【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種cvd設備，具體為一種附帶爐管熱防護功能的cvd設備，屬于半導體生產設備。
技術介紹
1、化學氣相淀積(cvd)是制備材料的一種重要的方法。由于所需要制備的材料特性不同，對生長設備的溫度要求不同。針對一些具體的半導體材料，例如aln、bn、gan以及它們的合金等，生長溫度一般要高于1000℃。隨著al或者b組分的提高，所需要的生長溫度也需要提高。
2、現公開了專利號為：cn209260256u的一種高溫cvd設備，其包括：具有進氣口和排氣口的反應管，在反應管的外部設置依次有第一加熱機構、第二加熱機構和保溫機構，在反應管的內部具有與第一加熱機構、第二加熱機構和保溫機構分別對應形成的第一溫度區域、第二溫度區域和第三溫度區域，以及，至少在第二加熱機構與反應管之間還設置有冷卻機構，在反應管內部還設置有隔熱機構，且隔熱機構與反應管的管壁之間具有間隙。本技術提供的高溫cvd設備結合了不同的加熱模式對反應設備進行加熱，同時采用設置隔熱機構防止高溫對石英材質反應管外壁的損傷。
3、上述方案存在諸多益處，但當管道進行對接時，往往通過單一的密封圈進行密封處理，導致密封處往往密封效果不佳，無法達到熱防護的效果；并且管道固定對接時，無法達到快速對接固定。
技術實現思路
1、(一)解決的技術問題
2、本技術的目的就在于為了解決上述問題而提供一種附帶爐管熱防護功能的cvd設備，以解決現有技術中但當管道進行對接時，往往通過單一的密封圈進行密封處理，導致密封處往往
3、(二)技術方案
4、本技術通過以下技術方案予以實現：一種附帶爐管熱防護功能的cvd設備，包括密封套管和爐管，所述爐管外側固定連接有爐管外環，所述密封套管一端設置有插接端，所述插接端延伸至爐管外環內部，所述爐管延伸至插接端內部，所述密封套管與爐管外環之間設有密封組件；
5、所述密封套管外側固定連接有定位板，所述定位板一側固定連接有插板，所述爐管外側固定連接有支撐板，所述支撐板一側設有用于對插板固定的限位組件。
6、優選的，所述密封組件包括第一密封環，所述第一密封環套設于爐管外側并設置于爐管外環內部，所述第一密封環一側設有雙錐形密封隔環，所述雙錐形密封隔環套設于爐管外側，所述雙錐形密封隔環一側設有第二密封環，所述第二密封環套設于爐管外側并設置于爐管外環內部，從而插接端和雙錐形密封隔環，對第二密封環和第一密封環進行擠壓，從而提高密封效果。
7、優選的，所述雙錐形密封隔環豎截面設置為雙錐形，提高密封性。
8、優選的，所述限位組件包括定位框，所述定位框固定連接于支撐板一側，所述插板外側開設有定位槽，所述支撐板外側開設有滑槽，所述插板穿過支撐板并延伸至定位框內部。
9、優選的，所述限位組件還包括插桿，所述插桿貫穿定位框頂部并延伸至定位框內部，所述插桿與定位框滑動連接，所述插桿與插板外側開設有定位槽相適配，所述插桿外側固定連接有擋板，所述插桿外側套設有彈簧，所述彈簧兩端分別與于定位框和擋板固定連接，有利于通過彈簧推動插桿進行固定。
10、優選的，所述密封套管外側設有多個連接板，所述爐管外環外側固定連接有多個對接板。
11、優選的，所述連接板與對接板之間設有密封套管固定板，所述連接板外側設有螺栓，螺栓依次貫穿連接板、密封套管固定板和對接板，通過密封套管固定板進一步提高密封效果。
12、本技術提供了一種附帶爐管熱防護功能的cvd設備，其具備的有益效果如下：
13、1、該附帶爐管熱防護功能的cvd設備，通過雙錐形密封隔環與第一密封環進行擠壓，最后塞入第二密封環，并將密封套管一端設置的插接端插入爐管外側的爐管外環內部，使插接端與第二密封環充分接觸，從而提高通過第二密封環、雙錐形密封隔環和第一密封環進行雙重密封的密封效果。
14、2、該附帶爐管熱防護功能的cvd設備，通過定位板一側固定連接的插板插入支撐板和定位框內部，再通過拉動插桿，使插桿插入插板外側的定位槽，從而使爐管與密封套管進行快速對接定位，再通過螺栓穿過連接板、密封套管固定板和對接板，對密封套管和爐管進行快速安裝固定，并且通過密封套管固定板進一步密封。
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1.一種附帶爐管熱防護功能的CVD設備，包括密封套管(1)和爐管(2)，其特征在于：所述爐管(2)外側固定連接有爐管外環(3)，所述密封套管(1)一端設置有插接端(101)，所述插接端(101)延伸至爐管外環(3)內部，所述爐管(2)延伸至插接端(101)內部，所述密封套管(1)與爐管外環(3)之間設有密封組件；
2.根據權利要求1所述的一種附帶爐管熱防護功能的CVD設備，其特征在于：所述密封組件包括第一密封環(5)，所述第一密封環(5)套設于爐管(2)外側并設置于爐管外環(3)內部，所述第一密封環(5)一側設有雙錐形密封隔環(4)，所述雙錐形密封隔環(4)套設于爐管(2)外側，所述雙錐形密封隔環(4)一側設有第二密封環(6)，所述第二密封環(6)套設于爐管(2)外側并設置于爐管外環(3)內部。
3.根據權利要求2所述的一種附帶爐管熱防護功能的CVD設備，其特征在于：所述雙錐形密封隔環(4)豎截面設置為雙錐形。
4.根據權利要求1所述的一種附帶爐管熱防護功能的CVD設備，其特征在于：所述限位組件包括定位框(10)，所述定位框(10)固定連接于支
5.根據權利要求4所述的一種附帶爐管熱防護功能的CVD設備，其特征在于：所述限位組件還包括插桿(11)，所述插桿(11)貫穿定位框(10)頂部并延伸至定位框(10)內部，所述插桿(11)與定位框(10)滑動連接，所述插桿(11)與插板(12)外側開設有定位槽相適配，所述插桿(11)外側固定連接有擋板(13)，所述插桿(11)外側套設有彈簧(14)，所述彈簧(14)兩端分別與于定位框(10)和擋板(13)固定連接。
6.根據權利要求1所述的一種附帶爐管熱防護功能的CVD設備，其特征在于：所述密封套管(1)外側設有多個連接板(102)，所述爐管外環(3)外側固定連接有多個對接板(201)。
7.根據權利要求6所述的一種附帶爐管熱防護功能的CVD設備，其特征在于：所述連接板(102)與對接板(201)之間設有密封套管固定板(7)，所述連接板(102)外側設有螺栓，螺栓依次貫穿連接板(102)、密封套管固定板(7)和對接板(201)。
...【技術特征摘要】
1.一種附帶爐管熱防護功能的cvd設備，包括密封套管(1)和爐管(2)，其特征在于：所述爐管(2)外側固定連接有爐管外環(3)，所述密封套管(1)一端設置有插接端(101)，所述插接端(101)延伸至爐管外環(3)內部，所述爐管(2)延伸至插接端(101)內部，所述密封套管(1)與爐管外環(3)之間設有密封組件；
2.根據權利要求1所述的一種附帶爐管熱防護功能的cvd設備，其特征在于：所述密封組件包括第一密封環(5)，所述第一密封環(5)套設于爐管(2)外側并設置于爐管外環(3)內部，所述第一密封環(5)一側設有雙錐形密封隔環(4)，所述雙錐形密封隔環(4)套設于爐管(2)外側，所述雙錐形密封隔環(4)一側設有第二密封環(6)，所述第二密封環(6)套設于爐管(2)外側并設置于爐管外環(3)內部。
3.根據權利要求2所述的一種附帶爐管熱防護功能的cvd設備，其特征在于：所述雙錐形密封隔環(4)豎截面設置為雙錐形。
4.根據權利要求1所述的一種附帶爐管熱防護功能的cvd設備，其特征在于：所述限位組件包括定位框(10)，所述定位框(10)固定連接于支撐板(9)一...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張義穎，雍曉龍，何奇，
申請(專利權)人：蘇州鎵耀半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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