【技術實現步驟摘要】
本技術涉及多晶硅，具體涉及一種多晶硅再生氫固體雜質過濾系統。
技術介紹
1、多晶硅，是單質硅的一種形態。熔融的單質硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結合起來，就結晶成多晶硅。多晶硅是生產單晶硅的直接原料，是當代人工智能、自動控制、信息處理、光電轉換等半導體器件的電子信息基礎材料。
2、目前，多晶硅的生產中會產生含有大量氯硅烷（包括sihcl3、sicl4、sih2cl2）的氫氣，比如精餾系統中硅烷液罐的吹掃及穩壓氫氣、尾氣回收裝置中氫氣吸附系統的反吹氫氣（含有少量吸附柱中的碳粉）、冷氫化裝置中的低壓放空氫氣（含有少量硅粉）、還原裝置中還原爐氫氣置換后的放空氣（含有硅粉），它們在實現氯硅烷與氫氣分離的過程中，其含有的固體雜質容易對管道、設備造成磨損和堵塞，影響生產系統的安全穩定運行，亟需解決。
技術實現思路
1、本技術的目的是開發一種對混合氣體中的固定雜質過濾，避免管道、設備造成磨損和堵塞的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統。
2、本技術通過如下的技術方案實現：
3、一種多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，包括：
4、順次連通的一級換熱器、二級換熱器、壓縮機、三級換熱器、四級換熱器及五級換熱器；
5、第一收集罐，與一級換熱器、二級換熱器連通；
6、第二收集罐，與三級換熱器、四級換熱器及五級換熱器連通；
7、其中，所述一級換熱器上連通有進料主管，
8、可選的，所述一級換熱器上連通有循環水上水管及循環水回水管
9、可選的，所述二級換熱器上連通有冷凍水上水管及冷凍水回水管
10、可選的，所述壓縮機與解析氣過濾器之間連通有吸入罐，所述壓縮機與三級換熱器之間順次連通有緩沖罐及排出罐。
11、可選的，所述吸入罐、緩沖罐及排出罐均與第一收集罐連通。
12、可選的，所述緩沖罐與排出罐之間連通有回氣管，所述回氣管上設有氣動閥。
13、可選的，所述緩沖罐與排出罐之間連通有冷卻器，所述冷卻器上連通有冷凍水上水管和冷凍水回水管，所述冷卻器與第一收集罐連通。
14、可選的，所述五級換熱器上連通有冷媒進管和冷媒出管，所述冷媒進管輸送-40℃的r22。
15、可選的，所述四級換熱器與五級換熱器之間連通有循環管，所述四級換熱器上設有氫氣管。
16、可選的，所述三級換熱器上連通有冷量利用進管和冷量利用出管，所述冷量利用進管與第二收集罐連通。
17、本技術的有益效果是：
18、本技術通過多級換熱將氯硅烷逐步冷凝，使氯硅烷與氫氣分離，氯硅烷與氫氣均得到回收利用，設置的尾氣過濾器將硅粉過濾，避免硅粉對系統內的管道、換熱器及儲罐設備造成損壞或堵塞，設置的解析氣過濾器對可能存在的二氧化硅及碳粉進行過濾，避免對壓縮機及后續的管道、換熱器及儲罐設備造成影響。
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1.一種多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述一級換熱器上連通有循環水上水管及循環水回水管。
3.根據權利要求1所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述二級換熱器上連通有冷凍水上水管及冷凍水回水管。
4.根據權利要求1所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述壓縮機與解析氣過濾器之間連通有吸入罐，所述壓縮機與三級換熱器之間順次連通有緩沖罐及排出罐。
5.根據權利要求4所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述吸入罐、緩沖罐及排出罐均與第一收集罐連通。
6.根據權利要求4所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述緩沖罐與排出罐之間連通有回氣管，所述回氣管上設有氣動閥。
7.根據權利要求4所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述緩沖罐與排出罐之間連通有冷卻器，所述冷卻器上連通有冷凍水上水管和冷凍水回水管，所述冷卻器與第一收集罐連通。
8.根據權利要求1所述的多晶硅再生
9.根據權利要求8所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述四級換熱器與五級換熱器之間連通有循環管，所述四級換熱器上設有氫氣管。
10.根據權利要求8所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述三級換熱器上連通有冷量利用進管和冷量利用出管，所述冷量利用進管與第二收集罐連通。
...【技術特征摘要】
1.一種多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述一級換熱器上連通有循環水上水管及循環水回水管。
3.根據權利要求1所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述二級換熱器上連通有冷凍水上水管及冷凍水回水管。
4.根據權利要求1所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述壓縮機與解析氣過濾器之間連通有吸入罐，所述壓縮機與三級換熱器之間順次連通有緩沖罐及排出罐。
5.根據權利要求4所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述吸入罐、緩沖罐及排出罐均與第一收集罐連通。
6.根據權利要求4所述的多晶硅再生氫固體雜質過濾系統，其特征在于，所述緩沖罐與排...
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉真，彭中，楊強，江慶云，鄧洪汶，李俊朝，楊文學，段春林，肖冬，趙振剛，
申請(專利權)人：云南通威高純晶硅有限公司，
類型：新型
國別省市：
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