【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及光束測量，尤其涉及一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法。
技術介紹
1、平行光束的質量好壞直接決定了其應用價值。可見光波段的平行光束質量可以通過剪切干涉儀形成的干涉條紋，人眼觀察判斷，對于超高精度的平行光束，人為判斷存在出錯風險。紅外波段的平行光束質量則需要借助相機成像進行光束質量檢測。
2、目前，一種紅外激光光束質量測量方法，將紅外激光直接或聚焦打到紅外上轉換厚膜材料上，將cmos/ccd相機無法探測的紅外激光的光斑轉換成cmos/ccd相機可以探測的光斑，利用cmos/ccd相機采集紅外上轉換厚膜材料上的光斑，定量分析光斑的各項參數，實現對紅外激光光束質量的定量化測量和評價。其具體形狀結構參考圖4。
3、現有的紅外激光光束質量檢測裝置復雜，需要特殊定制的轉換膜材料，轉換膜材料厚度小于0.01mm，加工研制復雜，且成本高，針對不同的短波紅外、中波紅外、長波紅外，還需要研制不同的轉換膜材料。此外，每次測量不同波段的紅外激光，需要更換轉換膜材料，系統調試復雜，調試誤差會影響激光光束質量測量結果，可靠性欠佳，通用性不足。
4、因此需要設計出一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法解決以上問題。
技術實現思路
1、本專利技術的目的是，提供一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法，以克服目前現有技術存在的上述不足。
2、為了實現上述目的，本專利技術采用了如下技術方案：
3、一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法，其包括縮束透鏡
4、具體的檢測方法包括以下步驟：
5、待測的平行光束沿著光束進口進入，經縮束透鏡縮束為小口徑的平行光束，并傳播至剪切干涉儀進行分光；
6、剪切干涉儀將光束一部分進行反射，另一部分進行透射；
7、剪切干涉儀將透射的光束直接傳播至哈特曼-夏克波前傳感器，由哈特曼-夏克波前傳感器完成對待測平行光束的波前質量測量；
8、剪切干涉儀經前后表面的反射光束，產生橫向剪切干涉，經透鏡聚焦到相機上，通過相機實現對待測平行光束的干涉圖像成像，獲取待測平行光束的干涉條紋圖像和干涉信息；
9、最后光束質量分析測試儀接收到相關信息后，利用剪切干涉條紋變形指標進行平行光束質量分析。
10、優選的，所述光束質量分析測試儀能夠接收到哈特曼-夏克波前傳感器和所述相機檢測到結果，并自主進行判斷、分析。
11、優選的，所述縮束透鏡組為開普勒擴束系統，所述縮束透鏡組包括調節柱支架、可移動安裝在所述調節柱支架上的若干透鏡安裝架、以及配合透鏡安裝架設置的第一透鏡和第二透鏡，所述第一透鏡的直徑大于所述第二透鏡，且所述第二透鏡靠近所述剪切干涉儀設置。
12、優選的，在所述剪切干涉儀對應一面設置有傳感器安裝座，所述傳感器安裝座通過銷軸與剪切干涉儀外殼進行連接，在所述傳感器安裝座上開設有孔槽。
13、優選的，在所述剪切干涉儀對應一面設置有安裝座，所述安裝座上設置有配合透鏡安裝的透鏡安裝孔槽，所述安裝座通過固定件配合所述剪切干涉儀的外殼進行連接固定。
14、優選的，還包括設置在外側的殼體，在所述殼體上開設有光束進口，在所述殼體上還設置有配合相機和哈特曼-夏克波前傳感器設置的開口。
15、本專利技術的有益效果是：本技術方案可以對可見光波段、紅外波段的平行光束直接測量光束質量，無需添加輔助器械，可以直接記錄平行光束的干涉條紋，通過干涉條紋變形指標可以同時獲取光束質量的干涉信息，避免肉眼觀察錯誤，通過圖像對平行光束質量進行精確判斷；還可以同時獲取平行光束的波前質量信息，增加平行光束質量的判斷信息。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法，其特征在于：其包括縮束透鏡組、設置在所述縮束透鏡組旁側的剪切干涉儀、設置在所述剪切干涉儀一面的哈特曼-夏克波前傳感器、設置在所述剪切干涉儀另一面的相機、以及用來聚焦且置于所述相機和所述剪切干涉儀之間的透鏡以及用來接收并分析結果的光束質量分析測試儀；
2.根據權利要求1所述的一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法，其特征在于：所述光束質量分析測試儀能夠接收到哈特曼-夏克波前傳感器和所述相機檢測到結果，并自主進行判斷、分析。
3.根據權利要求1所述的一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法，其特征在于：所述縮束透鏡組為開普勒擴束系統，所述縮束透鏡組包括調節柱支架、可移動安裝在所述調節柱支架上的若干透鏡安裝架、以及配合透鏡安裝架設置的第一透鏡和第二透鏡，所述第一透鏡的直徑大于所述第二透鏡，且所述第二透鏡靠近所述剪切干涉儀設置。
4.根據權利要求1所述的一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法，其特征在于：在所述剪切干涉儀對應一面設置有傳感器安裝座，所述傳感器安裝座通過銷軸與剪切干涉儀外殼進行連接，在所述傳感器安裝座上開
5.根據權利要求1所述的一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法，其特征在于：在所述剪切干涉儀對應一面設置有安裝座，所述安裝座上設置有配合透鏡安裝的透鏡安裝孔槽，所述安裝座通過固定件配合所述剪切干涉儀的外殼進行連接固定。
6.根據權利要求1所述的一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法，其特征在于：還包括設置在外側的殼體，在所述殼體上開設有光束進口，在所述殼體上還設置有配合相機和哈特曼-夏克波前傳感器設置的開口。
...【技術特征摘要】
1.一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法，其特征在于：其包括縮束透鏡組、設置在所述縮束透鏡組旁側的剪切干涉儀、設置在所述剪切干涉儀一面的哈特曼-夏克波前傳感器、設置在所述剪切干涉儀另一面的相機、以及用來聚焦且置于所述相機和所述剪切干涉儀之間的透鏡以及用來接收并分析結果的光束質量分析測試儀；
2.根據權利要求1所述的一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法，其特征在于：所述光束質量分析測試儀能夠接收到哈特曼-夏克波前傳感器和所述相機檢測到結果，并自主進行判斷、分析。
3.根據權利要求1所述的一種平行光束質量檢測裝置及其檢測方法，其特征在于：所述縮束透鏡組為開普勒擴束系統，所述縮束透鏡組包括調節柱支架、可移動安裝在所述調節柱支架上的若干透鏡安裝架、以及配合透鏡安裝架設置的第一透鏡和第二透鏡，所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員：董大偉，趙濟宇，
申請(專利權)人：蘇州勵索精密裝備科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。