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    批量芯片測試方法、裝置及電子設備制造方法及圖紙
    
                            
    技術編號：41067048 閱讀：28 留言：0更新日期：2024-04-24 11:21
    
                        
    
                        
    
                            
                            本公開提供一種批量芯片測試方法、裝置及電子設備，所述方法包括：對待測芯片從第1測試項到第n測試項進行逐項測試，其中，n為大于1的自然數；當第i測試項測試通過時，則對所述待測芯片的第i+1測試項進行測試，1≤i≤n?1，直至第n測試項通過，判定所述待測芯片為合格芯片；當第i測試項測試報錯時，判斷所述第i測試項是否為具有回收價值的測試項，當所述第i測試項為不具有回收價值的測試項時，停止所述待測芯片測試，判定所述待測芯片為不良芯片，當所述第i測試項為具有回收價值的測試項，則對該第i測試項進行自動復測。
    
                            
                            
    


    
                            

                            
    【技術實現步驟摘要】
    
                                
    本公開涉及集成電路測試，具體而言，涉及一種批量芯片測試方法、裝置及電子設備。

    技術介紹
    1、隨著5g、ai、自動駕駛領域對高可靠芯片的需求增加，芯片的測試項越來越多，測試時間越來越長，因此需要在保證芯片測試質量的前提下提高芯片測試效率，以降低測試成本。
    2、現有技術在芯片測試的過程中，當測試芯片首次遇到測試錯誤便停止測試該芯片，轉到下一芯片測試，待整片晶圓測試完成后，再對錯誤芯片進行復測，復測完成后，由工程師審核數據，發現有誤測再人工安排二次復測失效管芯，得到最終的測試良率。這種二次復測、三次復測會增加產品重啟以及走步、復測等時間，尤其是多工位產品，再次復測會增加很多時間，使得測試效率降低。

    技術實現思路
    1、本公開的目的在于提供一種批量芯片測試方法、裝置及電子設備，具體方案如下：
    2、根據本公開的具體實施方式，本公開提供一種批量芯片測試方法，對多個芯片逐一進行測試，包括：
    3、對待測芯片從第1測試項到第n測試項進行逐項測試，其中，n為大于1的自然數；
    4、當第i測試項測試通過時，則對所述待測芯片的第i+1測試項進行測試，1≤i≤n-1，直至第n測試項通過，判定所述待測芯片為合格芯片；
    5、當第i測試項測試報錯時，判斷所述第i測試項是否為具有回收價值的測試項，當所述第i測試項為不具有回收價值的測試項時，停止所述待測芯片測試，判定所述待測芯片為不良芯片，當所述第i測試項為具有回收價值的測試項，則對該第i測試項進行自動復測。</p>
    6、可選的，所述方法還包括：
    7、當第i測試項的復測通過時，則對所述待測芯片的第i+1測試項進行測試，1≤i≤n-1，直至第n測試項通過，判定所述待測芯片為合格芯片；
    8、當第i測試項的復測報錯時，停止所述待測芯片測試，判定所述待測芯片為不良芯片。
    9、可選的，在判定所述待測芯片為合格芯片或不良芯片后，所述方法還包括：
    10、對下一待測芯片從第1測試項到第n測試項進行逐項測試。
    11、可選的，判斷所述第i測試項是否為具有回收價值的測試項，包括：
    12、基于樣本芯片測試獲得第一樣本數據集和第二樣本數據集，其中，所述第一樣本數據集中的樣本芯片的所有測試項均未報錯，所述第二樣本數據集中的樣本芯片至少有一項測試項報錯；
    13、對所述第二樣本數據集中所有報錯的樣本芯片進行復測，形成統計數據集；
    14、基于所述統計數據集確定每一測試項的回收價值；
    15、當所述第i測試項屬于所述第二樣本數據集且所述第i測試項的回收價值不低于預設回收閾值時，所述第i測試項為具有回收價值的測試項，否則，所述第i測試項為不具有回收價值的測試項。
    16、可選的，對所述第二樣本數據集中所有報錯的樣本芯片進行復測，形成統計數據集，包括：
    17、對所述第二樣本數據集中所有報錯的樣本芯片的所有測試項進行復測，形成統計數據集，所述統計數據集包括以下至少一項：
    18、復測測試項全部通過數據；
    19、復測報錯測試項仍然未通過數據；
    20、復測新增測試項數據。
    21、可選的，所述基于所述統計數據集確定每一測試項的回收價值pi，包括：其中，ai表示第i測試項的回收系數，n1表示復測測試項全部通過數據，n2表示復測報錯測試項仍然未通過數據，n3表示復測新增測試項數據。
    22、可選的，第i測試項的回收系數ai的取值范圍為0.5-5。
    23、可選的，還包括基于所述回收價值確定回收閾值，所述回收閾值為所述回收價值的統計平均值。
    24、本公開提供一種批量芯片測試裝置，包括：
    25、測試單元，配置為對待測芯片從第1測試項到第n測試項進行逐項測試，其中，n為大于1的自然數；
    26、判定單元，配置為當第i測試項測試通過時，則對所述待測芯片的第i+1測試項進行測試，1≤i≤n-1，直至第n測試項通過，判定所述待測芯片為合格芯片；
    27、復測單元，配置為當第i測試項測試報錯時，判斷所述第i測試項是否為具有回收價值的測試項，當所述第i測試項為不具有回收價值的測試項時，停止所述待測芯片測試，判定所述待測芯片為不良芯片，當所述第i測試項為具有回收價值的測試項，則對該第i測試項進行自動復測。
    28、根據本公開的具體實施方式，本公開提供一種電子設備，包括處理器和存儲器，所述存儲器存儲有能夠被所述處理器執行的計算機程序指令，所述處理器執行所述計算機程序指令時，實現如上任一所述的方法步驟。
    29、與現有技術相比，本公開實施例具有如下的技術效果：
    30、本公開提供的晶圓測試方法，首先通過樣本芯片測試獲得樣本芯片中報錯的測試項數據，通過對樣本芯片報錯的測試項進行復測，確定出每一報錯測試項的回收價值，以便于對待測芯片進行測試時，當具有回收價值的測試項報錯時，直接進行復測，當不具有回收價值的測試項報錯時，不進行復測，直接停止測試，以提高測試效率。
    本文檔來自技高網...
                            
    
                            
    【技術保護點】
    
                                
    1.一種批量芯片測試方法，對多個芯片逐一進行測試，其特征在于包括：
    2.根據權利要求1所述的批量芯片測試方法，其特征在于，所述方法還包括：當第i測試項的復測通過時，則對所述待測芯片的第i+1測試項進行測試，1≤i≤n-1，直至第n測試項通過，判定所述待測芯片為合格芯片；
    3.根據權利要求2所述的批量芯片測試方法，其特征在于，在判定所述待測芯片為合格芯片或不良芯片后，所述方法還包括：對下一待測芯片從第1測試項到第n測試項進行逐項測試。
    4.根據權利要求1-3任意一項所述的批量芯片測試方法，其特征在于，判斷所述第i測試項是否為具有回收價值的測試項，包括：基于樣本芯片測試獲得第一樣本數據集和第二樣本數據集，其中，所述第一樣本數據集中的樣本芯片的所有測試項均未報錯，所述第二樣本數據集中的樣本芯片至少有一項測試項報錯；
    5.根據權利要求4所述的批量芯片測試方法，其特征在于，對所述第二樣本數據集中所有報錯的樣本芯片進行復測，形成統計數據集，包括：
    6.根據權利要求5所述的批量芯片測試方法，其特征在于，所述基于所述統計數據集確定每一測試項的回收價值Pi，包括：其中，Ai表示第i測試項的回收系數，N1表示復測測試項全部通過數據，N2表示復測報錯測試項仍然未通過數據，N3表示復測新增測試項數據。
    7.根據權利要求6所述的批量芯片測試方法，其特征在于，第i測試項的回收系數Ai的取值范圍為0.5-5。
    8.根據權利要求2所述的批量芯片測試方法，其特征在于，還包括基于所述回收價值確定回收閾值，所述回收閾值為所述回收價值的統計平均值。
    9.一種批量芯片測試裝置，其特征在于包括：測試單元，配置為對待測芯片從第1測試項到第n測試項進行逐項測試，其中，n為大于1的自然數；
    10.一種電子設備，包括處理器和存儲器，其特征在于，所述存儲器存儲有能夠被所述處理器執行的計算機程序指令，所述處理器執行所述計算機程序指令時，實現如權利要求1-8任一所述的方法。
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    【技術特征摘要】
    
                                
    1.一種批量芯片測試方法，對多個芯片逐一進行測試，其特征在于包括：
    2.根據權利要求1所述的批量芯片測試方法，其特征在于，所述方法還包括：當第i測試項的復測通過時，則對所述待測芯片的第i+1測試項進行測試，1≤i≤n-1，直至第n測試項通過，判定所述待測芯片為合格芯片；
    3.根據權利要求2所述的批量芯片測試方法，其特征在于，在判定所述待測芯片為合格芯片或不良芯片后，所述方法還包括：對下一待測芯片從第1測試項到第n測試項進行逐項測試。
    4.根據權利要求1-3任意一項所述的批量芯片測試方法，其特征在于，判斷所述第i測試項是否為具有回收價值的測試項，包括：基于樣本芯片測試獲得第一樣本數據集和第二樣本數據集，其中，所述第一樣本數據集中的樣本芯片的所有測試項均未報錯，所述第二樣本數據集中的樣本芯片至少有一項測試項報錯；
    5.根據權利要求4所述的批量芯片測試方法，其特征在于，對所述第二樣本數據集中所有報錯的樣本芯片進行復測，形成...
                            
    
                            
    【專利技術屬性】
    
                                技術研發人員：余琨，王玉龍，祁建華，程茗姝，
    
        申請(專利權)人：上海華嶺集成電路技術股份有限公司，
    
        類型：發明
    
        國別省市：
    
                            
    
                            
                        
    
                    
    
                    
                    
                     
                
    
                
                
    
                    
    
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