【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)屬于半導(dǎo)體晶圓加工領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)。
技術(shù)介紹
1、晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上加工成各種電路元件結(jié)構(gòu)，可以成為有特定電性功能的產(chǎn)品。晶圓表面一般附著一層大約2um的氧化鋁（al2o3）和甘油混合液保護(hù)層,在制作電路結(jié)構(gòu)前，必須對(duì)晶圓進(jìn)行化學(xué)刻蝕和表面清洗。
2、目前，刻蝕液都是預(yù)先調(diào)配好，然后存放在刻蝕液容器內(nèi)，使用時(shí)，用泵體泵出，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)刻蝕，但實(shí)際上，刻蝕液的原料有多種，原料儲(chǔ)存所需要的溫度以及原料各自的密度都不同，提前配置時(shí)，會(huì)存在分層現(xiàn)象，因此，在使用前，都需要對(duì)刻蝕液進(jìn)行攪拌，以使其混合均勻，但分層現(xiàn)象的出現(xiàn)，會(huì)導(dǎo)致刻蝕液的攪拌效率進(jìn)一步下降，降低了工作效率。
3、為避免上述技術(shù)問題，確有必要提供一種半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)以克服現(xiàn)有技術(shù)中的所述缺陷。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)的目的在于提供一種半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，旨在解決刻蝕液出現(xiàn)分層現(xiàn)象的問題。
2、本專利技術(shù)是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的頂部固定連接有支撐架，所述支撐架的頂部固定連接有多個(gè)儲(chǔ)料倉，所述工作臺(tái)的頂部設(shè)置有刻蝕盆，刻蝕盆用于放置半導(dǎo)體晶圓，還包括：
3、配料機(jī)構(gòu)，所述配料機(jī)構(gòu)安裝在支撐架上，所述配料機(jī)構(gòu)位于多個(gè)儲(chǔ)料倉的下方，多個(gè)所述儲(chǔ)料倉的輸出端均通過第一輸料管與配料機(jī)構(gòu)連通，配料機(jī)構(gòu)用于對(duì)多個(gè)儲(chǔ)料倉內(nèi)的原料進(jìn)行按比例的
4、初步混合箱，所述初步混合箱通過第一連接桿固定連接在支撐架上，所述配料機(jī)構(gòu)的多個(gè)輸出口均通過第二輸料管與初步混合箱連通，初步混合箱用于對(duì)配比后的原料進(jìn)行初步混合；
5、二次混合箱，所述二次混合箱通過第二連接桿固定連接在支撐架上，所述初步混合箱通過第三輸料管與二次混合箱連通，二次混合箱的內(nèi)部還設(shè)置有加熱盤，所述二次混合箱的側(cè)面設(shè)置有溫度傳感器，溫度傳感器用于檢測(cè)二次混合箱內(nèi)的原料的溫度，并使原料保持恒溫，所述二次混合箱的側(cè)面連通有出料管，所述出料管上設(shè)置有閥門，所述出料管的出口位于刻蝕盆的上方；
6、攪拌機(jī)構(gòu)，所述攪拌機(jī)構(gòu)安裝在二次混合箱上，所述攪拌機(jī)構(gòu)的輸出端伸入到二次混合箱的內(nèi)部，攪拌機(jī)構(gòu)用于對(duì)二次混合箱內(nèi)的原料進(jìn)行均勻攪拌。
7、進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述配料機(jī)構(gòu)包括：
8、配料箱，所述配料箱固定連接在支撐架上；
9、配料輥，所述配料箱的內(nèi)部開設(shè)有圓形腔，所述配料輥轉(zhuǎn)動(dòng)連接在圓形腔的內(nèi)部，所述配料輥的側(cè)面開設(shè)有多個(gè)盛料槽，多個(gè)所述盛料槽的容積各不相同，且多個(gè)盛料槽之間所能夠容納原料的質(zhì)量比與刻蝕液各個(gè)原料之間的質(zhì)量比相同，多個(gè)所述第一輸料管分別能夠與多個(gè)盛料槽連通，多個(gè)所述第二輸料管分別能夠與多個(gè)盛料槽連通；
10、間歇上料機(jī)構(gòu)，所述間歇上料機(jī)構(gòu)安裝在支撐架上，所述間歇上料機(jī)構(gòu)的輸出端與配料輥伸出支撐架的一端傳動(dòng)連接，間歇上料機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)配料輥轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使盛料槽與第一輸料管連通，儲(chǔ)料倉內(nèi)的原料通過第一輸料管流入盛料槽內(nèi)，或使盛料槽與第二輸料管連通，盛料槽內(nèi)的原料通過第二輸料管輸送到初步混合箱內(nèi)，并留下充足的時(shí)間供盛料槽上料或卸料；
11、定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)安裝在支撐架和配料輥之間，在盛料槽和第一輸料管連通時(shí)以及在盛料槽和第二輸料管連通時(shí)，定位機(jī)構(gòu)用于對(duì)配料輥進(jìn)行精準(zhǔn)定位，使盛料槽能夠準(zhǔn)確地分別與第二輸料管和第一輸料管連通。
12、進(jìn)一步的技術(shù)方案，多個(gè)所述盛料槽為一組配料槽，所述配料輥上的配料槽的數(shù)量有兩組，在一組配料槽卸料的同時(shí)，另一組配料槽會(huì)上料，提高了配料效率。
13、進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述間歇上料機(jī)構(gòu)包括固定連接在支撐架上的安裝板，所述安裝板上固定安裝有第一電動(dòng)機(jī)，所述第一電動(dòng)機(jī)的輸出軸固定連接有不完全齒輪，所述配料輥伸出支撐架的一端固定連接有直齒輪，所述不完全齒輪能夠和直齒輪嚙合，當(dāng)不完全齒輪帶動(dòng)直齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)180°后，所述不完全齒輪和直齒輪脫離嚙合狀態(tài)。
14、進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述定位機(jī)構(gòu)包括固定連接在支撐架上的限位盤，所述限位盤的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有定位盤，所述定位盤和配料輥伸出支撐架的一端固定連接，所述定位盤的側(cè)面開設(shè)有安裝槽，所述安裝槽的開口方向和盛料槽的開口方向相同或相背，所述安裝槽的內(nèi)部滑動(dòng)連接有定位柱，所述定位柱和安裝槽之間連接有壓縮彈簧，所述限位盤的內(nèi)側(cè)面開設(shè)有兩個(gè)對(duì)稱的限位槽，兩個(gè)所述限位槽的開口方向和盛料槽的開口方向相同，所述定位柱與限位槽卡接。
15、進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述配料輥伸出定位盤的一端固定連接有手輪，該裝置可以手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)配料輥，能夠精確地配置刻蝕液，由于第一電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)速太快，會(huì)導(dǎo)致無法配置合適質(zhì)量的刻蝕液，該裝置避免了配置過多的刻蝕液而造成的浪費(fèi)，當(dāng)需要的刻蝕液較少時(shí)，也可以手動(dòng)配置。
16、進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述攪拌機(jī)構(gòu)包括固定安裝在二次混合箱底部的第二電動(dòng)機(jī)，所述第二電動(dòng)機(jī)的輸出軸固定連接有攪拌軸，所述攪拌軸伸入二次混合箱內(nèi)部的一端固定連接有攪拌桿。
17、進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述刻蝕盆的底部固定連接有若干個(gè)頂柱，若干個(gè)所述頂柱的頂部均倒有圓角，放置晶圓時(shí)，晶圓會(huì)放置到頂柱上，頂柱的頂部與晶圓為點(diǎn)接觸，可以對(duì)晶圓兩側(cè)同時(shí)進(jìn)行刻蝕。
18、相較于現(xiàn)有技術(shù)，本專利技術(shù)的有益效果如下：
19、1.該裝置通過設(shè)置配料輥和盛料槽，并使盛料槽中的各原料質(zhì)量的比例和現(xiàn)有的刻蝕液的原料比例相同，提高了該裝置配置的刻蝕液的精確度，使刻蝕液的質(zhì)量更好；
20、2.通過設(shè)置初步混合箱，使盛料槽和第二輸料管連通，各個(gè)盛料槽內(nèi)的原料通過第二輸料管流入初步混合箱中，各原料在初步混合箱中進(jìn)行初步混合，即可得到一份量的刻蝕液，大大減少了后續(xù)對(duì)原料的攪拌時(shí)間，該裝置通過現(xiàn)場(chǎng)配置刻蝕液，并大大縮短攪拌的時(shí)間，提高了工作效率；
21、3.使不完全齒輪和直齒輪脫離嚙合狀態(tài)，即可手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪，手輪帶動(dòng)配料輥轉(zhuǎn)動(dòng)，即可手動(dòng)配置刻蝕液，避免了配置過多的刻蝕液而造成的浪費(fèi)；
22、4.通過設(shè)置定位盤、限位盤、定位柱、壓縮彈簧和限位槽，使盛料槽能夠準(zhǔn)確地分別與第二輸料管和第一輸料管連通，避免由于盛料槽偏移導(dǎo)致的原料殘留問題，從而使配料更精確。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，包括工作臺(tái)，其特征在于，所述工作臺(tái)的頂部固定連接有支撐架，所述支撐架的頂部固定連接有多個(gè)儲(chǔ)料倉，所述工作臺(tái)的頂部設(shè)置有刻蝕盆，還包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，其特征在于，所述配料機(jī)構(gòu)包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，其特征在于，多個(gè)所述盛料槽為一組配料槽，所述配料輥上的配料槽的數(shù)量有兩組。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，其特征在于，所述間歇上料機(jī)構(gòu)包括固定連接在支撐架上的安裝板，所述安裝板上固定安裝有第一電動(dòng)機(jī)，所述第一電動(dòng)機(jī)的輸出軸固定連接有不完全齒輪，所述配料輥伸出支撐架的一端固定連接有直齒輪，所述不完全齒輪能夠和直齒輪嚙合。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，其特征在于，所述定位機(jī)構(gòu)包括固定連接在支撐架上的限位盤，所述限位盤的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有定位盤，所述定位盤和配料輥伸出支撐架的一端固定連接，所述定位盤的側(cè)面開設(shè)有安裝槽，所述安裝槽的內(nèi)部滑動(dòng)連接有定位柱，所述定位柱和安裝槽之間連接有壓縮彈簧，所述限位盤的內(nèi)側(cè)
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，其特征在于，所述配料輥伸出定位盤的一端固定連接有手輪。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，其特征在于，所述攪拌機(jī)構(gòu)包括固定安裝在二次混合箱底部的第二電動(dòng)機(jī)，所述第二電動(dòng)機(jī)的輸出軸固定連接有攪拌軸，所述攪拌軸伸入二次混合箱內(nèi)部的一端固定連接有攪拌桿。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，其特征在于，所述刻蝕盆的底部固定連接有若干個(gè)頂柱，若干個(gè)所述頂柱的頂部均倒有圓角。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，包括工作臺(tái)，其特征在于，所述工作臺(tái)的頂部固定連接有支撐架，所述支撐架的頂部固定連接有多個(gè)儲(chǔ)料倉，所述工作臺(tái)的頂部設(shè)置有刻蝕盆，還包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，其特征在于，所述配料機(jī)構(gòu)包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，其特征在于，多個(gè)所述盛料槽為一組配料槽，所述配料輥上的配料槽的數(shù)量有兩組。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，其特征在于，所述間歇上料機(jī)構(gòu)包括固定連接在支撐架上的安裝板，所述安裝板上固定安裝有第一電動(dòng)機(jī)，所述第一電動(dòng)機(jī)的輸出軸固定連接有不完全齒輪，所述配料輥伸出支撐架的一端固定連接有直齒輪，所述不完全齒輪能夠和直齒輪嚙合。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體晶圓在線配液刻蝕機(jī)，其特征在于，所述定位機(jī)構(gòu)...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉金升，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：蘇州施密科微電子設(shè)備有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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