【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及光刻膠制備，尤其是無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法。
技術(shù)介紹
1、光刻膠是指通過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、x射線等光照或輻射，其溶解度發(fā)生變化的耐蝕刻薄膜材料，是光刻工藝中的關(guān)鍵材料，主要應(yīng)用于集成電路和半導(dǎo)體分立器件的細(xì)微圖形加工。
2、授權(quán)公告號(hào)為cn115755527b的中國專利，公開了一種無光引發(fā)劑的光刻膠及其制備方法、圖案化方法，該光刻膠按質(zhì)量百分比計(jì)，由4-84wt％的含硅氫鍵化合物a、1-86wt％含羥基化合物b和0-91wt％溶劑c組成。該專利技術(shù)的光刻膠無需額外添加光引發(fā)劑，通過激光誘導(dǎo)硅氫鍵和羥基進(jìn)行反應(yīng)，形成交聯(lián)網(wǎng)絡(luò)，從而顯影后得到圖案，操作簡單，環(huán)境友好；同時(shí)，含硅氧烷結(jié)構(gòu)的光刻膠體系具有耐腐蝕、耐氧化穩(wěn)定性、電絕緣和耐高溫等特性。
3、授權(quán)公告號(hào)為cn113249696b的中國專利，公開了一種實(shí)現(xiàn)正負(fù)性轉(zhuǎn)換的nsb2te光刻膠制備及其光刻方法，光刻膠制備方法以sb2te為靶材、以ar為起輝氣體、n2為摻雜氣體，在基片上沉積得到nsb2te光刻膠，控制ar和n2的流量比，使nsb2te光刻膠為正膠或負(fù)膠；光刻方法包括：s1：在基片上沉積一層nsb2te光刻膠，控制nsb2te光刻膠中氮元素的摻雜量，使nsb2te光刻膠為正膠或者負(fù)膠；s2：利用激光直寫光刻系統(tǒng)對所述nsb2te光刻膠進(jìn)行曝光；s3：利用反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)或酸/堿性顯影劑對曝光后的所述nsb2te光刻膠進(jìn)行干法或濕法顯影，得到具有微納結(jié)構(gòu)的光刻樣品。
4、授權(quán)公告號(hào)為cn1570762b
5、以上專利及現(xiàn)有技術(shù)制備的光刻膠，其主體材料采用分子量5000-15000da的聚合物樹脂，這類聚合物樹脂通常由于分子體積太大、分子量多分散以及分子鏈的纏繞等影響光刻圖案的分辨率和邊緣粗糙度。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是提供無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，本方法制備得到的光刻膠具有光刻圖案成像級(jí)別高、高存膜率等優(yōu)點(diǎn)。
2、本專利技術(shù)提供以下技術(shù)方案：
3、無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，其操作步驟為：
4、按照重量份，稱取10-15份四氟硼酸雙［2′,3,3″,4,4″-五羥基-（1,1′,3′,1″-三聯(lián)苯基）-5′-基］甲基硫鎓鹽、5-10份聚烷撐乙二醇、1-3份疊氮基聚乙二醇交聯(lián)劑、50-70份溶劑，攪拌混合，得到無光引發(fā)劑的光刻膠。
5、根據(jù)本專利技術(shù)的實(shí)施方案，所述的溶劑為丙二醇甲醚酸酯和異丙醇，按照體積比為（1-2）：1的混合而成。
6、根據(jù)本專利技術(shù)的實(shí)施方案，所述的疊氮基聚乙二醇交聯(lián)劑的制備方法為：
7、按重量份，將20-40份甲基二乙氧基硅烷，8-16份反-1,1,4,4-四甲氧基-2-丁烯，4-10份疊氮基聚乙二醇丙烯酸酯（cas：1245718-89-1），0.004-0.02份催化劑，200-240份極性酰胺溶劑加入到反應(yīng)釜中，通入氮?dú)庵脫Q空氣，升溫反應(yīng)后，蒸餾除去溶劑，得到疊氮基聚乙二醇交聯(lián)劑。
8、根據(jù)本專利技術(shù)的實(shí)施方案，所述的催化劑為鉑碳催化劑。
9、根據(jù)本專利技術(shù)的實(shí)施方案，所述的極性酰胺溶劑為n,n-二甲基甲酰胺，n,n-二乙基甲酰胺和n,n-二甲基乙酰胺中的一種或幾種。
10、根據(jù)本專利技術(shù)的實(shí)施方案，所述的反應(yīng)溫度為70-80℃，時(shí)間為100-150min。
11、根據(jù)本專利技術(shù)的實(shí)施方案，所述的疊氮基聚乙二醇丙烯酸酯的分子量為400或600或1000或2000。
12、疊氮基聚乙二醇交聯(lián)劑的制備機(jī)理：
13、甲基二乙氧基硅烷，分別與反-1,1,4,4-四甲氧基-2-丁烯，疊氮基聚乙二醇丙烯酸酯發(fā)生硅氫加成反應(yīng)，得到含二乙氧基的疊氮基聚乙二醇交聯(lián)劑；光刻膠經(jīng)曝光，曝光區(qū)域的產(chǎn)生酸與四氟硼酸雙［2′,3,3″,4,4″-五羥基-（1,1′,3′,1″-三聯(lián)苯基）-5′-基］甲基硫鎓鹽中的酚羥基和疊氮基聚乙二醇交聯(lián)劑的甲氧基反應(yīng)，生成質(zhì)子加合物，通過經(jīng)酸催化發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)形成聚合物。
14、本專利技術(shù)無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下有益效果：
15、1、本專利技術(shù)提供一種無需光引發(fā)劑，也可制備光刻膠的工藝；
16、2、本專利技術(shù)制備的光刻膠，具有分子結(jié)構(gòu)明確、分子量單分散和分子尺寸均一等特點(diǎn)，對于第一個(gè)反應(yīng)，甲基二乙氧基硅烷中的硅-氫鍵首先與反-1,1,4,4-四甲氧基-2-丁烯的雙鍵加成，形成一個(gè)新的碳-碳鍵，同時(shí)生成一個(gè)硅醇基團(tuán)；然后，這個(gè)硅醇基團(tuán)再與疊氮基聚乙二醇丙烯酸酯反應(yīng)，生成含二乙氧基的交聯(lián)劑；疊氮基的氮原子具有很強(qiáng)的正電性，可以與硅醇基團(tuán)中的氧原子形成配位鍵；然后，這個(gè)配位鍵可以促進(jìn)硅醇基團(tuán)與另一個(gè)疊氮基的反應(yīng)，從而形成碳-氮鍵，生成含疊氮基的縮水甘油醚交聯(lián)劑；能夠形成穩(wěn)定的碳-碳鍵和碳-氮鍵，增加光刻膠的交聯(lián)程度和穩(wěn)定性；材料具有成像級(jí)別高、高存膜率等優(yōu)點(diǎn)。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，其特征在于：其操作步驟為：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，其特征在于：所述的溶劑為丙二醇甲醚酸酯和異丙醇，按照體積比為（1-2）：1的混合而成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，其特征在于：所述的疊氮基聚乙二醇交聯(lián)劑的制備方法為：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，其特征在于：所述的催化劑為鉑碳催化劑。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，其特征在于：所述的極性酰胺溶劑為N,N-二甲基甲酰胺，N,N-二乙基甲酰胺和N,N-二甲基乙酰胺中的一種或幾種。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，其特征在于：所述的反應(yīng)溫度為70-80℃，時(shí)間為100-150min。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，其特征在于：所述的疊氮基聚乙二醇丙烯酸酯的分子量為400或600或1000或2000。
【技術(shù)特征摘要】
1.無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，其特征在于：其操作步驟為：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，其特征在于：所述的溶劑為丙二醇甲醚酸酯和異丙醇，按照體積比為（1-2）：1的混合而成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，其特征在于：所述的疊氮基聚乙二醇交聯(lián)劑的制備方法為：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的無光引發(fā)劑的光刻膠的制備方法，其特征在于：所述的催化劑為鉑碳催化劑。
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳化群，陳柄坤，
申請(專利權(quán))人：煙臺(tái)舜康生物科技有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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