【技術實現步驟摘要】
本技術涉及人工晶體加工領域，具體涉及一種用于晶棒的鉆孔裝置。
技術介紹
1、以多晶硅生產為例，在使用西門子法生產多晶硅的過程中，硅芯搭接技術是非常重要的一個環節，它主要應用于多晶硅生產的還原反應過程。這個環節的還原反應過程的原理是：所述還原反應是在一個密閉的還原爐中進行的，在裝爐前先在還原爐內用硅芯搭接成若干個閉合回路，也就是行話中的“搭橋”；每個閉合回路都由兩根豎硅芯和一根橫硅芯組成；每一個閉合回路的兩個豎硅芯分別接在爐底上的兩個電極上，兩個電極分別連接直流電源的正負極，然后對硅芯進行加熱，同時向密閉的還原爐內通入氫氣和三氯氫硅，加熱中一組搭接好的硅芯相當于一個大電阻，通入的氫氣和三氯氫硅在硅芯表面進行還原反應；這樣，所需的多晶硅就會在硅芯表面生成。以上所述就是硅芯及其搭接技術在多晶硅生產中的應用。
2、在硅芯搭接過程中，需要在橫硅芯的兩端頭進行打孔，以實現橫硅芯與豎硅芯的搭接目的，比如中國專利，公開號為cn102248605a，公開日為2011年11月23日，專利名稱為一種晶體材料用磨鉆孔裝置，其具體公開了在橫硅芯的兩端頭進行鉆孔的技術方案，但是該專利申請在使用過程中主要存在如下兩個問題：
3、1、無法實現自動上料的功能，即當一根橫硅芯鉆孔完畢后，無法實現下一根橫硅芯的自動上料，只能通過人工取放的方式進行操作。也就是說在加工橫硅芯時就要求在加工過程中必須時刻留有工作人員看守，當一根橫硅芯加工完成后，工作人員為了防止發生安全事故就要先停機，由人工取出已經加工好的橫硅芯，然后再裝上一根新的橫硅芯，同時為了
4、2、在進行鉆孔時，只能從硅芯的一面鉆入，然后一直向內鉆，直至將孔鉆透，采用該技術方案鉆孔時，由于硅芯的材質脆性大，在鉆孔時極易發生孔口崩邊的現象，嚴重時還會導致硅芯斷裂；同時由于鉆頭的工作時間長，鉆頭與硅芯摩擦時產生的熱量也較大，進而導致鉆頭的使用壽命降低等。
5、綜上，如何提供一種用于晶棒的鉆孔裝置就成了本領域技術人員的長期技術訴求。
技術實現思路
1、為了克服
技術介紹
中的不足，本技術提供了一種用于晶棒的鉆孔裝置，本技術采用雙面鉆孔的方式，有效的避免了晶棒鉆孔時的崩邊現象，隨著單個鉆頭磨削時間的降低，有效的提高了鉆頭的使用壽命，同時還提高了鉆孔時的自動化操作程度等。
2、為實現上述專利技術目的，本技術采用如下技術方案：
3、一種用于晶棒的鉆孔裝置，所述鉆孔裝置包括晶棒夾緊機構，所述晶棒夾緊機構設置在機架的上面，晶棒夾緊機構夾持待鉆孔晶棒的兩端頭；鉆孔機構，所述鉆孔機構設置為兩組，兩組鉆孔機構分別設置在晶棒夾緊機構的左右兩側，每組鉆孔機構中的兩個鉆頭分別對應晶棒的兩端頭，兩組鉆孔機構中的鉆頭兩兩對應；晶棒自動給料機構，所述晶棒自動給料機構設置為兩套，兩套晶棒自動給料機構分別設置在晶棒夾緊機構前后兩側的機架上，晶棒自動給料機構中晶棒臨時放置塊上的晶棒放置位與晶棒夾緊機構中的晶棒夾持位對應；以及晶棒抓取機構，所述晶棒抓取機構設置在晶棒夾緊機構的上方，晶棒抓取機構中的抓取機械手在晶棒夾緊機構的上方上下及前后移動，抓取機械手的抓取位對應晶棒自動給料機構中晶棒臨時放置塊上的晶棒放置位與晶棒夾緊機構中的晶棒夾持位。
4、所述的用于晶棒的鉆孔裝置，所述晶棒夾緊機構設置為兩套，兩套晶棒夾緊機構為間隔設置。
5、所述的用于晶棒的鉆孔裝置，所述兩套晶棒夾緊機構之間設置晶棒頂起氣缸，在所述晶棒頂起氣缸的氣缸升降桿上設置晶棒頂起支撐板，在晶棒頂起支撐板上設置晶棒頂起放置位。
6、所述的用于晶棒的鉆孔裝置，所述晶棒夾緊機構包括晶棒夾緊固定塊、晶棒夾緊移動塊、電動滑臺和晶棒夾緊固定架，所述晶棒夾緊固定架設置在機架上，在晶棒夾緊固定架上面的一側設置電動滑臺，所述電動滑臺上的滑動塊連接晶棒夾緊移動塊，在晶棒夾緊固定架上面的另一側設置晶棒夾緊固定塊，所述晶棒夾緊固定塊與晶棒夾緊移動塊為對應設置。
7、所述的用于晶棒的鉆孔裝置，所述晶棒自動給料機構包括滑動氣缸、內齒條、外齒條、升降氣缸a、自動給料支座和晶棒臨時放置塊，所述自動給料支座設置在機架上，在自動給料支座上面間隔設置兩條外齒條，在兩條外齒條之間設置內齒條，所述內齒條的下面連接滑動氣缸的滑動件，所述滑動氣缸的下面連接設置在自動給料支座上的升降氣缸a，在內齒條一端的自動給料支座上設置晶棒臨時放置塊，在晶棒臨時放置塊上設有晶棒放置位。
8、所述的用于晶棒的鉆孔裝置，所述鉆孔機構包括鉆孔主軸、進給機構和鉆頭，在所述進給機構中的進給板上間隔設置兩套鉆孔主軸，在每套鉆孔主軸上分別設置鉆頭。
9、所述的用于晶棒的鉆孔裝置，在所述進給板的上面設置鉆孔主軸滑塊，在鉆孔主軸滑塊的上面間隔設置兩套鉆孔主軸。
10、所述的用于晶棒的鉆孔裝置，所述鉆孔主軸為電主軸。
11、所述的用于晶棒的鉆孔裝置，所述晶棒抓取機構包括抓取機械手、龍門架、直線模組和機械手升降機構，所述龍門架設置在機架上，在龍門架的上面設置直線模組，所述直線模組上的移動塊連接機械手升降機構中的滑動板，所述機械手升降機構中升降板的下面間隔設置兩套抓取機械手。
12、所述的用于晶棒的鉆孔裝置，所述抓取機械手包括氣動手指、夾緊塊和夾緊塊固定座，在所述氣動手指的手指內側分別設置夾緊塊，在氣動手指的手指外側分別設置夾緊塊固定座。
13、所述的用于晶棒的鉆孔裝置，所述機械手升降機構包括升降氣缸b、導向柱、滑動板、升降板和導向套，所述滑動板的上面設置升降氣缸b，在滑動板的下面設置升降板，所述升降氣缸b的氣缸桿連接升降板，在滑動板上面的兩端分別設置導向套，在每個導向套內分別設置上下移動的導向柱，每根導向柱的下端頭分別連接升降板，在升降板下面的兩端頭分別設置抓取機械手。
14、所述的用于晶棒的鉆孔裝置，所述滑動板的側板上設有導向滑塊，所述導向滑塊與設置在龍門架上的導軌連接。
15、由于采用如上所述的技術方案，本技術具有如下有益效果：
16、本技術通過在晶棒夾緊機構的左右兩側分別設置一組鉆孔機構，兩組鉆孔機構可以對晶棒端頭的孔進行雙面鉆孔，同時在晶棒夾緊機構的前后兩側分別設置晶棒自動給料機構，然后在晶棒夾緊機構的上方設置晶棒抓取機構，通過晶棒抓取機構與晶棒自動給料機構的配合實現晶棒夾緊機構內晶棒的自動上下料功能，本技術采用雙面鉆孔的方式，有效的避免了晶棒鉆孔時的崩邊現象，隨著單個鉆頭磨削時間的降低，有效的提高了鉆頭的使用壽命，同時還提高了鉆孔時的自動化操作程度等，適合大范圍的推廣和應用。
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1.一種用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述鉆孔裝置包括晶棒夾緊機構(1)，所述晶棒夾緊機構(1)設置在機架(7)的上面，晶棒夾緊機構(1)夾持待鉆孔晶棒(17)的兩端頭；鉆孔機構，所述鉆孔機構設置為兩組，兩組鉆孔機構分別設置在晶棒夾緊機構(1)的左右兩側，每組鉆孔機構中的兩個鉆頭(15)分別對應晶棒(17)的兩端頭，兩組鉆孔機構中的鉆頭(15)兩兩對應；晶棒自動給料機構(2)，所述晶棒自動給料機構(2)設置為兩套，兩套晶棒自動給料機構(2)分別設置在晶棒夾緊機構(1)前后兩側的機架(7)上，晶棒自動給料機構(2)中晶棒臨時放置塊(206)上的晶棒放置位與晶棒夾緊機構(1)中的晶棒夾持位對應；以及晶棒抓取機構，所述晶棒抓取機構設置在晶棒夾緊機構(1)的上方，晶棒抓取機構中的抓取機械手(9)在晶棒夾緊機構(1)的上方上下及前后移動，抓取機械手(9)的抓取位對應晶棒自動給料機構(2)中晶棒臨時放置塊(206)上的晶棒放置位與晶棒夾緊機構(1)中的晶棒夾持位。
2.根據權利要求1所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述晶棒夾緊機構(1)設置為兩套，兩套晶棒夾緊機構(1)為間隔
3.根據權利要求2所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述兩套晶棒夾緊機構(1)之間設置晶棒頂起氣缸(8)，在所述晶棒頂起氣缸(8)的氣缸升降桿上設置晶棒頂起支撐板(16)，在晶棒頂起支撐板(16)上設置晶棒頂起放置位。
4.根據權利要求1所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述晶棒夾緊機構(1)包括晶棒夾緊固定塊(102)、晶棒夾緊移動塊(103)、電動滑臺(104)和晶棒夾緊固定架(105)，所述晶棒夾緊固定架(105)設置在機架(7)上，在晶棒夾緊固定架(105)上面的一側設置電動滑臺(104)，所述電動滑臺(104)上的滑動塊連接晶棒夾緊移動塊(103)，在晶棒夾緊固定架(105)上面的另一側設置晶棒夾緊固定塊(102)，所述晶棒夾緊固定塊(102)與晶棒夾緊移動塊(103)為對應設置。
5.根據權利要求1所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述晶棒自動給料機構(2)包括滑動氣缸(201)、內齒條(202)、外齒條(203)、升降氣缸A(204)、自動給料支座(205)和晶棒臨時放置塊(206)，所述自動給料支座(205)設置在機架(7)上，在自動給料支座(205)上面間隔設置兩條外齒條(203)，在兩條外齒條(203)之間設置內齒條(202)，所述內齒條(202)的下面連接滑動氣缸(201)的滑動件，所述滑動氣缸(201)的下面連接設置在自動給料支座(205)上的升降氣缸A(204)，在內齒條(202)一端的自動給料支座(205)上設置晶棒臨時放置塊(206)，在晶棒臨時放置塊(206)上設有晶棒放置位。
6.根據權利要求1所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述鉆孔機構包括鉆孔主軸(3)、進給機構(5)和鉆頭(15)，在所述進給機構(5)中的進給板上間隔設置兩套鉆孔主軸(3)，在每套鉆孔主軸(3)上分別設置鉆頭(15)。
7.根據權利要求6所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：在所述進給板的上面設置鉆孔主軸滑塊(4)，在鉆孔主軸滑塊(4)的上面間隔設置兩套鉆孔主軸(3)。
8.根據權利要求6或7任一權利要求所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述鉆孔主軸(3)為電主軸。
9.根據權利要求1所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述晶棒抓取機構包括抓取機械手(9)、龍門架(11)、直線模組(12)和機械手升降機構(13)，所述龍門架(11)設置在機架(7)上，在龍門架(11)的上面設置直線模組(12)，所述直線模組(12)上的移動塊連接機械手升降機構(13)中的滑動板(1303)，所述機械手升降機構(13)中升降板(1304)的下面間隔設置兩套抓取機械手(9)。
10.根據權利要求1或9任一權利要求所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述抓取機械手(9)包括氣動手指(901)、夾緊塊(902)和夾緊塊固定座(903)，在所述氣動手指(901)的手指內側分別設置夾緊塊(902)，在氣動手指(901)的手指外側分別設置夾緊塊固定座(903)。
11.根據權利要求9所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述機械手升降機構(13)包括升降氣缸B(1301)、導向柱(1302)、滑動板(1303)、升降板(1304)和導向套(1305)，所述滑動板(1303)的上面設置升降氣缸B(1301)，在滑動板(1303)的下面設置升降板(1304)，所述升降氣缸B(1301)的氣缸桿連接升降板(1304)，在滑動板(1303)上面的兩端分別設置導...
【技術特征摘要】
1.一種用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述鉆孔裝置包括晶棒夾緊機構(1)，所述晶棒夾緊機構(1)設置在機架(7)的上面，晶棒夾緊機構(1)夾持待鉆孔晶棒(17)的兩端頭；鉆孔機構，所述鉆孔機構設置為兩組，兩組鉆孔機構分別設置在晶棒夾緊機構(1)的左右兩側，每組鉆孔機構中的兩個鉆頭(15)分別對應晶棒(17)的兩端頭，兩組鉆孔機構中的鉆頭(15)兩兩對應；晶棒自動給料機構(2)，所述晶棒自動給料機構(2)設置為兩套，兩套晶棒自動給料機構(2)分別設置在晶棒夾緊機構(1)前后兩側的機架(7)上，晶棒自動給料機構(2)中晶棒臨時放置塊(206)上的晶棒放置位與晶棒夾緊機構(1)中的晶棒夾持位對應；以及晶棒抓取機構，所述晶棒抓取機構設置在晶棒夾緊機構(1)的上方，晶棒抓取機構中的抓取機械手(9)在晶棒夾緊機構(1)的上方上下及前后移動，抓取機械手(9)的抓取位對應晶棒自動給料機構(2)中晶棒臨時放置塊(206)上的晶棒放置位與晶棒夾緊機構(1)中的晶棒夾持位。
2.根據權利要求1所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述晶棒夾緊機構(1)設置為兩套，兩套晶棒夾緊機構(1)為間隔設置。
3.根據權利要求2所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述兩套晶棒夾緊機構(1)之間設置晶棒頂起氣缸(8)，在所述晶棒頂起氣缸(8)的氣缸升降桿上設置晶棒頂起支撐板(16)，在晶棒頂起支撐板(16)上設置晶棒頂起放置位。
4.根據權利要求1所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述晶棒夾緊機構(1)包括晶棒夾緊固定塊(102)、晶棒夾緊移動塊(103)、電動滑臺(104)和晶棒夾緊固定架(105)，所述晶棒夾緊固定架(105)設置在機架(7)上，在晶棒夾緊固定架(105)上面的一側設置電動滑臺(104)，所述電動滑臺(104)上的滑動塊連接晶棒夾緊移動塊(103)，在晶棒夾緊固定架(105)上面的另一側設置晶棒夾緊固定塊(102)，所述晶棒夾緊固定塊(102)與晶棒夾緊移動塊(103)為對應設置。
5.根據權利要求1所述的用于晶棒的鉆孔裝置，其特征是：所述晶棒自動給料機構(2)包括滑動氣缸(201)、內齒條(202)、外齒條(203)、升降氣缸a(204)、自動給料支座(205)和晶棒臨時放置塊(206)，所述自動給料支座(205)設置在機架(7)上，在自動給料支座(205)上面間隔設置兩條外齒條(203)，在兩條外齒條(203)之間設置內齒條(202)，所述內齒條(202)的下面連接滑動氣缸(201)的滑動件，所述滑動氣缸(201...
【專利技術屬性】
技術研發人員：史優才，朱振業，
申請(專利權)人：洛陽長纓新能源科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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