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    潔凈室環境參數的控制方法、裝置及系統制造方法及圖紙

    技術編號:40989821 閱讀:19 留言:0更新日期:2024-04-18 21:32
    本發明專利技術涉及潔凈室控制的技術領域,公開了一種潔凈室環境參數的控制方法、裝置及系統,本發明專利技術通過采集潔凈室的多項環境參數,構建對應潔凈室的環境反饋模型和影響關系模型,通過環境反饋模型對潔凈室的各項環境參數進行監測,并根據影響關系模型得到對應異常的環境參數的參數控制方案,解決了現有技術中容易出現控制失誤的問題。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術涉及潔凈室控制的,尤其涉及一種潔凈室環境參數的控制方法、裝置及系統


    技術介紹

    1、潔凈室是一種具有嚴格控制空氣污染物、溫度、濕度、氣流速度和其他環境參數的特殊環境。通常用于對空氣質量要求極高的領域,如半導體制造、生物科學研究、醫藥制造等。潔凈室的設計和管理對于確保產品質量、生產效率和實驗準確性至關重要。

    2、潔凈室的多項環境參數均需要得到控制,而這些環境要素之間存在著互相影響的關系,也就是對其中一個進行控制,會導致其他的環境參數變化,從而容易出現控制失誤的現象。


    技術實現思路

    1、本專利技術的目的在于提供一種潔凈室環境參數的控制方法、裝置及系統,旨在解決現有技術中容易出現控制失誤的問題。

    2、本專利技術是這樣實現的,第一方面,本專利技術提供一種潔凈室環境參數的控制方法,包括:

    3、通過預設在潔凈室中的傳感器組對所述潔凈室的各項環境參數進行數據采集,以得到所述潔凈室的各項環境參數;其中,所述環境參數包括微粒參數、溫度參數、濕度參數、壓差參數、化學污染參數、噪音參數;

    4、根據所述潔凈室的各項環境參數構建所述潔凈室的環境反饋模型;其中,所述環境反饋模型用于對所述潔凈室的各項環境參數進行反饋;

    5、基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間的映射關系進行分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數之間的影響關系模型;其中,所述影響關系模型用于對所述潔凈室的各項環境參數之間的影響關系進行描述;

    6、間隔預定時間根據所述環境反饋模型和所述影響關系模型生影響測試方案,根據所述影響測試方案對所述潔凈室進行測試處理,以得到對應所述影響測試方案的影響特征,并根據所述影響特征對所述影響關系模型進行修正;

    7、對所述環境反饋模型進行實時監測,當所述環境反饋模型出現異常反饋特征時,根據所述異常反饋特征和所述影響關系模型進行分析處理,以得到對應所述異常反饋特征的參數控制方案。

    8、優選地,根據所述潔凈室的各項環境參數構建所述潔凈室的環境反饋模型的步驟包括:

    9、構建時間坐標軸;其中,所述時間坐標軸上具有依次排列的時刻坐標點;

    10、基于所述時間坐標軸的各個所述時刻坐標點分別構建與所述時間坐標軸互相垂直的環境參數坐標軸;其中,所述環境參數坐標軸上具有多個顯示層級,每個所述顯示層級分別對應一種潔凈室的環境參數;

    11、根據所述潔凈室的各項所述環境參數在所述時間坐標軸的各個所述時刻坐標點的所述環境參數坐標軸上進行坐標定位和坐標連接,以得到所述潔凈室的環境反饋模型。

    12、優選地,基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間的映射關系進行分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數之間的影響關系模型的步驟包括:

    13、基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間進行各個時刻的參數數值的映射關系的分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數的第一影響關系層級;

    14、基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間進行各個時刻的變化特征的映射關系的分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數的第二影響關系層級;

    15、將所述第一影響關系層級和所述第二影響關系層級共同作為所述潔凈室的各項環境參數之間的影響關系模型。

    16、優選地,基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間進行各個時刻的參數數值的映射關系的分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數的第一影響關系層級的步驟包括:

    17、預先對各項所述環境參數進行劃分,以得到若干關聯組合;其中,所述關聯組合包括影響結果參數和影響施加參數,所述影響結果參數與所述影響施加參數之間存在映射關系;

    18、對各個所述關聯組合的所述影響結果參數和所述影響施加參數進行模糊化處理,以得到對應所述影響結果參數的影響結果區域和所述影響施加參數的影響施加區域,并對各個所述關聯組合的影響結果區域與影響施加區域進行關聯性分析處理,以得到各個所述關聯組合的映射關系。

    19、優選地,基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間進行各個時刻的變化特征的映射關系的分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數的第二影響關系層級的步驟包括:

    20、基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數的變化特征進行提取處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數在各個時刻的變化特征;其中,所述變化特征包括變化趨勢、變化幅度、變化頻率;

    21、對各項所述環境參數的變化特征進行劃分,以得到若干關聯組合;其中,所述關聯組合包括影響結果特征和影響施加特征,所述影響結果特征與所述影響施加特征之間存在映射關系;

    22、對各個所述關聯組合的所述影響結果特征和所述影響施加特征進行模糊化處理,以得到對應所述影響結果特征的影響結果區域和所述影響施加特征的影響施加區域,并對各個所述關聯組合的影響結果區域與影響施加區域進行關聯性分析處理,以得到各個所述關聯組合的映射關系。

    23、優選地,間隔預定時間根據所述環境反饋模型和所述影響關系模型生影響測試方案,根據所述影響測試方案對所述潔凈室進行測試處理,以得到對應所述影響測試方案的影響特征的步驟包括:

    24、根據所述影響關系模型獲取所述潔凈室的各項環境參數之間的影響關系;

    25、將所述環境反饋模型的一項環境參數選擇為測試參數,并根據對應所述測試參數和其他環境參數之間的影響關系生成所述測試參數的理論影響參數;

    26、將所述測試參數與所述理論影響參數作為所述影響測試方案;

    27、根據所述影響測試方案中的測試參數對所述潔凈室進行環境參數控制,以得到對應所述測試參數的實際影響參數;其中,所述實際影響參數是所述潔凈室在接收員所述測試參數的環境參數控制后展現出來的其他所述環境參數的實際變化;

    28、將所述實際影響參數與所述理論影響參數進行比較處理,以得到所述實際影響參數與所述理論影響參數的偏差特征;其中,所述偏差特征用于描述對應所述測試參數與其他所述環境參數之間的影響關系的可靠性程度;

    29、將所述實際影響參數與所述可靠性程度共同作為所述影響測試方案的影響特征。

    30、優選地,根據所述影響特征對所述影響關系模型進行修正的步驟包括:

    31、根據預設標準對所述可靠性程度進行判斷處理,若所述可靠性程度符合預設標準,則無需對所述影響關系模型進行修正;

    32、若所述可靠性程度不符合預設標準,則使用所述測試參數與所述實際影響參數與所述潔凈室在各個時刻的各項環境參數中共同構建所述潔凈室的環境反饋模型,并基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間的映射關系進行分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數之間的影響關系模型。

    33、優選地,對所述環境反饋模型進行實時監測,當所述環境反饋模型出現異常反饋特征時,根據所述異常反饋特征和所述影響關系模型進行分析處理,以本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,包括:

    2.如權利要求1所述的一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,根據所述潔凈室的各項環境參數構建所述潔凈室的環境反饋模型的步驟包括:

    3.如權利要求1所述的一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間的映射關系進行分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數之間的影響關系模型的步驟包括:

    4.如權利要求1所述的一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間進行各個時刻的參數數值的映射關系的分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數的第一影響關系層級的步驟包括:

    5.如權利要求1所述的一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間進行各個時刻的變化特征的映射關系的分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數的第二影響關系層級的步驟包括:

    6.如權利要求1所述的一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,間隔預定時間根據所述環境反饋模型和所述影響關系模型生影響測試方案,根據所述影響測試方案對所述潔凈室進行測試處理,以得到對應所述影響測試方案的影響特征的步驟包括:

    7.如權利要求6所述的一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,根據所述影響特征對所述影響關系模型進行修正的步驟包括:

    8.如權利要求1所述的一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,對所述環境反饋模型進行實時監測,當所述環境反饋模型出現異常反饋特征時,根據所述異常反饋特征和所述影響關系模型進行分析處理,以得到對應所述異常反饋特征的參數控制方案的步驟包括:

    9.一種潔凈室環境參數的控制裝置,其特征在于,包括:

    10.一種潔凈室環境參數的控制系統,其特征在于,用于實現權利要求1-8任意一項所述的一種潔凈室環境參數的控制方法。

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    【技術特征摘要】

    1.一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,包括:

    2.如權利要求1所述的一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,根據所述潔凈室的各項環境參數構建所述潔凈室的環境反饋模型的步驟包括:

    3.如權利要求1所述的一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間的映射關系進行分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數之間的影響關系模型的步驟包括:

    4.如權利要求1所述的一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間進行各個時刻的參數數值的映射關系的分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數的第一影響關系層級的步驟包括:

    5.如權利要求1所述的一種潔凈室環境參數的控制方法,其特征在于,基于所述環境反饋模型對所述潔凈室的各項環境參數之間進行各個時刻的變化特征的映射關系的分析處理,以得到所述潔凈室的各項環境參數的...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:齊峻嶺黃永康張子杰陳祥棟
    申請(專利權)人:深圳市德尼環境技術有限公司
    類型:發明
    國別省市:

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