【技術實現步驟摘要】
本方案屬于氣體分析，具體涉及一種含氟氣體的分析裝置。
技術介紹
1、含氟電子氣體主要用途是在電子、半導體工業和光伏產業中化學氣相沉積的清洗劑和等離子蝕刻劑。隨著近幾年tft-lcd面板業、半導體業和太陽能面板業等相關領域的迅猛發展，含氟電子氣體的用量也在不斷增加。
2、含氟的混合氣體廣泛用于眼科準分子手術、led、電子芯片行業，為嚴格控制操作、生產過程，對混合氣體中氟氣的濃度的準確度要求極高；由于氟氣的氧化性強且與水反應生成的氫氟酸腐蝕性很強，這兩種物質會與所有裝填在色譜柱中的有機或無機載體都會發生反應，破壞色譜柱及分析儀器管路，一直以來，含氟混合氣體中氟氣的濃度定量分析一直是氣體行業和分析儀器廠家的難易攻克的難關之一。
3、公開號為cn108287157a的專利公開了一種氟氣分析轉化裝置，包括反應罐、指示器、進氣總管、排氣總管、標準氣體罐、吹掃氣體罐、待測氣體罐、真空泵和gc-tcd裝置，所述反應罐底部設有進氣口、頂部設有排氣口，反應罐內設有固定床，固定床上方填充有細小顆粒狀的活潑金屬氧化物，固定床上開有氣孔，所述指示器中裝有金屬溴化物溶液，指示器的上端通過管道與反應罐的上部連通，指示器的下端通過管道與反應罐內填充有活潑金屬氧化物的位置連通，指示器下端的管道上設有單向閥，所述進氣總管與反應罐的進氣口連通，所述排氣總管與反應罐的排氣口連通。
4、該方案在分析之前先開啟吹掃氣體罐進行吹掃，排出管道內的水氣及氧氣，然后再啟動標準氣體罐，在gc-tcd中測定排出后的氣體含量，依次排查整個裝置是否出現
技術實現思路
1、本方案提供一種分析結果真實準確的含氟氣體的分析裝置。
2、為了達到上述目的，本方案提供一種含氟氣體的分析裝置，包括第一通路、第二通路、第三通路和第四通路；
3、第一通路上依次設置有普通氮氣進氣管道、第一減壓閥、第一壓力表、第一閥門、單向閥和文丘里管，所述普通氮氣進氣管道、第一減壓閥、第一壓力表、第一閥門、單向閥和文丘里管的入口之間均通過管道連通，
4、第二通路包括依次設置的氟氣進氣管道、第六閥門、第四閥門、第二減壓閥、第二壓力表、第七閥門和分析儀，所述氟氣進氣管道、第六閥門、第四閥門、第二減壓閥、第二壓力表、第七閥門和分析儀之間均通過管道連通，所述第四閥門還通過管道連通有第三壓力表，所述第六閥門和文丘里管的引射口之間通過管道連通有第二閥門，所述分析儀的排氣端通過管道連通有第五閥門，所述第五閥門分別與文丘里管的引射口和第二閥門連通，
5、第三通路包括依次設置的第三減壓閥、第四壓力表和第三閥門，所述第三減壓閥、第四壓力表和第三閥門之間均通過管道連通，所述第三閥門兩端分別通過管道與第二閥門和第四閥門連通，
6、第四通路，包括含氟混合氣體瓶體和第八閥門，所述含氟混合氣體瓶體與第八閥門通過管道連通，所述第八閥門通過管道分別與第二閥門和第六閥門連通。
7、本方案的原理：
8、在進行氣體分析前，新分析儀管道中可能有空氣，需要對管道內的空氣進行置換，所有閥處于關閉狀態，第一減壓閥調至5-8barg，打開第一閥門、第五閥門和第七閥門，?第二壓力表降至負壓，1-2min第二壓力表指針不變化時，關閉第五閥門和第七閥門，第三減壓閥調至2-5barg，依次打開第三閥門、第四閥門和第七閥門，第二減壓閥調至1-5psig，讓高純氮氣進入分析儀至指定壓力；然后進行以下步驟：
9、步驟s1:關閉第三閥門，打開第五閥門，第二壓力表降至負壓；
10、步驟s2:打開第二閥門，1-2min第二壓力表指針不變化時，關閉第五閥門和第二閥門；
11、步驟s3:打開閥第三閥門，第二壓力表至指定壓力。
12、重復操作步驟s1-s3步共60次完成置換。置換后，分析儀中至指定壓力，可進樣分析看是否置換徹底。如不徹底，重復以上全部步驟繼續置換至合格。
13、當需要進行純氟氣體分析時，關閉第一閥門、第二閥門、第三閥門、第四閥門、第五閥門和第八閥門，打開第一減壓閥、第二減壓閥和第三減壓閥，然后再依次緩慢打開第六閥門和第二閥門，放空10min后關閉第六閥門和第二閥門，依次打開第一閥門、第五閥門和第七閥門，第二壓力表降至負壓；打開第二閥門和第四閥門，1-2min第二壓力表指針不變化時，依次關閉第五閥門、第二閥門、第四閥門和第一閥門；再依次緩慢打開第六閥門和第四閥門，當第二壓力表至指定壓力時，關閉第六閥門，依次打開第一閥門和第五閥門，第二壓力表降低至負壓，打開第二閥門，1-2min第二壓力表指針不變化時，依次關閉第五閥門、第二閥門、第四閥門和第一閥門，先后緩慢打開第六閥門和第四閥門，第二壓力表至指定壓力時，關閉第四閥門和第六閥門，分析儀對純氟氣體進行分析，分析結束后，依次打開第一閥門、第五閥門、第二閥門和第四閥門，第二壓力表降至負壓，1-2min第二壓力表指針不變化時，依次關閉第五閥門、第二閥門、第四閥門和第一閥門。
14、當需要進行含氟混合氣體分析時：
15、關閉第五閥門、第二閥門、第八閥門、第六閥門、第三閥門、第四閥門和第一閥門，開啟第一減壓閥、第二減壓閥、第三減壓閥和第七閥門，依次打開第三閥門和第八閥門，關閉第三閥門至氣流變弱，打開第三閥門，連續關閉打開第三閥門至少30次，調節第八閥門至氣流變小，帶氣接上含氟混合氣體瓶閥接頭擰緊；打開第八閥門，確認氣瓶接頭處無泄露；關閉第三閥門，打開第一閥門和第二閥門至無氣流聲，關閉第二閥門、第八閥門和第一閥門；緩慢打開含氟混合氣體瓶閥后關閉，依次打開第八閥門和第四閥門，第三壓力表有壓力，確保瓶閥連接處無泄露；再緩慢打開含氟混合氣體瓶閥；第二壓力表至指定壓力，關閉第四閥門和第八閥門；依次打開第一閥門、第五閥門、第二閥門、第四閥門，第二壓力表降至負壓，1-2min第二壓力表指針不變化時，依次關閉第五閥門、第二閥門和第一閥門；打開第八閥門，第二壓力表ii至指定壓力，關閉第四閥門、第八閥門及氟混合氣體瓶閥；分析儀含氟混合氣體分析，分析結束。依次打開第一閥門、第五閥門、第二閥門、第八閥門、第四閥門，第二壓力表降至負壓，1-2min第二壓力表指針不變化時，依次關閉第五閥門、第二閥門、第八閥門、第四閥門和第一閥門。若分析儀長時間不用，可依次打開第三閥門、第四閥門、第五閥門流動吹掃。
16、本方案的有益效果：本裝置設備結構合理、操作簡單方便、可操控性和安全性能高，通過文丘里管的引射口將管道內的空氣吸入，然后空氣從文丘里管的出口排出，實現了對管道內空氣高效徹底置換，進而能夠在后面的分析工作中高效準確穩定安全分析含氟混合氣體中雜質組分的含量，在實際應用上具有重大意義，此外還能分析純氟本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種含氟氣體的分析裝置，其特征在于：包括第一通路、第二通路、第三通路和第四通路；第一通路上依次設置有普通氮氣進氣管道、第一減壓閥（109）、第一壓力表（112）、第一閥門（101）、單向閥和文丘里管，所述普通氮氣進氣管道、第一減壓閥（109）、第一壓力表（112）、第一閥門（101）、單向閥和文丘里管的入口之間均通過管道連通，
2.根據權利要求1所述的一種含氟氣體的分析裝置，其特征在于：還包括操作面板，所述第一減壓閥（109）、第一壓力表（112）、第一閥門（101）、單向閥、第六閥門（106）、第四閥門（104）、第二減壓閥（110）、第二壓力表（113）、第七閥門（107）、分析儀、第三減壓閥（111）、第四壓力表（115）、第三閥門（103）和第八閥門（108）均與操作面板通訊連接或電連接。
3.根據權利要求1所述的一種含氟氣體的分析裝置，其特征在于：所述第一減壓閥（109）、第二減壓閥（110）和第三減壓閥（111）用于將高壓氣體轉換成低壓，所述減壓閥由閥體、膜片、閥座、閥桿、閥帽和手柄組成，閥體材質為316L。
4.根據權利要求1
5.根據權利要求1所述的一種含氟氣體的分析裝置，其特征在于：所述單向閥由閥體、閥芯、彈簧和密封圈組成，閥體材質為316L。
6.根據權利要求1所述的一種含氟氣體的分析裝置，其特征在于：所述文丘里管的材質為316L。
7.根據權利要求1所述的一種含氟氣體的分析裝置，其特征在于：所述第一閥門（101）至第八閥門（108）的閥體均由閥體、膜片、閥座、閥桿、閥帽、手柄組成，閥體材質為316L。
8.根據權利要求1所述的一種含氟氣體的分析裝置，其特征在于：所述管道的形狀為中空的長條圓形鋼材，材質為316L。
...【技術特征摘要】
1.一種含氟氣體的分析裝置，其特征在于：包括第一通路、第二通路、第三通路和第四通路；第一通路上依次設置有普通氮氣進氣管道、第一減壓閥（109）、第一壓力表（112）、第一閥門（101）、單向閥和文丘里管，所述普通氮氣進氣管道、第一減壓閥（109）、第一壓力表（112）、第一閥門（101）、單向閥和文丘里管的入口之間均通過管道連通，
2.根據權利要求1所述的一種含氟氣體的分析裝置，其特征在于：還包括操作面板，所述第一減壓閥（109）、第一壓力表（112）、第一閥門（101）、單向閥、第六閥門（106）、第四閥門（104）、第二減壓閥（110）、第二壓力表（113）、第七閥門（107）、分析儀、第三減壓閥（111）、第四壓力表（115）、第三閥門（103）和第八閥門（108）均與操作面板通訊連接或電連接。
3.根據權利要求1所述的一種含氟氣體的分析裝置，其特征在于：所述第一減壓閥（109）、第二減壓閥（110）和第三減壓閥（111）用于將高壓氣體轉換成低壓，所述減壓閥由閥體、膜片、閥座、閥桿...
【專利技術屬性】
技術研發人員：雷海平，劉建蘭，冉芳，
申請(專利權)人：歐中電子材料重慶有限公司，
類型：新型
國別省市：
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