【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本公開大體上涉及疊加計量，且更特定來說，涉及借助相互相干傾斜照明的暗場成像疊加計量。
技術介紹
1、疊加計量系統通常通過測量位于所關注層上的疊加目標特征的相對位置來表征樣本的多個層的疊加對準。隨著所制造特征的大小減小且特征密度增加，對表征這些特征所需的疊加計量系統的需求增加。因此，期望開發用以解決這些需求的系統及方法。
技術實現思路
1、根據本公開的一或多個說明性實施例，公開一種疊加計量系統。在一個說明性實施例中，所述系統包含用以在實施計量配方時產生一或多對照明光束的一或多個照明源，其中所述照明光束對中的每一者內的所述照明光束是相互相干的。在另一說明性實施例中，所述系統包含用以在實施所述計量配方時將所述照明光束對引導到樣本上的疊加目標的一或多個照明光學器件，其中所述照明光束對中的特定者內的所述照明光束以共同高度入射角及對稱相對方位入射角沿著選定照明方向引導到所述疊加目標。在另一說明性實施例中，根據所述計量配方的所述疊加目標包含沿著一或多個測量方向分布的兩個或更多個光柵結構。在另一說明性實施例中，所述系統包含用以在實施所述計量配方時使所述疊加目標成像到一或多個檢測器上的一或多個成像光學器件，其中所述兩個或更多個光柵結構中的特定者的圖像專門用來自所述照明光束對中的所述特定者內的所述照明光束中的每一者的單個非零衍射級的光來產生。在另一說明性實施例中，所述系統包含用以基于從所述一或多個檢測器接收的所述疊加目標的一或多個圖像確定沿著所述一或多個測量方向的疊加測量的控制器。
2、根
3、根據本公開的一或多個說明性實施例，公開一種疊加計量系統。在一個說明性實施例中，所述系統包含控制器。在另一說明性實施例中，所述控制器基于從一或多個檢測器接收的一或多個疊加目標的一或多個圖像來確定沿著一或多個測量方向的疊加測量。在另一說明性實施例中，根據計量配方的所述疊加目標包含沿著所述一或多個測量方向分布的兩個或更多個光柵結構。在另一說明性實施例中，所述一或多個疊加目標的所述一或多個圖像基于源于一或多對照明光束的照明來產生。在另一說明性實施例中，所述照明光束對中的每一者內的所述照明光束是相互相干的。在另一說明性實施例中，所述照明光束對中的特定者內的所述照明光束以共同高度入射角及對稱相對方位入射角沿著選定照明方向引導到所述疊加目標。在另一說明性實施例中，所述兩個或更多個光柵結構中的特定者的圖像專門用來自所述照明光束對中的特定者內的所述照明光束中的每一者的單個非零衍射級的光來產生。
4、應理解，前文概述及下文詳細描述兩者僅是示范性及解釋性的且不一定限制如所要求的本專利技術。并入本說明書中且構成本說明書的一部分的附圖說明本專利技術的實施例且連同所述概述一起用于解釋本專利技術的原理。
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1.一種疊加計量系統，其包括：
2.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述疊加目標上的所述兩個或更多個光柵結構包括：
3.根據權利要求2所述的疊加計量系統，其中所述疊加目標包括：
4.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述疊加目標上的所述兩個或更多個光柵結構包括：
5.根據權利要求4所述的疊加計量系統，其中所述疊加目標包括：
6.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述兩個或更多個光柵結構包括：
7.根據權利要求6所述的疊加計量系統，其中所述一或多個照明源包含用以產生所述兩對照明光束中的第一對的第一照明源及用以產生所述兩對照明光束中的第二對的第二照明源。
8.根據權利要求6所述的疊加計量系統，其中所述一或多個照明源包含用以產生所述兩對照明光束的單個照明源。
9.根據權利要求8所述的疊加計量系統，其中所述兩對照明光束中的第一對中的所述照明光束相對于所述兩對照明光束中的第二對中的所述照明光束非相干。
10.根據權利要求8所述的疊加計量系統，其中所述兩對照明光束中的所有
11.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述兩個或更多個光柵結構沿著單個測量方向定向，其中所述一或多對照明光束包含單對照明光束。
12.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述一或多對照明光束入射在所述樣本上的覆蓋所述疊加目標的共同光點上。
13.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述一或多個成像光學器件包含用以收集來自所述疊加目標的光的物鏡，其中所述一或多個照明光學器件將所述一或多對照明光束引導到所述物鏡的數值孔徑(NA)外的所述疊加目標。
14.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述一或多個成像光學器件包含用以收集來自所述疊加目標的光的物鏡，其中所述一或多個照明光學器件通過所述物鏡將所述一或多對照明光束引導到所述疊加目標。
15.一種疊加計量方法，其包括：
16.一種疊加計量系統，其包括：
17.根據權利要求16所述的疊加計量系統，其中所述疊加目標上的所述兩個或更多個光柵結構包括：
18.根據權利要求17所述的疊加計量系統，其中所述疊加目標包括：
19.根據權利要求16所述的疊加計量系統，其中所述疊加目標上的所述兩個或更多個光柵結構包括：
20.根據權利要求19所述的疊加計量系統，其中所述疊加目標包括：
21.根據權利要求16所述的疊加計量系統，其中所述兩個或更多個光柵結構包括：
22.根據權利要求21所述的疊加計量系統，其中所述一或多個照明源包含用以產生所述兩對照明光束中的第一對的第一照明源及用以產生所述兩對照明光束中的第二對的第二照明源。
23.根據權利要求21所述的疊加計量系統，其中所述一或多個照明源包含用以產生所述兩對照明光束的單個照明源。
24.根據權利要求23所述的疊加計量系統，其中所述兩對照明光束中的第一對中的所述照明光束相對于所述兩對照明光束中的第二對中的所述照明光束非相干。
25.根據權利要求23所述的疊加計量系統，其中所述兩對照明光束中的所有所述照明光束是相互相干的。
26.根據權利要求16所述的疊加計量系統，其中所述兩個或更多個光柵結構沿著單個測量方向定向，其中所述一或多對照明光束包含單對照明光束。
27.根據權利要求16所述的疊加計量系統，其中所述一或多對照明光束入射在所述樣本上的覆蓋所述疊加目標的共同光點上。
28.根據權利要求16所述的疊加計量系統，其中一或多個成像光學器件包含用以收集來自所述疊加目標的光的物鏡，其中所述一或多個照明光學器件將所述一或多對照明光束引導到所述物鏡的數值孔徑(NA)外的所述疊加目標。
29.根據權利要求16所述的疊加計量系統，其中所述一或多個成像光學器件包含用以收集來自所述疊加目標的光的物鏡，其中所述一或多個照明光學器件通過所述物鏡將所述一或多對照明光束引導到所述疊加目標。
...【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
1.一種疊加計量系統，其包括：
2.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述疊加目標上的所述兩個或更多個光柵結構包括：
3.根據權利要求2所述的疊加計量系統，其中所述疊加目標包括：
4.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述疊加目標上的所述兩個或更多個光柵結構包括：
5.根據權利要求4所述的疊加計量系統，其中所述疊加目標包括：
6.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述兩個或更多個光柵結構包括：
7.根據權利要求6所述的疊加計量系統，其中所述一或多個照明源包含用以產生所述兩對照明光束中的第一對的第一照明源及用以產生所述兩對照明光束中的第二對的第二照明源。
8.根據權利要求6所述的疊加計量系統，其中所述一或多個照明源包含用以產生所述兩對照明光束的單個照明源。
9.根據權利要求8所述的疊加計量系統，其中所述兩對照明光束中的第一對中的所述照明光束相對于所述兩對照明光束中的第二對中的所述照明光束非相干。
10.根據權利要求8所述的疊加計量系統，其中所述兩對照明光束中的所有所述照明光束是相互相干的。
11.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述兩個或更多個光柵結構沿著單個測量方向定向，其中所述一或多對照明光束包含單對照明光束。
12.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述一或多對照明光束入射在所述樣本上的覆蓋所述疊加目標的共同光點上。
13.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述一或多個成像光學器件包含用以收集來自所述疊加目標的光的物鏡，其中所述一或多個照明光學器件將所述一或多對照明光束引導到所述物鏡的數值孔徑(na)外的所述疊加目標。
14.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述一或多個成像光學器件包含用以收集來自所述疊加目標的光的物鏡，其中所述一或多個照明光學器件通過所述物鏡將所述一或多對照明光束引導到所述疊加目標。
15.一種疊加計量方法，其包括：
【專利技術屬性】
技術研發人員：A·V·希爾，V·萊溫斯基，D·內格里，A·瑪納森，Y·瓦克寧，
申請(專利權)人：科磊股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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