【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及一種夾持工具，特別涉及一種硅片表面研磨夾持裝置。
技術(shù)介紹
1、硅片是制作晶體管和集成電路的原料，硅片在生產(chǎn)過程中由于尺度可能存在一定的偏差，硅片上會(huì)產(chǎn)生不規(guī)則的形狀，為了不影響后續(xù)加工的質(zhì)量，要將該不規(guī)則邊去除，此時(shí)則需要使用到研磨裝置來對(duì)硅片的表面進(jìn)行研磨，打磨時(shí)通常需要將硅片進(jìn)行固定，利用研磨盤高速旋轉(zhuǎn)對(duì)硅片實(shí)現(xiàn)研磨工作。
2、然而現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)硅片進(jìn)行夾持時(shí)通常使用人工控制夾持工具實(shí)現(xiàn)夾持力度的控制，導(dǎo)致無法精準(zhǔn)把控松緊度，導(dǎo)致硅片處于不穩(wěn)定狀態(tài)，影響工作進(jìn)度與效率，同時(shí)在進(jìn)行夾持時(shí)由于缺乏緩沖機(jī)構(gòu)導(dǎo)致夾持部件不穩(wěn)定，影響研磨效果，針對(duì)上述問題，在此提供一種硅片表面研磨夾持裝置。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本技術(shù)要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種硅片表面研磨夾持裝置，提供可自動(dòng)夾持裝置，避免人工力度的控制不均，提高工作效率，同時(shí)添加緩沖組件增加整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，提高研磨效果。
2、為了解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)提供了如下的技術(shù)方案：
3、本技術(shù)一種硅片表面研磨夾持裝置，包括底座，所述底座的內(nèi)部安裝有電源板，所述底座的頂部安裝有顯示屏，所述顯示屏與電源板電性連接，所述底座的頂部一側(cè)插接有支撐桿，所述支撐桿的頂部安裝有固定夾頭，所述底座的頂部一側(cè)邊緣處通過螺栓固定安裝有底板，所述底板的頂部固定安裝有立柱，所述立柱的頂部套接有升降柱，所述升降柱為凹字型結(jié)構(gòu)，所述升降柱的頂部套接有安裝套，所述安裝套的一側(cè)設(shè)置有鎖緊旋鈕，所述安裝套的一側(cè)固
4、作為本技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述升降機(jī)構(gòu)包括把手、第一錐齒輪、第二錐齒輪、軸承座、絲杠與滑塊，所述絲杠的底端套接于軸承座的內(nèi)部，所述軸承座固定安裝于立柱的內(nèi)部，所述立柱的一側(cè)貫穿設(shè)置從動(dòng)桿且從動(dòng)桿位于立柱外側(cè)的一端安裝有把手、位于立柱內(nèi)部的另一端安裝有第一錐齒輪，所述第一錐齒輪嚙合傳動(dòng)有第二錐齒輪，所述第二錐齒輪固定安裝在絲杠上，所述絲杠的外表面螺紋傳動(dòng)連接有滑塊。
5、作為本技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述絲杠的頂部貫穿立柱并延伸至升降柱的凹槽內(nèi)部，所述滑塊兩側(cè)通過連接片與升降柱的凹槽處兩側(cè)固定連接。
6、作為本技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述支撐臂的一端邊緣處頂部安裝有驅(qū)動(dòng)倉，所述驅(qū)動(dòng)倉的內(nèi)部安裝有液壓缸，所述液壓缸的底端連接有液壓桿，所述液壓桿的底端固定連接有固定壓板，且固定壓板的底端固定安裝有壓力傳感器，且壓力傳感器與顯示屏電性連接。
7、作為本技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述支撐桿的內(nèi)部設(shè)置為空心結(jié)構(gòu)，所述支撐桿的內(nèi)部插接有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌的底端延伸至底座的內(nèi)部并安裝有橡膠座。
8、作為本技術(shù)的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述橡膠座的頂部兩側(cè)安裝有阻尼緩沖彈簧，所述阻尼緩沖彈簧的頂部通過插塊固定安裝有插板，所述插板的彼此之間固定安裝有從動(dòng)塊，且從動(dòng)塊與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，所述從動(dòng)塊固定安裝于支撐桿的底端。
9、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的有益效果如下：
10、1、本技術(shù)通過液壓缸快速帶動(dòng)固定壓板縮短與固定夾頭的彼此間距，接著利用升降機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)升降柱進(jìn)行高度調(diào)節(jié)，通過支撐臂帶動(dòng)固定壓板移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)通過手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)把手對(duì)固定壓板與固定夾頭的距離進(jìn)行微調(diào)，通過觀測壓力傳感器精準(zhǔn)控制對(duì)硅片的夾持力度，保證硅片夾緊的同時(shí)不會(huì)受力過大破碎也不會(huì)受力太小出現(xiàn)夾持不穩(wěn)的現(xiàn)象。
11、2、本技術(shù)通過底端阻尼緩沖彈簧的特性可對(duì)夾持環(huán)境提供高穩(wěn)定性，防止在進(jìn)行研磨過程中發(fā)生振動(dòng)導(dǎo)致影響研磨效果，當(dāng)產(chǎn)生振動(dòng)時(shí)，支撐桿將產(chǎn)生的作用力向下傳遞至從動(dòng)塊處，從動(dòng)塊帶動(dòng)插板向下將力傳遞給阻尼緩沖彈簧實(shí)現(xiàn)緩沖效果，同時(shí)利用底端橡膠座對(duì)振幅能量進(jìn)行吸收，通過導(dǎo)軌便于提高從動(dòng)塊力傳遞的穩(wěn)定性。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種硅片表面研磨夾持裝置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的內(nèi)部安裝有電源板，所述底座（1）的頂部安裝有顯示屏（2），所述顯示屏（2）與電源板電性連接，所述底座（1）的頂部一側(cè)插接有支撐桿（3），所述支撐桿（3）的頂部安裝有固定夾頭（4），所述底座（1）的頂部一側(cè)邊緣處通過螺栓固定安裝有底板（5），所述底板（5）的頂部固定安裝有立柱（6），所述立柱（6）的頂部套接有升降柱（7），所述升降柱（7）為凹字型結(jié)構(gòu)，所述升降柱（7）的頂部套接有安裝套（8），所述安裝套（8）的一側(cè)設(shè)置有鎖緊旋鈕，所述安裝套（8）的一側(cè)固定安裝有支撐臂（9），所述升降柱（7）的內(nèi)部安裝有升降機(jī)構(gòu)（10）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片表面研磨夾持裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)（10）包括把手（101）、第一錐齒輪（102）、第二錐齒輪（103）、軸承座（104）、絲杠（105）與滑塊（106），所述絲杠（105）的底端套接于軸承座（104）的內(nèi)部，所述軸承座（104）固定安裝于立柱（6）的內(nèi)部，所述立柱的一側(cè)貫穿設(shè)置從動(dòng)桿且從動(dòng)桿位于立柱外側(cè)的一端安裝有把手（101）、位于立柱
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅片表面研磨夾持裝置，其特征在于，所述絲杠（105）的頂部貫穿立柱（6）并延伸至升降柱（7）的凹槽內(nèi)部，所述滑塊（106）兩側(cè)通過連接片與升降柱（7）的凹槽處兩側(cè)固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片表面研磨夾持裝置，其特征在于，所述支撐臂（9）的一端邊緣處頂部安裝有驅(qū)動(dòng)倉（11），所述驅(qū)動(dòng)倉（11）的內(nèi)部安裝有液壓缸（12），所述液壓缸（12）的底端連接有液壓桿（13），所述液壓桿（13）的底端固定連接有固定壓板（14），且固定壓板（14）的底端固定安裝有壓力傳感器，且壓力傳感器與顯示屏（2）電性連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片表面研磨夾持裝置，其特征在于，所述支撐桿（3）的內(nèi)部設(shè)置為空心結(jié)構(gòu)，所述支撐桿（3）的內(nèi)部插接有導(dǎo)軌（15），所述導(dǎo)軌（15）的底端延伸至底座（1）的內(nèi)部并安裝有橡膠座（16）。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種硅片表面研磨夾持裝置，其特征在于，所述橡膠座（16）的頂部兩側(cè)安裝有阻尼緩沖彈簧（17），所述阻尼緩沖彈簧（17）的頂部通過插塊固定安裝有插板（18），所述插板（18）的彼此之間固定安裝有從動(dòng)塊（19），且從動(dòng)塊（19）與導(dǎo)軌（15）滑動(dòng)連接，所述從動(dòng)塊（19）固定安裝于支撐桿（3）的底端。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種硅片表面研磨夾持裝置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的內(nèi)部安裝有電源板，所述底座（1）的頂部安裝有顯示屏（2），所述顯示屏（2）與電源板電性連接，所述底座（1）的頂部一側(cè)插接有支撐桿（3），所述支撐桿（3）的頂部安裝有固定夾頭（4），所述底座（1）的頂部一側(cè)邊緣處通過螺栓固定安裝有底板（5），所述底板（5）的頂部固定安裝有立柱（6），所述立柱（6）的頂部套接有升降柱（7），所述升降柱（7）為凹字型結(jié)構(gòu)，所述升降柱（7）的頂部套接有安裝套（8），所述安裝套（8）的一側(cè)設(shè)置有鎖緊旋鈕，所述安裝套（8）的一側(cè)固定安裝有支撐臂（9），所述升降柱（7）的內(nèi)部安裝有升降機(jī)構(gòu)（10）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片表面研磨夾持裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)（10）包括把手（101）、第一錐齒輪（102）、第二錐齒輪（103）、軸承座（104）、絲杠（105）與滑塊（106），所述絲杠（105）的底端套接于軸承座（104）的內(nèi)部，所述軸承座（104）固定安裝于立柱（6）的內(nèi)部，所述立柱的一側(cè)貫穿設(shè)置從動(dòng)桿且從動(dòng)桿位于立柱外側(cè)的一端安裝有把手（101）、位于立柱內(nèi)部的另一端安裝有第一錐齒輪（102），所述第一錐齒輪（102）嚙合傳動(dòng)有第二錐齒輪（103），所述第二錐齒輪（103）固定安裝在絲杠（105）上，所述絲杠（105）的外...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：徐力，王森，
申請(專利權(quán))人：洛陽杰芯電子科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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