【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及陶瓷產品組裝，尤其是涉及一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置及組裝方法。
技術介紹
1、陶瓷機械手臂又稱末端執行器、陶瓷真空手臂等,主要在半導體設備中起到輸送搬運的作用，它相當于半導體設備這個機器人的手，負責搬運晶圓硅晶片到指定位置。由于晶圓硅晶片極其容易受到其他物質的污染，所以一般在真空環境下進行。在此環境下，大部分材料的機械手臂一般難以完成工作，制作機械手臂的材料需要耐高溫、高氣密性。目前國內普遍的陶瓷真空手臂由手臂主體和貼片組成，通過環氧樹脂膠水進行粘結組裝，環氧樹脂膠一般通過手動涂抹，膠層容易出現不均勻的現象，且高溫膠水需要在80℃-120℃環境下進行固化，固化過程中膠水會進行流動容易在局部位置出現凹坑，出現漏點，導致片叉氣密性較差。綜上所述，現有的膠水片叉組裝技術很難實現陶瓷真空手臂完全密封的情況。
2、隨著技術進步，例如在中國專利文獻上公開的“多層陶瓷異型器件及其制造方法”，其公告號“cn1648100”，該多層器件結構由數片陶瓷片組成，具有在內部或至少在一個主平面上形成需要形狀的氣路或氣流通道。該方法可以利用流延、干壓、軋膜等，制得生坯，燒成后獲得表面平整，瓷體均勻的陶瓷基片，再對所得的陶瓷基片進行加工，對于陶瓷片層間粘結可用三種方式：1.有機粘結劑粘結，如環氧樹脂；2.玻璃釉粘結；3.高溫壓力粘結。
3、上述方案提供了一種簡單穩定且便宜的制造多層陶瓷異型器件方法，但該方案未考慮涂抹粘接膠體易出現不均勻的問題，因此亟待改進。
技術實現思路p>
1、針對現有技術中通過片層膠接形成的陶瓷真空手臂易出現膠層不均勻等問題，本專利技術提供了一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置及組裝方法，利用激光切割粘合體成特定形狀，從而確保粘合體厚度均勻，貼合后位置準確，且貼合牢固，能夠確保真空手臂片層之間膠接后氣密性好。
2、為了實現上述目的，本專利技術采用以下技術方案：包括激光切割機構和安置手臂主體的定位基板，所述定位基板和激光切割機構之間設置有切換式膠帶安置板，所述切換式膠帶安置板上包括有膠帶定型部，所述膠帶定型部可切換匹配激光切割機構或定位基板。本方案中，陶瓷真空手臂由手臂主體與組裝用貼片組成，其中手臂主體與組裝用貼片之間通過耐高溫膠帶膠接。利用切換式膠帶安置板攜帶耐高溫膠帶進行激光切割加工，達到形狀要求后移動至定位基板處等待將手臂主體與組裝用貼片粘合。膠帶定型部可以匹配激光切割機構或定位基板進行切換。這個設備設計的優點在于它實現了膠帶在兩個不同功能的機構之間的無縫切換，這大大提高了生產效率和準確度。在傳統的生產過程中，膠帶需要在切割和定位兩個過程中進行物理移動，這不僅增加了生產的時間，也可能導致膠帶在移動過程中的定位偏差，影響生產的精度。而這款設備通過膠帶定型部的切換，實現了膠帶在兩個機構之間的快速切換，大大提高了生產效率和精度。
3、作為優選，所述膠帶定型部包括設置于切換式膠帶安置板上的真空吸盤組件，所述真空吸盤組件包括吸板和設置于吸板側部的轉軸，所述轉軸內部設置有連通于吸板的真空管，所述真空管遠離吸板的一端設置有真空發生器。利用真空原理，實現了膠帶的精確定位和移動。在傳統的生產過程中，膠帶的移動和定位通常依賴物理力量，這種方式不僅力度難以控制，也可能對膠帶造成損傷。而這款設備通過真空吸盤組件，實現了膠帶的精確吸附和移動，既保證了膠帶的完整性，也提高了定位的準確度。另外，轉軸的設置可以使切換式膠帶安置板能夠在原位置進行轉動，當其轉動至吸板朝向正上方時，可以進行激光切割膠帶；而切割完成后翻轉180°即可對正定位基板等待膠合工作，避免二次定位工序，降低定位誤差，確保膠帶能夠將組裝用貼片與陶瓷手臂主體精準粘合。
4、作為優選，所述定位基板上設置有貼片槽，所述吸板上對應貼片槽設置的凸臺，所述凸臺邊沿設置有連通于真空管的吸附孔。貼片槽和吸附孔的設計使得膠帶可以被精確地吸附在指定的位置，減少了膠帶在移動過程中的偏差。同時，凸臺和吸附孔的設計也使得設備可以根據膠帶的大小和形狀進行精確的定位，提高了設備的通用性和適應性，進一步提高了膠帶定位和移動的精確度。
5、作為優選，所述真空發生器上連接設置有氣動開關。傳統的生產設備通常需要人工操作，這不僅增加了生產的難度和復雜度，也可能導致操作誤差。而這款設備通過氣動開關，可以實現真空發生器的自動操作，大大提高了生產效率和精度。它實現了設備操作的自動化和智能化。
6、作為優選，所述切換式膠帶安置板包括切割檔位和貼合檔位，當處于切割檔位時，膠帶定型部對正激光切割機構；當處于貼合檔位時，膠帶定型部對正定位基板。通過切割檔位和貼合檔位的設定，讓膠帶定型部能夠精確地對準激光切割機構和定位基板，這樣更加精確和方便地進行膠帶的處理，不僅提高了工作效率，也增強了產品的質量和一致性。在傳統的生產過程中，切割和貼合的轉換通常需要人工操作，這不僅耗時，還可能因為操作不準確而導致產品質量的波動。而這款設備通過切換式膠帶安置板的設計，實現了切割和貼合的自動切換，大大提高了生產效率和產品質量。通過在切割檔位與貼合檔位之間切換，使得膠帶的修型以及參與陶瓷手臂組裝之間快速切換進行，顯著提升組裝效率。
7、作為優選，所述定位基板上沿手臂主體邊沿設置有若干限位銷。在傳統生產中，手臂主體的定位通常依賴人工操作，這種方式不僅效率低下，而且容易出現定位誤差，影響產品質量。而通過限位銷的設計，手臂主體可以被準確地固定在定位基板上，從而保證膠帶貼合的精確度，提高產品質量。確保了手臂主體在定位基板上的精準位置，從而保證了膠帶貼合的精確度。
8、作為優選，所述定位基板上還設置有夾持治具，所述夾持治具包括沿定位基板寬度方向對稱設置的至少兩壓扣機構，所述壓扣機構包括可沿高度方向升降動作的扣頭。傳統的生產過程中，手臂主體的夾持通常依賴人工操作，這種方式可能會導致手臂主體在生產過程中的移動，影響產品質量。通過使用夾持治具和壓扣機構，手臂主體可以被穩定地夾持在定位基板上，從而保證了在切割和貼合過程中的穩定性和準確性，實現了對手臂主體的穩定夾持。
9、作為優選，所述吸板兩端設置有至少兩限位孔，所述定位基板對應各限位孔設置有導向銷。在傳統生產過程中，吸板的移動和定位通常依賴人工操作，這種方式不僅效率低下，而且容易引發誤差，影響產品質量。而通過限位孔和導向銷的設計，吸板可以在定位基板上精確地移動和定位，從而保證了膠帶的定位和移動的精確度，提高產品質量。保證了吸板在活動過程中的精準度，同時也保證了膠帶的定位和移動的精準度。
10、本申請還公開了采用上述陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置的組裝方法，包括以下步驟：
11、(a)?選定陶瓷手臂主體及組裝用貼片；
12、(b)?選定耐高溫膠帶；
13、(c)?將陶瓷手臂主體通過夾持治具固定在定位基板上；
14、(d)?將耐高溫膠帶通過吸板進行吸附，將切換式膠帶安置版調整至切割檔位，通過激光切割機構將耐高溫膠帶切割成貼片槽的形狀；...
【技術保護點】
1.一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，包括激光切割機構和安置手臂主體的定位基板，所述定位基板和激光切割機構之間設置有切換式膠帶安置板，所述切換式膠帶安置板上包括有膠帶定型部，所述膠帶定型部可切換匹配激光切割機構或定位基板。
2.根據權利要求1所述的一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，所述膠帶定型部包括設置于切換式膠帶安置板上的真空吸盤組件，所述真空吸盤組件包括吸板和設置于吸板側部的轉軸，所述轉軸內部設置有連通于吸板的真空管，所述真空管遠離吸板的一端設置有真空發生器。
3.根據權利要求2所述的一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，所述定位基板上設置有貼片槽，所述吸板上對應貼片槽設置的凸臺，所述凸臺邊沿設置有連通于真空管的吸附孔。
4.根據權利要求2所述的一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，所述真空發生器上連接設置有氣動開關。
5.根據權利要求1-4任意一項所述的一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，所述切換式膠帶安置板包括切割檔位和貼合檔位，當處于切割檔位時，膠帶定型
6.根據權利要求1所述的一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，所述定位基板上沿手臂主體邊沿設置有若干限位銷。
7.根據權利要求1所述的一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，所述定位基板上還設置有夾持治具，所述夾持治具包括沿定位基板寬度方向對稱設置的至少兩壓扣機構，所述壓扣機構包括可沿高度方向升降動作的扣頭。
8.根據權利要求2所述的一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，所述吸板兩端設置有至少兩限位孔，所述定位基板對應各限位孔設置有導向銷。
9.一種采用權利要求1-8任意一項所述陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置的組裝方法，其特征在于，包括以下步驟：
10.根據權利要求9所述的一種采用陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置的組裝方法，其特征在于，在步驟(a)中，選定的手臂主體與組裝用貼片的正投影面積相同。
...【技術特征摘要】
1.一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，包括激光切割機構和安置手臂主體的定位基板，所述定位基板和激光切割機構之間設置有切換式膠帶安置板，所述切換式膠帶安置板上包括有膠帶定型部，所述膠帶定型部可切換匹配激光切割機構或定位基板。
2.根據權利要求1所述的一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，所述膠帶定型部包括設置于切換式膠帶安置板上的真空吸盤組件，所述真空吸盤組件包括吸板和設置于吸板側部的轉軸，所述轉軸內部設置有連通于吸板的真空管，所述真空管遠離吸板的一端設置有真空發生器。
3.根據權利要求2所述的一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，所述定位基板上設置有貼片槽，所述吸板上對應貼片槽設置的凸臺，所述凸臺邊沿設置有連通于真空管的吸附孔。
4.根據權利要求2所述的一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，所述真空發生器上連接設置有氣動開關。
5.根據權利要求1-4任意一項所述的一種陶瓷真空手臂的耐高溫膠帶組裝裝置，其特征在于，所述切...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王軼軍，馬玉琦，
申請(專利權)人：杭州大和江東新材料科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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