一種光刻玻璃浸液強化處理裝置制造方法及圖紙

本技術(shù)公開了一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，包括：強化箱，其兩端分別設(shè)有浸液室和清洗室。本裝置在使用時，首先在浸液室上方的放置籃上裝有需要強化的玻璃，在裝入后，利用氣缸帶動放置籃下落到裝入加強液的浸液室內(nèi)，進行浸液強化操作，在強化完畢后，此時氣缸帶動放置籃上升，多余的強化液順著透液孔流出，此時電動旋轉(zhuǎn)座帶動強化后的放置籃旋轉(zhuǎn)到清洗室上，并利用氣缸帶動放置籃下落到清洗室內(nèi)進行泡水清洗操作，在清洗的過程中，另一側(cè)的放置籃會重新移動到浸液室上方，此時便可重新更換新的放置籃進行浸液操作，能夠?qū)⒔汉颓逑醇稍谝黄穑瑴p少整體強化設(shè)備的成本和占地面積的同時能夠有效的提高工作效率。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)屬于玻璃強化，具體為一種光刻玻璃浸液強化處理裝置。

技術(shù)介紹

1、玻璃可作為光刻系統(tǒng)的專用基片，在玻璃加工的過程中，可通過化學(xué)強化法來加強玻璃的抗拉和抗壓強度，從而提高玻璃在后續(xù)使用的強度。

2、目前化學(xué)強化法需要將玻璃置于溫度為410-430℃的玻璃強化液中，恒溫浸泡10-14h，浸泡完成后還需水中浸泡10-14h，然后用去離子清洗、烘干，獲得強化玻璃。

3、申請人發(fā)現(xiàn)浸液和水中浸泡的時間近似相同，目前現(xiàn)在的強化處理裝置在浸液后需要利用移載設(shè)備移動到下一工序設(shè)備(清洗)內(nèi)進行清洗，中間移載的時間會影響到整體的工作效率；其次，由于浸泡和清洗時間很長，如何利用這一段時間，來提高整體的工作效率，是目前需要解決的問題。

4、鑒于此，提出了一種光刻玻璃浸液強化處理裝置。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本技術(shù)的目的在于：為了解決上述提出的問題，提供一種光刻玻璃浸液強化處理裝置。

2、本技術(shù)采用的技術(shù)方案如下：一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，包括：

3、強化箱，其兩端分別設(shè)有浸液室和清洗室；

4、轉(zhuǎn)動組件，其設(shè)與所述強化箱的上端中部，所述轉(zhuǎn)動組件包括電動旋轉(zhuǎn)座以及設(shè)與所述電動旋轉(zhuǎn)座的旋轉(zhuǎn)部的轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)桿的上方對稱設(shè)有連接桿，兩個所述連接桿的相離一端分別設(shè)有放置組件；

5、所述放置組件包括氣缸、上蓋板以及可拆安裝在上蓋板下方的放置籃。

6、在一優(yōu)選的實施方式中，所述放置籃的側(cè)壁和底壁均勻開設(shè)有多個透液孔。</p>

7、在一優(yōu)選的實施方式中，所述放置籃的上端面周向分布有多個定位塊，所述定位塊的中心貫穿開設(shè)有安裝孔；

8、所述上蓋板的兩端下側(cè)設(shè)有豎板，所述豎板的相對面兩側(cè)設(shè)有安裝板，所述安裝板的上端凸出成型有滿足插入所述安裝孔的定位柱。

9、在一優(yōu)選的實施方式中，所述上蓋板與浸液室和清洗室的形狀相同，所述上蓋板的尺寸大于所述浸液室和清洗室的尺寸。

10、在一優(yōu)選的實施方式中，所述氣缸設(shè)在所述連接桿上，所述氣缸的伸縮端與所述上蓋板上端相連。

11、在一優(yōu)選的實施方式中，所述浸液室與所述強化箱之間的夾層設(shè)有加熱盤管。

12、在一優(yōu)選的實施方式中，所述浸液室和清洗室的底部一側(cè)均設(shè)有帶有閥門的排廢口。

13、綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本技術(shù)的有益效果是：將浸液部分和清洗部分集為一體，并在浸液部分和清洗部分的中部設(shè)計了旋轉(zhuǎn)移載部分，在浸液的過程中，可以同時對已經(jīng)強化后的玻璃進行清洗操作，減少整體強化設(shè)備的成本和占地面積的同時能夠有效的提高工作效率。

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【技術(shù)保護點】

1.一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，其特征在于：所述放置籃的側(cè)壁和底壁均勻開設(shè)有多個透液孔。

3.如權(quán)利要求1所述的一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，其特征在于：所述放置籃的上端面周向分布有多個定位塊，所述定位塊的中心貫穿開設(shè)有安裝孔；

4.如權(quán)利要求1所述的一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，其特征在于：所述上蓋板與浸液室和清洗室的形狀相同，所述上蓋板的尺寸大于所述浸液室和清洗室的尺寸。

5.如權(quán)利要求1所述的一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，其特征在于：所述氣缸設(shè)在所述連接桿上，所述氣缸的伸縮端與所述上蓋板上端相連。

6.如權(quán)利要求1所述的一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，其特征在于：所述浸液室與所述強化箱之間的夾層設(shè)有加熱盤管。

7.如權(quán)利要求1所述的一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，其特征在于：所述浸液室和清洗室的底部一側(cè)均設(shè)有帶有閥門的排廢口。

【技術(shù)特征摘要】

1.一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，其特征在于：所述放置籃的側(cè)壁和底壁均勻開設(shè)有多個透液孔。

3.如權(quán)利要求1所述的一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，其特征在于：所述放置籃的上端面周向分布有多個定位塊，所述定位塊的中心貫穿開設(shè)有安裝孔；

4.如權(quán)利要求1所述的一種光刻玻璃浸液強化處理裝置，其特征在于：所述上蓋板與浸液室和清洗室的形狀相同，所述上...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：趙瑞昆，高小良，
申請(專利權(quán))人：徐州良萌半導(dǎo)體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：