【技術實現步驟摘要】
本技術涉及氣相沉積爐加熱，具體涉及一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置。
技術介紹
1、化學氣相沉積是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，大多數金屬材料和金屬合金材料，在化學氣相沉積的時候，將兩種氣態的原材料通入到沉積爐，而沉積爐的底部需要加熱裝置進行加熱，而如公告號為cn208328101u的技術公開了一種立式化學氣相沉積爐爐底加熱裝置，包括爐底蓋板，爐底蓋板的下方設有保溫層，保溫層的上表面開設有凹槽，凹槽內設有發熱元件，發熱元件的兩端分別連接一根加熱電極，加熱電極的一端與發熱元件連接，加熱電極的另一端從爐底保溫層的底部伸出，且加熱電極的另一端固定在電極安裝座上，保溫層的底部設有進氣口，爐底蓋板上設有出氣口，出氣口與進氣口通過爐膛進氣管道連接。本技術解決了目前氣相沉積爐爐膛溫度均勻性差和爐底溫度偏低的問題。
2、現有的化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置，一種加熱裝置只能加熱一種型號大小的沉積爐，導致加熱裝置的適配性較差，提高了沉積爐的加熱成本，而且現有的沉積爐加熱裝置對沉積爐的加熱不夠均勻，加熱效果較差。
技術實現思路
1、本技術的目的在于：為解決沉積爐加熱裝置的適配性較差、加熱不夠均勻的問題，本技術提供了一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置。
2、本技術為了實現上述目的具體采用以下技術方案：
3、一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置，包括主體，所述主體的內部設有安裝板
4、進一步地，所述調節機構包括旋轉板，所述旋轉板的底面設有調節電機，所述旋轉板的頂面開設有限位槽，所述旋轉板的頂面設有調節板，且調節板與調節電機的輸出端固定連接，所述旋轉板的表面陣列開設有弧形槽，所述旋轉板的頂面設有加熱框架，所述加熱框架的底部設有連接柱，所述連接柱的底面設有限位塊，且限位塊和連接柱分別與弧形槽活動連接。
5、進一步地，所述旋轉板的頂面陣列設有導向框架，所述加熱框架與連接柱之間設有導向塊，且導向塊與連接柱轉動連接，且導向塊與導向框架滑動連接，所述加熱框架內均勻設有加熱棒。
6、進一步地，所述旋轉機構包括旋轉電機，且旋轉電機固定在安裝板的底面，且旋轉電機的輸出端貫穿安裝板，所述旋轉電機的輸出端設有傳動齒輪，所述旋轉板的側面設有齒輪條，且傳動齒輪與齒輪條相互嚙合。
7、進一步地，所述升降機構包括液壓缸，所述液壓缸的底面設有支撐板，且支撐板與升降腔活動連接，所述支撐板的底面陣列設有萬向輪，且萬向輪與支撐板活動連接。
8、進一步地，所述主體的表面開設有調節槽，且調節槽貫穿升降腔的側面，所述液壓缸的表面設有調節桿，且調節桿分別與調節槽和液壓缸活動連接。
9、進一步地，所述主體的內側開設有升降槽，所述升降槽內設有升降絲桿，且升降絲桿與安裝板螺紋連接，所述主體的頂面設有升降電機，且升降電機的輸出端與升降絲桿的頂端固定連接。
10、進一步地，所述主體的表面分別設有推桿和控制器，且控制器分別與調節電機、旋轉電機、加熱棒和升降電機電性連接。
11、本技術的有益效果如下：
12、本技術在主體的內部設有調節機構，當沉積爐通過外部機構懸空放入主體內后，調節機構中，在調節電機的帶動下，調節板轉動使連接柱和限位塊可以沿著限位槽移動，從而調節加熱框架與沉積爐的水平面距離，使裝置可以對不同大小的沉積爐進行加熱，提高了裝置的適配性，而主體內的旋轉機構可以使調節機構進行旋轉加熱，使沉積爐的受熱更加均勻，增強了裝置的加熱效率。
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1.一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置，其特征在于，包括主體(1)，所述主體(1)的內部設有安裝板(11)，所述主體(1)的底面開設有升降腔(10)，所述升降腔(10)內設有用于主體(1)移動的升降機構(6)，所述主體(1)的內部設有用于調節加熱裝置大小的調節機構(2)，且調節機構(2)貫穿安裝板(11)，所述安裝板(11)的表面設有用于調節機構(2)轉動的旋轉機構(7)，所述調節機構(2)包括旋轉板(211)，所述旋轉板(211)的底面設有調節電機(212)，所述旋轉板(211)的頂面開設有限位槽(205)，所述旋轉板(211)的頂面設有調節板(204)，且調節板(204)與調節電機(212)的輸出端固定連接，所述旋轉板(211)的表面陣列開設有弧形槽(209)，所述旋轉板(211)的頂面設有加熱框架(207)，所述加熱框架(207)的底部設有連接柱(203)，所述連接柱(203)的底面設有限位塊(202)，且限位塊(202)和連接柱(203)分別與弧形槽(209)活動連接。
2.根據權利要求1所述的一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置，其特征在于，所述旋轉板(211)的
3.根據權利要求2所述的一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置，其特征在于，所述旋轉機構(7)包括旋轉電機(701)，且旋轉電機(701)固定在安裝板(11)的底面，且旋轉電機(701)的輸出端貫穿安裝板(11)，所述旋轉電機(701)的輸出端設有傳動齒輪(702)，所述旋轉板(211)的側面設有齒輪條(206)，且傳動齒輪(702)與齒輪條(206)相互嚙合。
4.根據權利要求3所述的一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置，其特征在于，所述升降機構(6)包括液壓缸(604)，所述液壓缸(604)的底面設有支撐板(603)，且支撐板(603)與升降腔(10)活動連接，所述支撐板(603)的底面陣列設有萬向輪(602)，且萬向輪(602)與支撐板(603)活動連接。
5.根據權利要求4所述的一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置，其特征在于，所述主體(1)的表面開設有調節槽(5)，且調節槽(5)貫穿升降腔(10)的側面，所述液壓缸(604)的表面設有調節桿(601)，且調節桿(601)分別與調節槽(5)和液壓缸(604)活動連接。
6.根據權利要求5所述的一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置，其特征在于，所述主體(1)的內側開設有升降槽(8)，所述升降槽(8)內設有升降絲桿(9)，且升降絲桿(9)與安裝板(11)螺紋連接，所述主體(1)的頂面設有升降電機(12)，且升降電機(12)的輸出端與升降絲桿(9)的頂端固定連接。
7.根據權利要求6所述的一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置，其特征在于，所述主體(1)的表面分別設有推桿(4)和控制器(3)，且控制器(3)分別與調節電機(212)、旋轉電機(701)、加熱棒(201)和升降電機(12)電性連接。
...【技術特征摘要】
1.一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置，其特征在于，包括主體(1)，所述主體(1)的內部設有安裝板(11)，所述主體(1)的底面開設有升降腔(10)，所述升降腔(10)內設有用于主體(1)移動的升降機構(6)，所述主體(1)的內部設有用于調節加熱裝置大小的調節機構(2)，且調節機構(2)貫穿安裝板(11)，所述安裝板(11)的表面設有用于調節機構(2)轉動的旋轉機構(7)，所述調節機構(2)包括旋轉板(211)，所述旋轉板(211)的底面設有調節電機(212)，所述旋轉板(211)的頂面開設有限位槽(205)，所述旋轉板(211)的頂面設有調節板(204)，且調節板(204)與調節電機(212)的輸出端固定連接，所述旋轉板(211)的表面陣列開設有弧形槽(209)，所述旋轉板(211)的頂面設有加熱框架(207)，所述加熱框架(207)的底部設有連接柱(203)，所述連接柱(203)的底面設有限位塊(202)，且限位塊(202)和連接柱(203)分別與弧形槽(209)活動連接。
2.根據權利要求1所述的一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置，其特征在于，所述旋轉板(211)的頂面陣列設有導向框架(210)，所述加熱框架(207)與連接柱(203)之間設有導向塊(208)，且導向塊(208)與連接柱(203)轉動連接，且導向塊(208)與導向框架(210)滑動連接，所述加熱框架(207)內均勻設有加熱棒(201)。
3.根據權利要求2所述的一種化學氣相沉積爐的爐底加熱裝置，其特征在于，所述旋轉機構(7)包括旋轉電機(701)，且旋轉電機...
【專利技術屬性】
技術研發人員：徐煒，孫礦，
申請(專利權)人：上海晨華科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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