【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及石英加工，尤其涉及一種石英圓片的自動(dòng)火焰拋光方法。
技術(shù)介紹
1、在石英半導(dǎo)體行業(yè)中，石英板材用于制作其所需部件，特別是石英圓片，因其形狀特性，其對夾具和拋光技術(shù)都有著超高要求，工藝過程中操作員通常需要反復(fù)調(diào)整裝夾部位并且用火焰進(jìn)行拋光來使外觀達(dá)到晶透接近零瑕疵質(zhì)量要求，不僅存在著人工拋光效率低以及成本高的問題，而且由于操作復(fù)雜，持續(xù)時(shí)間久，操作員容易在進(jìn)行火焰拋光的時(shí)候產(chǎn)生疲勞，而引起的操作不當(dāng)，導(dǎo)致石英圓片的拋光效果不合要求，或者因反復(fù)裝夾導(dǎo)致石英圓片產(chǎn)生的磕碰，出現(xiàn)缺口、劃傷并且拋光不均勻等外觀質(zhì)量問題或者經(jīng)過火焰拋光后板材發(fā)生變化產(chǎn)生變形，將導(dǎo)致后面的工序進(jìn)行不下去，板材只能報(bào)廢處理。
2、因此，亟需一種石英圓片的自動(dòng)火焰拋光方法以改善上述問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)的目的在于提供一種石英圓片的自動(dòng)火焰拋光方法，該方法用于提高石英圓片的拋光效率和均勻性，避免石英圓片拋光過程中反復(fù)裝夾而導(dǎo)致的磕碰問題。
2、第一方面，本專利技術(shù)提供一種石英圓片的自動(dòng)火焰拋光方法，包括：
3、將待拋光的石英圓片放置在夾具，所述夾具包括設(shè)有凹槽的滾輪，所述石英圓片的邊緣放置于所述凹槽內(nèi)；
4、控制拋光槍對準(zhǔn)所述石英圓片的表面；
5、在滾輪運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)所述石英圓片運(yùn)轉(zhuǎn)的同時(shí)，控制所述拋光槍噴射火焰并根據(jù)設(shè)定的移動(dòng)軌跡對所述石英圓片進(jìn)行自動(dòng)拋光。
6、本專利技術(shù)的方法有益效果為：通過將待拋光的石英圓片放置在夾具
7、可選的，所述的控制所述拋光槍噴射火焰包括：
8、根據(jù)所述石英圓片的厚度和直徑大小調(diào)節(jié)所述拋光槍噴射火焰的大小。其有益效果在于，基于石英圓片的厚度和直徑大小調(diào)節(jié)所述拋光槍噴射火焰的大小，能夠提高拋光的穩(wěn)定性，提高加工良率。
9、可選的，所述的根據(jù)設(shè)定的移動(dòng)軌跡對所述石英圓片進(jìn)行自動(dòng)拋光包括：
10、根據(jù)預(yù)設(shè)的時(shí)間間隔控制所述拋光槍沿著所述石英圓片的直徑方向逐圈向內(nèi)移動(dòng)對所述石英圓片進(jìn)行自動(dòng)拋光。其有益效果在于，通過設(shè)置根據(jù)預(yù)設(shè)的時(shí)間間隔控制所述拋光槍沿著所述石英圓片的直徑方向逐圈向內(nèi)移動(dòng)對所述石英圓片進(jìn)行自動(dòng)拋光，能夠使得拋光更加均勻，提高良率和效率，縮短產(chǎn)品交期。
11、可選的，所述滾輪包括滑動(dòng)滾輪、升降滾輪和固定滾輪；
12、所述滑動(dòng)滾輪、升降滾輪和固定滾輪從左至右依次間隔設(shè)置，滑動(dòng)滾輪和固定滾輪上的凹槽形成夾持區(qū)域，所述石英圓片的邊緣放置于所述夾持區(qū)域上。其有益效果在于，通過設(shè)置從左至右依次間隔設(shè)置一個(gè)主動(dòng)的滑動(dòng)滾輪和兩個(gè)從動(dòng)的固定滾輪，能夠避免石英圓片拋光過程中反復(fù)裝夾而導(dǎo)致的磕碰問題，而且穩(wěn)定性高。
13、可選的，所述滑動(dòng)滾輪和升降滾輪之間的間隔可調(diào)節(jié)。其有益效果在于，通過設(shè)置滑動(dòng)滾輪和升降滾輪之間的間隔可調(diào)節(jié)，能夠適應(yīng)不同直徑大小的石英圓片的拋光使用。
14、可選的，所述升降滾輪的高度小于所述滑動(dòng)滾輪的高度，或所述升降滾輪的高度小于所述固定滾輪的高度。其有益效果在于，能夠降低石英圓片的重心，防止石英圓片在拋光過程中掉落。
15、可選的，至少一個(gè)凹槽相對的兩個(gè)側(cè)面為斜面，斜面和石英圓片的接觸為點(diǎn)接觸，且所述凹槽的開口大小隨著凹槽深度的增加逐漸減小升降滾輪固定滾輪。其有益效果在于，通過設(shè)置凹槽相對的兩個(gè)側(cè)面為斜面，且所述凹槽的開口大小隨著凹槽深度的增加逐漸減小，使得凹槽和石英圓片形成點(diǎn)接觸，能夠減少拋光過程中對石英圓片表面的傷害，提高產(chǎn)品品質(zhì)，而且設(shè)置凹槽上大下小可以適用于不同厚度的石英圓片的拋光使用。
16、可選的，所述滑動(dòng)滾輪和固定滾輪配合帶動(dòng)所述石英圓片進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；
17、所述升降滾輪沿水平方向移動(dòng)限制所述石英圓片旋轉(zhuǎn)時(shí)的擺動(dòng)幅度，所述水平方向與所述石英圓片所在的平面相交；或所述升降滾輪通過升降裝置沿豎直方向移動(dòng)對石英圓片的底部進(jìn)行支撐。其有益效果在于，不僅能夠限制質(zhì)量較輕的石英圓片的擺動(dòng)幅度，還能夠?qū)|(zhì)量較重的石英圓片進(jìn)行支撐，從而減少質(zhì)量較重的石英圓片的磨損程度，提高火焰拋光的效果和產(chǎn)品品質(zhì)。
18、可選的，所述的將待拋光的石英圓片放置在夾具之前還包括：
19、控制所述拋光槍對夾具進(jìn)行加熱處理；
20、對待拋光的石英圓片進(jìn)行清潔。其有益效果在于，通過控制所述拋光槍對夾具進(jìn)行加熱處理，對夾具表面進(jìn)行清潔，防止夾具表面的顆粒物污染石英圓片，對待拋光的石英圓片進(jìn)行清潔，便于后續(xù)進(jìn)行火焰拋光，提高良率。
21、可選的，還包括設(shè)置第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂；
22、所述第一機(jī)械臂，用于控制所述拋光槍；
23、所述第二機(jī)械臂，用于夾取拋光后自然冷卻的石英圓片，并放置新的石英圓片至所述夾具上。其有益效果在于，能夠提高生產(chǎn)效率。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種石英圓片的自動(dòng)火焰拋光方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述的控制所述拋光槍噴射火焰包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述的根據(jù)設(shè)定的移動(dòng)軌跡對所述石英圓片進(jìn)行自動(dòng)拋光包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述滾輪包括滑動(dòng)滾輪、升降滾輪和固定滾輪；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述滑動(dòng)滾輪和升降滾輪之間的間隔可調(diào)節(jié)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述升降滾輪的高度小于所述滑動(dòng)滾輪的高度，或所述升降滾輪的高度小于所述固定滾輪的高度。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，至少一個(gè)凹槽相對的兩個(gè)側(cè)面為斜面，斜面和石英圓片的接觸為點(diǎn)接觸，且所述凹槽的開口大小隨著凹槽深度的增加逐漸減小升降滾輪固定滾輪。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述滑動(dòng)滾輪和固定滾輪配合帶動(dòng)所述石英圓片進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述的將待拋光的石英圓片放置在夾具之前還包括：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種石英圓片的自動(dòng)火焰拋光方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述的控制所述拋光槍噴射火焰包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述的根據(jù)設(shè)定的移動(dòng)軌跡對所述石英圓片進(jìn)行自動(dòng)拋光包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述滾輪包括滑動(dòng)滾輪、升降滾輪和固定滾輪；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述滑動(dòng)滾輪和升降滾輪之間的間隔可調(diào)節(jié)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述升降滾輪的高度小于所述滑動(dòng)滾輪的高度，...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：周文華，周韋軍，呂紅兵，謝棟磊，姚家鵬，
申請(專利權(quán))人：上海強(qiáng)華實(shí)業(yè)股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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