【技術實現步驟摘要】
本申請涉及薄膜制備，尤其涉及一種支撐機構、支撐裝置和薄膜制備設備。
技術介紹
1、在對基體的全表面制備薄膜時，需要用支撐裝置對基體進行支撐。支撐裝置包括多個尖點，由多個尖點對基體進行支撐。
2、但是，現有的支撐裝置通過多個尖點對基體進行支撐時，支撐裝置與基體的接觸處的位置是固定不變的，使得基體表面與支撐裝置的接觸處無法裸露，導致無法對基體的全表面一次性完成薄膜制備。并且，一個支撐裝置只能支撐一個基體。
技術實現思路
1、有鑒于此，本申請實施例提供了一種支撐機構、支撐裝置和薄膜制備設備，以解決支撐裝置與基體的接觸處的位置固定不變，使得基體表面與支撐裝置的接觸處無法裸露，導致無法對基體的全表面一次性完成薄膜制備的問題。
2、第一方面，本申請一實施例提供了一種支撐機構，應用于薄膜制備設備，薄膜制備設備用于對基體進行鍍膜，支撐機構被配置為對基體進行支撐，基體包括管狀結構；其中，支撐機構包括：長條形的支撐件，基體的管狀結構套設在支撐件上；旋轉組件，與支撐件連接，帶動支撐件繞第一軸線旋轉，第一軸線與支撐件的延伸方向平行；其中，在支撐件旋轉的過程中，支撐件沿管狀結構的內壁滾動，以使支撐件與基體之間的接觸位置發生變化，支撐件上的每一點與第一軸線的距離均保持不變。
3、結合第一方面，在第一方面的某些實現方式中，支撐件為絲狀，絲狀的支撐件一端與旋轉組件連接，另一端穿過管狀結構并與旋轉組件連接，以利用旋轉組件張緊絲狀的支撐件。
4、結合第一方面，在第一方面
5、結合第一方面，在第一方面的某些實現方式中，連接盤包括環狀主體和多個固定桿；其中，多個固定桿呈輻射狀排布，多個固定桿的第一端均與環狀主體連接，多個固定桿的第二端連接在一起。
6、結合第一方面，在第一方面的某些實現方式中，旋轉組件還包括平行設置的兩個支撐盤，兩個支撐盤之間形成第二容納空間，用于容納兩個連接盤，支撐盤與連接盤平行設置且可拆卸連接。
7、結合第一方面，在第一方面的某些實現方式中，旋轉組件還包括多個連接桿，多個連接桿設置于兩個支撐盤之間，每個連接桿的兩端分別與兩個支撐盤連接；其中，多個連接桿包括卡槽，連接盤的邊緣插入卡槽。
8、結合第一方面，在第一方面的某些實現方式中，支撐件上套設有多個基體；其中，旋轉組件還包括間隔件，間隔件的兩端分別連接兩個連接桿，以分隔相鄰的基體。
9、結合第一方面，在第一方面的某些實現方式中，支撐件的數量為多個，多個支撐件平行設置。
10、第二方面，本申請一實施例提供了一種支撐裝置，支撐裝置應用于薄膜制備設備，薄膜制備設備用于對基體進行鍍膜，支撐裝置被配置為對基體進行支撐，基體包括管狀結構；其中，支撐裝置包括：第一方面任意一項所述的支撐機構；驅動模塊，與支撐機構連接，被配置為驅動支撐機構旋轉。
11、第三方面，本申請一實施例提供了一種薄膜制備設備，包括：第二方面所述的支撐裝置。
12、本申請實施例提供的支撐機構，包括長條形的支撐件和旋轉組件，基體的管狀結構套設在支撐件上，旋轉組件帶動支撐件繞第一軸線旋轉，在支撐件旋轉的過程中，支撐件的與基體接觸的初始表面相對支撐件自身會發生旋轉，在基體自身的重力、以及支撐件與管狀結構的內壁之間的摩擦力的作用下，支撐件能夠相對于基體沿其管狀結構的內壁發生滾動，以使支撐件與基體之間的接觸位置發生變化，使得基體的表面可以在薄膜制備過程中能夠完全裸露，使得薄膜制備設備可以一次性完成對基體的全表面的薄膜制備，簡化了基體全表面薄膜制備的過程及工藝，提高了生產效率，支撐件為絲狀，絲狀的支撐件一端與旋轉組件連接，另一端穿過管狀結構并與旋轉組件連接，張緊絲狀的支撐件對基體進行支撐，減小了支撐件與基體管狀結構的內壁的接觸面積，使得基體的管狀結構的內壁更充分地暴露在腔室中，有利于基體的薄膜制備，提升了薄膜制備效率，并且，將支撐件穿過基體對基體進行支撐，有利于支撐件支撐不同形狀的具有管狀結構的基體，通過設置兩個平行的連接盤提供第一容納空間，有利于增加旋轉組件的容納空間，進而有利于增加支撐機構的容納空間，從而使支撐機構為更多數量的基體提供支撐。
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1.一種支撐機構，其特征在于，應用于薄膜制備設備，所述薄膜制備設備用于對基體進行鍍膜，所述支撐機構被配置為對所述基體進行支撐，所述基體包括管狀結構；
2.根據權利要求1所述的支撐機構，其特征在于，所述第一容納空間用于容納所述支撐件和所述基體，所述連接盤繞所述第一軸線旋轉；
3.根據權利要求2所述的支撐機構，其特征在于，所述連接盤包括環狀主體和多個固定桿；
4.根據權利要求3所述的支撐機構，其特征在于，所述旋轉組件還包括平行設置的兩個支撐盤，兩個所述支撐盤之間形成第二容納空間，用于容納兩個所述連接盤，所述支撐盤與所述連接盤平行設置且可拆卸連接。
5.根據權利要求4所述的支撐機構，其特征在于，所述旋轉組件還包括多個連接桿，多個所述連接桿設置于兩個所述支撐盤之間，每個所述連接桿的兩端分別與兩個所述支撐盤連接；
6.根據權利要求5所述的支撐機構，其特征在于，所述支撐件上套設有多個所述基體；
7.根據權利要求2所述的支撐機構，其特征在于，所述支撐件的數量為多個，多個所述支撐件平行設置。
8.一種支撐裝置，其
9.一種薄膜制備設備，其特征在于，包括：
...【技術特征摘要】
1.一種支撐機構，其特征在于，應用于薄膜制備設備，所述薄膜制備設備用于對基體進行鍍膜，所述支撐機構被配置為對所述基體進行支撐，所述基體包括管狀結構；
2.根據權利要求1所述的支撐機構，其特征在于，所述第一容納空間用于容納所述支撐件和所述基體，所述連接盤繞所述第一軸線旋轉；
3.根據權利要求2所述的支撐機構，其特征在于，所述連接盤包括環狀主體和多個固定桿；
4.根據權利要求3所述的支撐機構，其特征在于，所述旋轉組件還包括平行設置的兩個支撐盤，兩個所述支撐盤之間形成第二容納空間，用于容納兩個所述連接盤，所述支撐盤與所述連接盤平行設置且可拆卸連接。
【專利技術屬性】
技術研發人員：廖家豪，邱淋鵬，柴攀，萬強，
申請(專利權)人：湖南德智新材料有限公司，
類型：發明
國別省市：
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