【技術實現步驟摘要】
本技術涉及曝光機，特別涉及一種雙面曝光機。
技術介紹
1、曝光工藝是半導體生產過程中的重要步驟之一，其具體指：曝光燈所發出的紫外光通過菲林版照射到附有一層薄膜膠的基片表面，引起曝光區域的薄膜膠發生化學反應。其中，在曝光工藝過程中，需要先后經過正面曝光和背面曝光兩道曝光工序，加工時間長，生產效率低。
技術實現思路
1、本技術的主要目的是提供一種雙面曝光機，旨在通過增設曝光板和曝光燈，使曝光機具有雙面曝光功能，通過一個工序同時實現正面曝光和背面曝光，從而提升曝光機的生產效率。
2、為實現上述目的，本技術提出的雙面曝光機包括：主機體；兩個在豎向上間隔設置的曝光燈；曝光平臺，穿設于所述主機體，并位于兩個所述曝光燈之間，所述曝光平臺用以傳送料帶；以及呈上下分布的上曝光板和下曝光板，所述下曝光板固定連接于所述主機體，并懸于所述曝光平臺的上方，所述下曝光板可豎向移動地連接于所述主機體。
3、可選地，所述上曝光板和所述下曝光板均配置為玻璃板，所述曝光板用于粘貼擋板。
4、可選地，所述主機體的兩側設有支撐座，所述支撐座包括呈l型連接的第一支撐部和第二支撐部，所述第一支撐部連接于所述主機體的內壁，并沿豎向延伸，所述第二支撐部沿橫向朝對側延伸，并連接于所述下曝光板的側部。
5、可選地，所述曝光機還包括豎向調節機構，所述豎向調節機構包括調節電機、傳送帶、橫向調節桿和兩豎向調節桿，所述橫向調節桿的兩端分別傳動連接于兩所述豎向調節桿的一端，兩所述豎向調節桿的另一
6、可選地，所述橫向調節桿的兩端均設有主動齒輪，所述豎向調節桿的一端設有從動齒輪，兩所述豎向調節桿的從動齒輪分別于所述橫向調節桿兩端的主動齒輪嚙合；所述曝光機還包括安裝框架，所述上曝光板安裝于所述安裝框架，所述安裝框架設有四個支柱，位于同一側的兩個所述支柱通過連接板固定連接，所述主機體設有沿豎向延伸的滑軌，所述連接板滑動連接于所述滑軌，所述豎向調節桿穿設并螺接于所述連接板。
7、可選地，所述曝光機還包括第一糾偏機構，所述第一糾偏機構安裝于所述曝光平臺，所述第一糾偏機構用以調整所述料帶的輸送方向。
8、可選地，所述曝光機還包括第二糾偏機構，所述曝光平臺可相對所述主機體活動，所述第二糾偏機構安裝于所述主機體，所述第二糾偏機構用以驅動所述曝光平臺相對所述主機體運動，以調整所述料帶與所述曝光平臺的相對位置。
9、可選地，所述送料輥表面涂設有膠狀物，所述膠狀物用以粘附所述料帶表面的雜質。
10、可選地，所述收料輥表面設有多個用以吸附所述料帶的真空吸附孔。
11、可選地，所述曝光機還包括冷卻系統，所述曝光燈內設有液體通道，所述冷卻系統連通所述液體通道。
12、本技術的技術方案中，通過對曝光機增設曝光燈和曝光板，使曝光機在豎向間隔設置兩個曝光燈，以及對應兩曝光燈間隔地各設置一貼設擋板的曝光板，如此，當料帶通過曝光工作區時，料帶的兩側同時受到曝光燈照射，如此，料帶可在同一時間、同一位置完成雙面曝光作業，由此，提升了曝光機的作業效率。
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1.一種雙面曝光機，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的雙面曝光機，其特征在于，所述上曝光板和所述下曝光板均配置為玻璃板，所述曝光板用于粘貼擋板。
3.如權利要求1所述的雙面曝光機，其特征在于，所述主機體的兩側設有支撐座，所述支撐座包括呈L型連接的第一支撐部和第二支撐部，所述第一支撐部連接于所述主機體的內壁，并沿豎向延伸，所述第二支撐部沿橫向朝對側延伸，并連接于所述下曝光板的側部。
4.如權利要求1所述的雙面曝光機，其特征在于，所述曝光機還包括豎向調節機構，所述豎向調節機構包括調節電機、傳送帶、橫向調節桿和兩豎向調節桿，所述橫向調節桿的兩端分別傳動連接于兩所述豎向調節桿的一端，兩所述豎向調節桿的另一端與所述上曝光板傳動連接；
5.如權利要求4所述的雙面曝光機，其特征在于，所述橫向調節桿的兩端均設有主動齒輪，所述豎向調節桿的一端設有從動齒輪，兩所述豎向調節桿的從動齒輪分別于所述橫向調節桿兩端的主動齒輪嚙合；
6.如權利要求1所述的雙面曝光機，其特征在于，所述曝光機還包括第一糾偏機構，所述第一糾偏機構安裝于所述曝光平臺
7.如權利要求1所述的雙面曝光機，其特征在于，所述曝光機還包括第二糾偏機構，所述曝光平臺可相對所述主機體活動，所述第二糾偏機構安裝于所述主機體，所述第二糾偏機構用以驅動所述曝光平臺相對所述主機體運動，以調整所述料帶與所述曝光平臺的相對位置。
8.如權利要求1所述的雙面曝光機，其特征在于，所述雙面曝光機還包括送料輥，所述送料輥的表面涂設有膠狀物，所述膠狀物用以粘附所述料帶表面的雜質。
9.如權利要求1所述的雙面曝光機，其特征在于，所述雙面曝光機還包括收料輥，所述收料輥表面設有多個用以吸附所述料帶的真空吸附孔。
10.如權利要求1-9任一項所述的雙面曝光機，其特征在于，所述曝光機還包括冷卻系統，所述曝光燈內設有液體通道，所述冷卻系統連通所述液體通道。
...【技術特征摘要】
1.一種雙面曝光機，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的雙面曝光機，其特征在于，所述上曝光板和所述下曝光板均配置為玻璃板，所述曝光板用于粘貼擋板。
3.如權利要求1所述的雙面曝光機，其特征在于，所述主機體的兩側設有支撐座，所述支撐座包括呈l型連接的第一支撐部和第二支撐部，所述第一支撐部連接于所述主機體的內壁，并沿豎向延伸，所述第二支撐部沿橫向朝對側延伸，并連接于所述下曝光板的側部。
4.如權利要求1所述的雙面曝光機，其特征在于，所述曝光機還包括豎向調節機構，所述豎向調節機構包括調節電機、傳送帶、橫向調節桿和兩豎向調節桿，所述橫向調節桿的兩端分別傳動連接于兩所述豎向調節桿的一端，兩所述豎向調節桿的另一端與所述上曝光板傳動連接；
5.如權利要求4所述的雙面曝光機，其特征在于，所述橫向調節桿的兩端均設有主動齒輪，所述豎向調節桿的一端設有從動齒輪，兩所述豎向調節桿的從動齒輪分別于所述橫向調節桿兩端的主動齒輪嚙合；<...
【專利技術屬性】
技術研發人員：章日華，李靜婷，吳國寶，王東，張林海，付志勇，楊自立，夏未強，李萬喜，尹勇軍，
申請(專利權)人：深圳市威利特自動化設備有限公司，
類型：新型
國別省市：
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