【技術實現步驟摘要】
本技術涉及cvd設備，具體為勻氣噴淋機構。
技術介紹
1、cvd設備外延生長晶體材料時，各種源材料及運載氣體通過不同管道進入反應室，其中，源材料為v族源氣體和iii族源氣體，參與化學反應并且生成物中含有本源材料成分，運載氣體為氮氣、氫氣及惰性氣體等，本身不參加化學反應，只是攜帶反應源進入反應室中。
2、現有的cvd設備進氣裝置很難做到均勻穩定的輸入氣體，當反應源氣體輸入不均勻時，會使反應源氣體發生預反應，對材料生長的速度、結晶質量以及原材料利用率均產生不利影響，降低了薄膜生產質量，無法滿足社會的需要，因此提出勻氣噴淋機構來解決上述的問題。
技術實現思路
1、針對現有技術的不足，本技術提供了勻氣噴淋機構，具備氣體輸出均勻穩定等優點，解決了現有的cvd設備進氣裝置很難做到均勻穩定的輸入氣體，對材料生長的速度、結晶質量以及原材料利用率均有不利影響，降低了薄膜生產質量的問題。
2、為實現上述氣體輸出均勻穩定的目的，本技術提供如下技術方案：勻氣噴淋機構，包括固定板，所述固定板的底部固定安裝有數量為兩對的連接桿，所述連接桿的底部固定安裝有工作箱，所述工作箱的底部固定安裝有石英底板，所述工作箱的內部設置有工作機構，所述石英底板的頂部固定安裝有數量為兩對的固定塊；
3、所述工作機構包括支撐桿，所述工作箱的內壁固定安裝有數量為一對的支撐桿，所述支撐桿的頂端處固定安裝有勻氣箱，所述勻氣箱的底部固定安裝有電動開關閥，所述電動開關閥的底部固定安裝有氣泵，所述氣泵的右側固
4、進一步，所述錐形密封頭與勻氣箱固定連接，且錐形密封頭的表面開設有出氣口。
5、進一步，所述氣泵通過螺紋的方式固定安裝在支撐板的頂部，所述勻氣箱的排氣口通過同心定位、間隙配合固定安裝在氣泵的輸入端處。
6、進一步，所述導流管與支撐板固定連接，且通過卡接的方式固定安裝在分流箱的頂部。
7、進一步，所述固定塊與石英底板固定連接，所述勻氣板通過螺紋的方式固定安裝在石英底板的底部。
8、進一步，所述分流管固定安裝在勻氣板的頂部，分流管與噴氣孔為同心定位，且分流管與噴氣孔直徑大小一致。
9、與現有技術相比，本申請的技術方案具備以下有益效果：
10、該勻氣噴淋機構，通過工作箱的內部設置有工作機構，勻氣箱將從進氣管流入的反應源氣體進行儲存、降壓處理，由于氣泵可重新對反應源氣體進行增壓，調節閥將反應源氣體的壓強穩定控制在一定值，使反應源氣體可以均勻的流向分流腔內，且通過分流腔內設有分流管，反應源氣體可勻速分散的從噴氣孔中噴出，進而提高了薄膜生產質量，解決了現有的cvd設備進氣裝置很難做到均勻穩定的輸入氣體，對材料生長的速度、結晶質量以及原材料利用率均有不利影響，降低了薄膜生產質量的問題。
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1.勻氣噴淋機構，包括固定板(1)，其特征在于：所述固定板(1)的底部固定安裝有數量為兩對的連接桿(2)，所述連接桿(2)的底部固定安裝有工作箱(3)，所述工作箱(3)的底部固定安裝有石英底板(4)，所述工作箱(3)的內部設置有工作機構(5)，所述石英底板(4)的頂部固定安裝有數量為兩對的固定塊(6)；
2.根據權利要求1所述的勻氣噴淋機構，其特征在于：所述錐形密封頭(515)與勻氣箱(502)固定連接，且錐形密封頭(515)的表面開設有出氣口。
3.根據權利要求1所述的勻氣噴淋機構，其特征在于：所述氣泵(504)通過螺紋的方式固定安裝在支撐板(507)的頂部，所述勻氣箱(502)的排氣口通過同心定位、間隙配合固定安裝在氣泵(504)的輸入端處。
4.根據權利要求1所述的勻氣噴淋機構，其特征在于：所述導流管(506)與支撐板(507)固定連接，且通過卡接的方式固定安裝在分流箱(508)的頂部。
5.根據權利要求1所述的勻氣噴淋機構，其特征在于：所述固定塊(6)與石英底板(4)固定連接，所述勻氣板(511)通過螺紋的方式固定安裝在石英
6.根據權利要求1所述的勻氣噴淋機構，其特征在于：所述分流管(510)固定安裝在勻氣板(511)的頂部，分流管(510)與噴氣孔(512)為同心定位，且分流管(510)與噴氣孔(512)直徑大小一致。
...【技術特征摘要】
1.勻氣噴淋機構，包括固定板(1)，其特征在于：所述固定板(1)的底部固定安裝有數量為兩對的連接桿(2)，所述連接桿(2)的底部固定安裝有工作箱(3)，所述工作箱(3)的底部固定安裝有石英底板(4)，所述工作箱(3)的內部設置有工作機構(5)，所述石英底板(4)的頂部固定安裝有數量為兩對的固定塊(6)；
2.根據權利要求1所述的勻氣噴淋機構，其特征在于：所述錐形密封頭(515)與勻氣箱(502)固定連接，且錐形密封頭(515)的表面開設有出氣口。
3.根據權利要求1所述的勻氣噴淋機構，其特征在于：所述氣泵(504)通過螺紋的方式固定安裝在支撐板(507)的頂部，所述勻氣箱(502)的...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張義穎，雍曉龍，何奇，
申請(專利權)人：蘇州鎵耀半導體科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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