【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體微污染分析領(lǐng)域，具體涉及無塵棉簽的清潔方法。
技術(shù)介紹
1、隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，對半導(dǎo)體器件表面的污染控制和技術(shù)工藝的要求也越來越高。
2、為了控制制造環(huán)境中的微污染，提高產(chǎn)品良率，對制造設(shè)備零部件的表面微污染以及其清洗再生后的表面微污染的檢測至關(guān)重要。
3、半導(dǎo)體制造設(shè)備部件表面微污染物有很大一部分屬于金屬元素和化合物，需要用到元素定量分析技術(shù)。常見的微量元素分析手段中，電感耦合等離子質(zhì)譜(以下稱為“icp-ms”)是較為廣泛使用的一種。icp-ms具有低至ppt級別的低檢測限和高檢測精度的優(yōu)點(diǎn)，符合半導(dǎo)體制造廠對器件和設(shè)備表面微污染控制的檢測需求。
4、目前常用的部件表面微污染測試手段為棉簽擦拭法，用棉簽浸濕萃取液，反復(fù)擦拭樣品表面，將擦拭后的棉簽浸泡在萃取液里，一定時間后回收，通過icp-ms測試，可以得出部件表面微污染含量。
5、棉簽擦拭取樣前，需要對棉簽進(jìn)行潔驗(yàn)證，以確保它們符合標(biāo)準(zhǔn)。
6、但有以下幾個問題的存在：
7、1、大多數(shù)無塵棉簽的材料組成，擦頭為聚酯，棉簽桿為有顏色的pp桿，帶顏色的pp材料，制作過程中會添加色粉，本身就含有金屬離子。
8、2、常規(guī)的清洗，多數(shù)是使用酸，反復(fù)的清洗會導(dǎo)致清洗成本增高。
9、3、清洗的周期長。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本專利技術(shù)提供一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，已解決上述
2、本專利技術(shù)的技術(shù)方案是：一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于，包括如下步驟：
3、步驟一，超純水初洗；
4、步驟二，初始值檢測，獲得無塵棉簽初始的金屬元素成分；
5、步驟三，超聲處理：
6、先進(jìn)行超純水清洗后，將裝有無塵棉簽的瓶子加滿水，超聲清洗；
7、步驟四，加熱處理：
8、先進(jìn)行超純水清洗后，將裝有無塵棉簽的瓶子加滿水，放入無塵烘箱加熱；
9、步驟五，檢測獲得無塵棉簽清洗處理后的金屬元素成分。
10、清洗前后結(jié)果對比效果，使用該清洗方式，金屬析出明顯。
11、進(jìn)一步優(yōu)選的，步驟一中，將無塵棉簽放入已經(jīng)清洗好的250mlpfa瓶，使用超純水加滿，然后倒掉，重復(fù)6～10次，洗去棉簽表面的雜質(zhì)。
12、進(jìn)一步優(yōu)選的，步驟二中，將裝有無塵棉簽的瓶子里加入硝酸，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為0.14％-3.0％，棉簽頭在下，棉簽桿在上，硝酸剛好浸沒過棉簽頭，計時5-10min，取部分浸泡液進(jìn)行icp-ms分析。
13、進(jìn)一步優(yōu)選的，步驟三中的超純水清洗的方法為將無塵棉簽放入已經(jīng)清洗好的250mlpfa瓶，使用超純水加滿，然后倒掉，重復(fù)6～10次，洗去棉簽表面的雜質(zhì)。
14、進(jìn)一步優(yōu)選的，步驟三中，超聲清洗時間為1～4h，超聲清洗功率為60％～100％的最大功率，超聲清洗的最大功率為400w，超聲清洗的水溫為25℃～50℃。
15、進(jìn)一步優(yōu)選的，步驟四中的超純水清洗的方法為將無塵棉簽放入已經(jīng)清洗好的250mlpfa瓶，使用超純水加滿，然后倒掉，重復(fù)6～10次，洗去棉簽表面的雜質(zhì)。
16、進(jìn)一步優(yōu)選的，步驟四中，無塵烘箱加熱溫度為20℃～120℃，時間為1h～16h。
17、進(jìn)一步優(yōu)選的，步驟五中，將裝有無塵棉簽的瓶子里加入硝酸，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為0.14％-3.0％，棉簽頭在下，棉簽桿在上，硝酸剛好浸沒過棉簽頭，計時5-10min，取部分浸泡液進(jìn)行icp-ms分析。
18、進(jìn)一步優(yōu)選的，步驟五檢測的金屬元素成分符合要求時，結(jié)束清洗；
19、步驟五檢測的金屬元素成分不符合要求時，重復(fù)步驟四與步驟五。
20、一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于，包括如下步驟：
21、步驟一，超純水初洗，將無塵棉簽放入已經(jīng)清洗好的250mlpfa瓶，使用超純水加滿，然后倒掉，重復(fù)6～10次，洗去棉簽表面的雜質(zhì)；
22、步驟二，初始值檢測，獲得無塵棉簽初始的金屬元素成分；將裝有無塵棉簽的瓶子里加入硝酸，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為0.14％-3.0％，棉簽頭在下，棉簽桿在上，硝酸剛好浸沒過棉簽頭，計時5-10min，取部分浸泡液進(jìn)行icp-ms分析；
23、步驟三，超聲處理：
24、將無塵棉簽放入已經(jīng)清洗好的250mlpfa瓶，使用超純水加滿，然后倒掉，重復(fù)6～10次，洗去棉簽表面的雜質(zhì)；
25、將裝有無塵棉簽的瓶子加滿水，超聲清洗，超聲清洗時間為1～4h，超聲清洗功率為60％～100％的最大功率，超聲清洗的最大功率為400w，超聲清洗的水溫為25℃～50℃；
26、步驟四，加熱處理：
27、將無塵棉簽放入已經(jīng)清洗好的250mlpfa瓶，使用超純水加滿，然后倒掉，重復(fù)6～10次，洗去棉簽表面的雜質(zhì)；
28、將裝有無塵棉簽的瓶子加滿水，放入無塵烘箱加熱；
29、步驟五，檢測獲得無塵棉簽清洗處理后的金屬元素成分；
30、將裝有無塵棉簽的瓶子里加入硝酸，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為0.14％-3.0％，棉簽頭在下，棉簽桿在上，硝酸剛好浸沒過棉簽頭，計時5-10min，取部分浸泡液進(jìn)行icp-ms分析；
31、步驟五檢測的金屬元素成分符合要求時，結(jié)束清洗；
32、步驟五檢測的金屬元素成分不符合要求時，重復(fù)步驟四與步驟五。
33、有益效果：
34、1)通過超純水在加熱和超聲的作用下，能夠快速清潔棉簽的金屬雜質(zhì)。
35、2)清洗溶劑為超純水，相對安全，且成本低。
36、3)清洗條件為超聲，無塵烘箱加熱，簡單方便。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于，包括如下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于：步驟一中，將無塵棉簽放入已經(jīng)清洗好的250mlPFA瓶，使用超純水加滿，然后倒掉，重復(fù)6～10次，洗去棉簽表面的雜質(zhì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于：步驟二中，將裝有無塵棉簽的瓶子里加入硝酸，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為0.14％-3.0％，棉簽頭在下，棉簽桿在上，硝酸剛好浸沒過棉簽頭，計時5-10min，取部分浸泡液進(jìn)行ICP-MS分析。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于：步驟三中的超純水清洗的方法為將無塵棉簽放入已經(jīng)清洗好的250mlPFA瓶，使用超純水加滿，然后倒掉，重復(fù)6～10次，洗去棉簽表面的雜質(zhì)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于：步驟三中，超聲清洗時間為1～4h，超聲清洗功率為60％
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于：步驟四中的超純水清洗的方法為將無塵棉簽放入已經(jīng)清洗好的250mlPFA瓶，使用超純水加滿，然后倒掉，重復(fù)6～10次，洗去棉簽表面的雜質(zhì)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于：步驟四中，無塵烘箱加熱溫度為20℃～120℃，時間為1h～16h。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于：步驟五中，將裝有無塵棉簽的瓶子里加入硝酸，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為0.14％-3.0％，棉簽頭在下，棉簽桿在上，硝酸剛好浸沒過棉簽頭，計時5-10min，取部分浸泡液進(jìn)行ICP-MS分析。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于：步驟五檢測的金屬元素成分符合要求時，結(jié)束清洗；
10.一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于，包括如下步驟：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于，包括如下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于：步驟一中，將無塵棉簽放入已經(jīng)清洗好的250mlpfa瓶，使用超純水加滿，然后倒掉，重復(fù)6～10次，洗去棉簽表面的雜質(zhì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于：步驟二中，將裝有無塵棉簽的瓶子里加入硝酸，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為0.14％-3.0％，棉簽頭在下，棉簽桿在上，硝酸剛好浸沒過棉簽頭，計時5-10min，取部分浸泡液進(jìn)行icp-ms分析。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于：步驟三中的超純水清洗的方法為將無塵棉簽放入已經(jīng)清洗好的250mlpfa瓶，使用超純水加滿，然后倒掉，重復(fù)6～10次，洗去棉簽表面的雜質(zhì)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造設(shè)備部件擦拭取樣用的無塵棉簽的清潔方法，其特征在于：步驟三中，超聲清洗時間為1～4h，超聲清洗功率為60％～100％的最大功率...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉洋，賀賢漢，管方方，張開新，幸仁華，
申請(專利權(quán))人：上海富樂德智能科技發(fā)展有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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