導(dǎo)流部，所述導(dǎo)流部具有與所述導(dǎo)流腔連通的氣孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的負(fù)壓干燥箱，其特征在于：所述氣孔的數(shù)量為多個(gè)，并且多個(gè)氣孔沿著所述導(dǎo)流腔的周向均勻分布。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的負(fù)壓干燥箱...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：丁中山，梁延馳，張恒，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：蘇州材裝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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