【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及人工晶體加工領(lǐng)域，具體涉及一種用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置。
技術(shù)介紹
1、以多晶硅生產(chǎn)為例，在使用西門子法生產(chǎn)多晶硅的過程中，硅芯搭接技術(shù)是非常重要的一個環(huán)節(jié)，它主要應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)的還原反應(yīng)過程。這個環(huán)節(jié)的還原反應(yīng)過程的原理是：所述還原反應(yīng)是在一個密閉的還原爐中進行的，在裝爐前先在還原爐內(nèi)用硅芯搭接成若干個閉合回路，也就是行話中的“搭橋”；每個閉合回路都由兩根豎硅芯和一根橫硅芯組成；每一個閉合回路的兩個豎硅芯分別接在爐底上的兩個電極上，兩個電極分別連接直流電源的正負極，然后對硅芯進行加熱，同時向密閉的還原爐內(nèi)通入氫氣和三氯氫硅，加熱中一組搭接好的硅芯相當于一個大電阻，通入的氫氣和三氯氫硅在硅芯表面進行還原反應(yīng)；這樣，所需的多晶硅就會在硅芯表面生成。
2、實現(xiàn)上述技術(shù)時，通過搭橋技術(shù)使一根橫硅芯和兩根豎硅芯進行連通形成門子型結(jié)構(gòu)，在搭接時，為了提高硅芯搭接的牢固程度，需要對豎硅芯的兩端頭進行磨削加工，具體參見中國專利：公開號為cn101570890a，公開日為2009年11月4日，專利名稱為一種可有效提高接觸面積和減小電阻的孔式硅芯搭接方法，及中國專利：公開號為cn102344141a，公開日為2012年02月08日，專利名稱為一種可提高接觸面積和減小電阻的插接式硅芯搭接結(jié)構(gòu)及方法，上述兩專利在進行橫硅芯與豎硅芯的搭接時，均需要對橫硅芯與豎硅芯的兩端頭進行加工，以提高橫硅芯與豎硅芯搭接后的牢固程度。
3、在硅芯搭接過程中，豎硅芯的彎曲度數(shù)值是影響后晶棒生長的重要因素之一，即如何保證豎硅芯兩端
4、一、通過手工扶持豎硅芯對豎硅芯進行固定，然后將豎硅芯對應(yīng)于晶棒磨機的晶棒磨削機構(gòu)，由于這種方式受到人為干擾的因素非常大；例如，技工師傅的熟練程度、所用設(shè)備的加工狀況等，都可能使所磨削的豎硅芯上的錐度很不規(guī)范，使得后期搭接工藝中接觸面很小，也就是點接觸或線接觸，最主要的是無法保證豎硅芯兩端頭磨削出的錐度的同心度；
5、二、通過在晶棒磨機上兩晶棒磨削機構(gòu)的內(nèi)側(cè)分別設(shè)置晶棒夾持機構(gòu)，裝夾時，兩晶棒夾持機構(gòu)夾持豎硅芯的兩端頭，裝夾時，為了防止豎硅芯在磨削時發(fā)生旋轉(zhuǎn)或左右竄動，?兩晶棒夾持機構(gòu)的夾緊力會特別的大，此時若豎硅芯自身存在一定的彎曲，當豎硅芯的兩端被強行夾緊后，豎硅芯會在夾緊力的作用下發(fā)生一定的形變，當磨削完成后，松開兩晶棒夾持機構(gòu)，豎硅芯恢復(fù)到自由狀態(tài)時，豎硅芯的兩端頭就會存在不同心的情況，具體如圖6所示。
6、因此，如何提供一種可以保證晶棒在磨削其兩端頭后使其兩端頭同心的裝夾裝置就成了本領(lǐng)域技術(shù)人員的長期技術(shù)訴求。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、為了克服
技術(shù)介紹
中的不足，本技術(shù)提供了一種用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，本技術(shù)通過在晶體磨機上兩晶棒磨削機構(gòu)的內(nèi)側(cè)分別設(shè)置用于扶持晶棒兩端頭的晶棒端頭扶持機構(gòu)，然后在兩晶棒端頭扶持機構(gòu)之間設(shè)置自定心晶棒夾緊機構(gòu)，通過自定心晶棒夾緊機構(gòu)實現(xiàn)晶棒在自由狀態(tài)下的夾緊，進而保證晶棒在磨削完成后兩端頭的同心等。
2、為實現(xiàn)上述專利技術(shù)目的，本技術(shù)采用如下技術(shù)方案：
3、一種用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，包括晶棒端頭扶持機構(gòu)和自定心晶棒夾緊機構(gòu)，所述晶棒端頭扶持機構(gòu)設(shè)置為兩個，兩個晶棒端頭扶持機構(gòu)分別設(shè)置在晶棒磨削機構(gòu)的內(nèi)側(cè)，在兩晶棒端頭扶持機構(gòu)之間設(shè)置自定心晶棒夾緊機構(gòu)，兩晶棒端頭扶持機構(gòu)分別夾持晶棒的兩端頭，自定心晶棒夾緊機構(gòu)夾持晶棒的左端部或中部或右端部。
4、所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，所述晶棒端頭扶持機構(gòu)包括右夾緊塊、安裝架、氣動手指和左夾緊塊，在所述安裝架上設(shè)有氣動手指，所述氣動手指的兩手指內(nèi)側(cè)分別設(shè)置右夾緊塊和左夾緊塊。
5、所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，所述氣動手指的替換結(jié)構(gòu)為電動手指。
6、所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，所述安裝架上設(shè)有氣動手指位置調(diào)整座，在所述氣動手指位置調(diào)整座上設(shè)置氣動手指。
7、所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，所述氣動手指的兩手指外側(cè)分別設(shè)置右夾緊塊加強板和左夾緊塊加強板。
8、所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，所述右夾緊塊和左夾緊塊的內(nèi)側(cè)分別設(shè)有v型槽。
9、所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，所述安裝架的上面設(shè)有晶棒支撐座。
10、所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，所述自定心晶棒夾緊機構(gòu)包括晶棒右夾緊塊、距離傳感器、滑動支座、電動滑臺、夾緊氣缸和晶棒左夾緊塊，在所述電動滑臺上的滑塊上面設(shè)有滑動支座，在滑動支座的左側(cè)面設(shè)有晶棒右夾緊塊，在晶棒右夾緊塊的左側(cè)或右側(cè)或左右兩側(cè)設(shè)有距離傳感器，在電動滑臺的左側(cè)設(shè)有夾緊氣缸，在夾緊氣缸的氣缸桿上設(shè)有晶棒左夾緊塊。
11、所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，所述電動滑臺的替換結(jié)構(gòu)為氣動滑臺。
12、所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，所述夾緊氣缸的氣缸桿與晶棒左夾緊塊之間設(shè)有夾緊塊固定座。
13、所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，所述夾緊氣缸的替換結(jié)構(gòu)為電動滑臺或氣動滑臺。
14、由于采用如上所述的技術(shù)方案，本技術(shù)具有如下有益效果：
15、本技術(shù)通過在晶體磨機上兩晶棒磨削機構(gòu)的內(nèi)側(cè)分別設(shè)置用于扶持晶棒兩端頭的晶棒端頭扶持機構(gòu)，然后在兩晶棒端頭扶持機構(gòu)之間設(shè)置自定心晶棒夾緊機構(gòu)，通過自定心晶棒夾緊機構(gòu)上的距離傳感器感知到晶棒的位置后，電動滑臺停止動作，然后通過夾緊氣缸運動將晶棒夾緊，晶棒夾緊后，通過晶棒端頭扶持機構(gòu)上的氣動手指扶持晶棒的兩端頭，防止晶棒的兩端頭發(fā)生晃動，實現(xiàn)了晶棒在自由狀態(tài)下的夾緊，進而保證晶棒在磨削完成后兩端頭的同心等，本技術(shù)具有結(jié)構(gòu)簡便，對晶棒在磨削過程中夾緊效果好等特點，適合大范圍的推廣和應(yīng)用。
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1.一種用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，包括晶棒端頭扶持機構(gòu)（2）和自定心晶棒夾緊機構(gòu)（5），其特征是：所述晶棒端頭扶持機構(gòu)（2）設(shè)置為兩個，兩個晶棒端頭扶持機構(gòu)（2）分別設(shè)置在晶棒磨削機構(gòu)（3）的內(nèi)側(cè)，在兩晶棒端頭扶持機構(gòu)（2）之間設(shè)置自定心晶棒夾緊機構(gòu)（5），兩晶棒端頭扶持機構(gòu)（2）分別夾持晶棒（1）的兩端頭，自定心晶棒夾緊機構(gòu)（5）夾持晶棒（1）的左端部或中部或右端部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：?所述晶棒端頭扶持機構(gòu)（2）包括右夾緊塊（201）、安裝架（205）、氣動手指（207）和左夾緊塊（209），在所述安裝架（205）上設(shè)有氣動手指（207），所述氣動手指（207）的兩手指內(nèi)側(cè)分別設(shè)置右夾緊塊（201）和左夾緊塊（209）。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：所述氣動手指（207）的替換結(jié)構(gòu)為電動手指。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：所述安裝架（205）上設(shè)有氣動手指位置調(diào)整座（206），在所述氣動手指位置調(diào)整座（206）上
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：所述氣動手指（207）的兩手指外側(cè)分別設(shè)置右夾緊塊加強板（202）和左夾緊塊加強板（210）。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：所述右夾緊塊（201）和左夾緊塊（209）的內(nèi)側(cè)分別設(shè)有V型槽（208）。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：所述安裝架（205）的上面設(shè)有晶棒支撐座（203）。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：所述自定心晶棒夾緊機構(gòu)（5）包括晶棒右夾緊塊（501）、距離傳感器（502）、滑動支座（503）、電動滑臺（504）、夾緊氣缸（505）和晶棒左夾緊塊（507），在所述電動滑臺（504）上的滑塊上面設(shè)有滑動支座（503），在滑動支座（503）的左側(cè)面設(shè)有晶棒右夾緊塊（501），在晶棒右夾緊塊（501）的左側(cè)或右側(cè)或左右兩側(cè)設(shè)有距離傳感器（502），在電動滑臺（504）的左側(cè)設(shè)有夾緊氣缸（505），在夾緊氣缸（505）的氣缸桿上設(shè)有晶棒左夾緊塊（507）。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：所述電動滑臺（504）的替換結(jié)構(gòu)為氣動滑臺。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：所述夾緊氣缸（505）的氣缸桿與晶棒左夾緊塊（507）之間設(shè)有夾緊塊固定座（506）。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：所述夾緊氣缸（505）的替換結(jié)構(gòu)為電動滑臺或氣動滑臺。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，包括晶棒端頭扶持機構(gòu)（2）和自定心晶棒夾緊機構(gòu)（5），其特征是：所述晶棒端頭扶持機構(gòu)（2）設(shè)置為兩個，兩個晶棒端頭扶持機構(gòu)（2）分別設(shè)置在晶棒磨削機構(gòu)（3）的內(nèi)側(cè)，在兩晶棒端頭扶持機構(gòu)（2）之間設(shè)置自定心晶棒夾緊機構(gòu)（5），兩晶棒端頭扶持機構(gòu)（2）分別夾持晶棒（1）的兩端頭，自定心晶棒夾緊機構(gòu)（5）夾持晶棒（1）的左端部或中部或右端部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：?所述晶棒端頭扶持機構(gòu)（2）包括右夾緊塊（201）、安裝架（205）、氣動手指（207）和左夾緊塊（209），在所述安裝架（205）上設(shè)有氣動手指（207），所述氣動手指（207）的兩手指內(nèi)側(cè)分別設(shè)置右夾緊塊（201）和左夾緊塊（209）。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：所述氣動手指（207）的替換結(jié)構(gòu)為電動手指。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：所述安裝架（205）上設(shè)有氣動手指位置調(diào)整座（206），在所述氣動手指位置調(diào)整座（206）上設(shè)置氣動手指（207）。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶棒磨機的晶棒自由裝夾裝置，其特征是：所述氣動手指（207）的兩手指外側(cè)分別設(shè)置右夾緊塊加強板（202）和左夾緊塊加強板（210）。
6.根據(jù)權(quán)利要求...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：史優(yōu)才，朱振業(yè)，
申請(專利權(quán))人：洛陽長纓新能源科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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