一種鐵環翻轉搬運裝置制造方法及圖紙

本技術公開了一種鐵環翻轉搬運裝置，包括X軸伺服模組，X軸伺服模組上設有與之移動連接的Y軸伺服模組，Y軸伺服模組下端設有與之連接的鐵環搬運架，鐵環搬運架一端對稱設有搬運臂，兩個搬運臂遠離鐵環搬運架的另一端設有與之連接的翻轉機構，兩個翻轉機構之間吸附有鐵環。本技術的有益效果：使用真空吸盤和防掉落一體式結構，可以有效的避免鐵環在拿取時的變形和在翻轉過程中產品掉落的問題，減少產品的損壞，降低了企業的生產成本，提升了企業的生產良率，實現了鐵環的翻轉搬運。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及半導體晶圓，具體為一種鐵環翻轉搬運裝置。

技術介紹

1、晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓，在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能的集成電路產品。

2、晶圓鐵環可以很好的將晶圓固定，使其在生產過程中周轉運輸時不會把昂貴的晶圓片碰傷或刮花，如申請號為：cn201921805345.9所公開的“一種晶圓鐵環放置推車”，該方法只能實現晶圓貼片的堆疊存放，在制程使用時，還需人工拿取或通過夾持、吸附機械臂對鐵片進行操作，人工在拿取時，存在對鐵環損傷的風險，而夾持機械臂由于其在夾取鐵環時，夾持力量不可控，而且鐵環較薄，容易在夾持時將鐵環夾持變形，影響后續的使用；吸附機械臂在吸附鐵環時，雖不易對鐵環造成損傷，但由于鐵環在后續制程中還需進行翻轉作業，在翻轉的同時，吸附機械臂就容易導致鐵環的掉落，從而導致鐵環的損傷，影響鐵環后續的使用。

技術實現思路

1、本技術的目的在于提供一種鐵環翻轉搬運裝置，以解決上述
技術介紹
中提出的問題。

2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種鐵環翻轉搬運裝置，包括x軸伺服模組，所述x軸伺服模組上設有與之移動連接的y軸伺服模組，所述y軸伺服模組下端設有與之連接的鐵環搬運架，所述鐵環搬運架一端對稱設有搬運臂，兩個所述搬運臂遠離所述鐵環搬運架的另一端設有與之連接的翻轉機構，兩個所述翻轉機構之間吸附有鐵環。

3、進一步優化的，所述x軸伺服模組與所述y軸伺服模組之間設有相連接的固定板，通過x軸伺服模組帶動固定板及y軸伺服模組運動。

4、進一步優化的，兩個所述搬運臂與所述鐵環搬運架連接端的內壁均設有與之固定連接的加強筋，保證鐵環在搬運時的穩定。

5、進一步優化的，所述翻轉機構包括設置于所述搬運臂一端的翻轉氣缸，所述翻轉氣缸驅動端設有與之連接的轉軸，且所述轉軸遠離所述翻轉氣缸的另一端依次設有軸座及翻轉架，翻轉氣缸通過轉軸驅動，帶動翻轉架進行翻轉。

6、進一步優化的，所述翻轉架兩側對稱設有向下延伸的防掉落延伸架，所述翻轉架底部設有防掉落承接板，防掉落延伸架及防掉落承接板防止鐵環在翻轉時掉落損傷。

7、進一步優化的，所述翻轉架位于兩個所述防掉落延伸架的內側對稱設有至少兩個真空吸管，兩個所述真空吸管遠離所述翻轉架的下端均設有吸嘴，所述真空吸管與設置于所述翻轉架內的氣源管連接，通過真空吸管及吸嘴將鐵環吸附搬運。

8、有益效果

9、本技術所提供的鐵環翻轉搬運裝置，使用真空吸盤和防掉落一體式結構，可以有效的避免鐵環在拿取時的變形和在翻轉過程中產品掉落的問題，減少產品的損壞，降低了企業的生產成本，提升了企業的生產良率，實現了鐵環的翻轉搬運。

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【技術保護點】

1.一種鐵環翻轉搬運裝置，其特征在于：包括X軸伺服模組(1)，所述X軸伺服模組(1)上設有與之移動連接的Y軸伺服模組(2)，所述Y軸伺服模組(2)下端設有與之連接的鐵環搬運架(4)，所述鐵環搬運架(4)一端對稱設有搬運臂(5)，兩個所述搬運臂(5)遠離所述鐵環搬運架(4)的另一端設有與之連接的翻轉機構(6)，兩個所述翻轉機構(6)之間吸附有鐵環(14)。

2.根據權利要求1所述的鐵環翻轉搬運裝置，其特征在于：所述X軸伺服模組(1)與所述Y軸伺服模組(2)之間設有相連接的固定板(3)。

3.根據權利要求1所述的鐵環翻轉搬運裝置，其特征在于：兩個所述搬運臂(5)與所述鐵環搬運架(4)連接端的內壁均設有與之固定連接的加強筋(15)。

4.根據權利要求1所述的鐵環翻轉搬運裝置，其特征在于：所述翻轉機構(6)包括設置于所述搬運臂(5)一端的翻轉氣缸(7)，所述翻轉氣缸(7)驅動端設有與之連接的轉軸，且所述轉軸遠離所述翻轉氣缸(7)的另一端依次設有軸座(8)及翻轉架(9)。

5.根據權利要求4所述的鐵環翻轉搬運裝置，其特征在于：所述翻轉架(9)兩側對稱設有向下延伸的防掉落延伸架(10)，所述翻轉架(9)底部設有防掉落承接板(11)。

6.根據權利要求5所述的鐵環翻轉搬運裝置，其特征在于：所述翻轉架(9)位于兩個所述防掉落延伸架(10)的內側對稱設有至少兩個真空吸管(12)，兩個所述真空吸管(12)遠離所述翻轉架(9)的下端均設有吸嘴(13)，所述真空吸管(12)與設置于所述翻轉架(9)內的氣源管連接。

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【技術特征摘要】

1.一種鐵環翻轉搬運裝置，其特征在于：包括x軸伺服模組(1)，所述x軸伺服模組(1)上設有與之移動連接的y軸伺服模組(2)，所述y軸伺服模組(2)下端設有與之連接的鐵環搬運架(4)，所述鐵環搬運架(4)一端對稱設有搬運臂(5)，兩個所述搬運臂(5)遠離所述鐵環搬運架(4)的另一端設有與之連接的翻轉機構(6)，兩個所述翻轉機構(6)之間吸附有鐵環(14)。

2.根據權利要求1所述的鐵環翻轉搬運裝置，其特征在于：所述x軸伺服模組(1)與所述y軸伺服模組(2)之間設有相連接的固定板(3)。

3.根據權利要求1所述的鐵環翻轉搬運裝置，其特征在于：兩個所述搬運臂(5)與所述鐵環搬運架(4)連接端的內壁均設有與之固定連接的加強筋(15)。

4.根據權利要...

【專利技術屬性】
技術研發人員：周鵬程，
申請(專利權)人：爭豐半導體科技蘇州有限公司，
類型：新型
國別省市：